SEM-EDX adalah pengembangan dari SEM (Scanning Electron Microscopy) dengan digabungkan EDX (Energy Dispersive of X-ray Spectroscopy) untuk menentukan komposisi atom pada sampel dengan mendeteksi sinar-X yang dihasilkan oleh interaksi elektron-sampel. SEM-EDX digunakan untuk menganalisis berbagai jenis sampel padat dan biologi dengan memberikan citra permukaan dan komposisi kimiawnya.

1. SEM-EDX
Oleh:
Kelompok Studi Fisika
Material
Universitas Diponegoro 2019

2. SEM-EDX
Pada dasarnya adalah pengembangan dari
SEM (Scanning Electron Microscopy)
dengan digabungkan bersama EDX (Energy
Dispersive of X-ray Spectroscopy)
SEM EDX
SEM-
EDX

3. SETUP SEM-EDX

4. SEM
adalah mikroskop
perbesaran tinggi
yang mencitrakan
permukaan sampel
dengan menggunakan
pemindaian oleh
pancaran elektron
Scanning Electron Microscopy

5. SEM bekerja dengan menembakkan electron
berenergi tinggi (1 - 20 keV) melewati sampel dan
kemudian mendeteksi ‘secondary electron’ dan
‘backscattered electron’ dan x-ray karakteristik

6. Aplikasi SEM
Sampel padat:
Logam, bubuk kimia,
kristal, polimer, dll
Sampel biologi:
Sel darah, bakteri,
cacing, dll
Sampel padatan biologi:
Tulang, fosil, dll

7. EDX
(Energy Dispersive of X-ray Spectroscopy)
merupakan salah satu teknik untuk menentukan
komposisi atom pada sampel.
Dasar dari analisis EDX adalah pelacakan dan
pengukuran dari sifat-sifat sinar-X yang dibangkitkan
oleh elektron-elektron cepat

9. Contoh spectrum EDX cangkang udang Rimicaris Exoculata

10. Kedalaman penetrasi dari berkas elektron
ke dalam sampel diberikan oleh
persamaan (Feldman, dkk. 1986) :
dengan Eo adalah tegangan pemercepat
berkas elektron (dalam keV),  adalah
kerapatan dari sampel (dalam g/cm3).

11. Analisis unsur pada EDX dilakukan dengan
membandingkan rasio intensitas sinar-X dari unsur
yang terdapat di dalam sampel dengan elemen yang
sama dari sampel standar.
Karakteristik dari sinar-X yang dibangkitkan dari
masing-masing unsur sebanding dengan konsentrasi
dari unsur, probabilitas produksi sinar-X atau
tampang lintang ionisasi unsur, dan panjang lintasan
dari elektron-elektron

12. Terima Kasih