生產與作業管理

指導教師：盧淵源教授學生： M944012003 杜思孝 M944012030 雲建裳台灣積體電路製造股份有限公司至善組晶準圈生產與作業管理團結圈活動競賽—心得報告

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壹、公司簡介公司名稱：台灣積體電路製造股份有限公司（台積電， TSMC ）創立日期： 1987 經營者：董事長張忠謀先生，副董事長曾繁城先生總經理暨總執行長蔡力行先生主要產品：晶圓製造服務企業總部：新竹科學園區力行六路八號廠別： 6 吋廠：二廠（竹科） 8 吋廠：三，五，七，八（竹科），六廠（南科），十廠（上海） 12 吋廠：十二廠（竹科），十四廠（南科）關係企業：世界先進（竹科）， WaferTech （美國）， SSMC( 新加坡 ) 實收資本額： 2472.73 億元主要技術： 0.6um ， 0.5um ， 0.35um ， 0.25um ， 0.18um ， 0.15um ， 0.13um ， 90nm ， 65nm ， 45nm 員工人數： 21,946 人營業額及獲利： 2005 年 - 銷貨收入淨額 2646 億，稅後純益 936 億， EPS3.79 元 2006 年 Q1- 銷貨收入 773 億，稅後純益 326 億， EPS1.3 元

貳、活動內容說明一、題目選定 1. 部門組織：量測技術部門 2. 符合公司的四大核心價值：誠信正直，創新，客戶是伙伴，承諾 3. 主題評估： - 降低十二吋晶圓廠量測機台校正作業人力與數據錯誤率 (529) - 提升十二吋晶圓廠量測機台校正作業之效能 (622) - 提升八吋晶圓廠量測機台校正作業之效能 (451) 4. 選定理由 - 滿足客戶需求 - 符合公司策略目標 - 縮短作業時間 - 調戰全球領導地位

二、課題的明確化及目標設定以 SIPOC 來分析量測機台校正的作業流程： Process Name: 提升十二吋晶圓廠量測機台校正作業之效能 Project Scope Supplier Inputs Customer Process Outputs P1 量測機台校正計畫 P2 自備標準晶圓片 P3 執行量測機台的校正 P4 審查量測機台的能力 P5 改善或提升量測機台的能力 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

[object Object],[object Object],[object Object],設定目標 2005 年七月完成 F14 所有機台 100 ％自動化校正 ,[object Object],[object Object],[object Object]

三、方策擬定 1. 人工協調機台作業時間 2. 人工運送標準片 3. 手動選擇程式並執行校正 4. 手動輸入 SPC 管制圖 5. 手動開立紙本 OCAP 攻堅點一：派工系統自動以較高的優先順序派工校正標準片攻堅點四：建立適合校正的 OCAP 單與停機單攻堅點二：確認所有標準片都有 Lot ID ，讓 AMHS 系統認得攻堅點三：標竿學習製造部自動化量測監控方式（包括控片清洗流程與機台監控流程）預估（ 8 ）分預估（ 5 ）分預估（ 10 ）分預估（ 0 ～ 1 ）分預估（ 10 ）分總共： 67 分鐘總共：（ 34 ）分鐘 10 分鐘 5 分鐘 12 分鐘 10 分鐘 30 分鐘現況：手動校正流程 1.QC 標準片自動派工至量測機執行校正 5. 若校正數據異常，自動開出 e-OCAP 4. 校正數據自動輸入 SPC 管制圖 3. 自動選擇校正程式並執行校正 2.OHT 自動傳送 QC 標準片目標：自動校正流程每一步驟都自動化 ,[object Object],[object Object],[object Object]

四、效果確認原先手動總共： 67 分鐘改進後總共： 23 分鐘攻堅點一：派工系統自動以較高的優先順序派工校正標準片攻堅點四：建立適合校正的 OCAP 單與停機單攻堅點二：確認所有標準片都有 Lot ID ，讓 AMHS 系統認得攻堅點三：標竿學習製造部自動化量測監控方式（包括控片清洗流程與機台監控流程） 1.QC 標準片自動派工至量測機執行校正 5. 若校正數據異常，自動開出 e-OCAP 4. 校正數據自動輸入 SPC 管制圖 3. 自動選擇校正程式並執行校正 2.OHT 自動傳送 QC 標準片 3 分鐘 5 分鐘 10 分鐘 0 分鐘 5 分鐘

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六、標準化及成效維持 1. 建立自動化校正標準程序 2. 執行教育訓練 – 校正操作人員及校正系統維護人員 3. 水平展開推廣至 F12 4. 由圈內成員組成監控小組預防再發 5. 效果維持 - 2005-Jul ~ 2006-Apr 校正自動化率 100% - 校正作業時間： 21 ~ 25 分鐘 - 校正作業人力：人機比 0.04 人 / 機 - 校正數據錯誤率： 0%

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