2018/10/10に行われた NVMCT #1 ( https://nvmct.connpass.com/event/98375/ ) 発表1、福田 昭氏の発表資料です。 ※福田 昭氏より依頼を受け、Fixstarsアカウントにてアップロードしております。

1. 3D NANDフラッシュメモリの動向
（Trend of 3D NAND Flash Memory）
福田 昭/Akira Fukuda
フリーランス技術ライター/アナリスト
2018年10月10日
（副題：Flash Memory Summit Japanは
ここから始まる）

2. 講演者の活動実績（自己紹介）
• 社員編集記者時代（1984年～2004年）
– 「日経エレクトロニクス」で半導体メモリ、実装技術、信頼性技術、
光エレクトロニクスを主に担当しました
– 「日経マイクロデバイス」でリソグラフィ、化合物半導体、実装技術
を主に担当しました
– 「EDN Japan」で電子技術全般をカバーしました（編集部の人数が
少なかったので何でもあり）
• フリーランス時代（2005年～現在（2018年））
– 半導体メモリ技術とストレージ（物理側）技術、半導体製造技術、
半導体産業を主にカバー
– コラム「福田昭のセミコン業界最前線」（PC Watch）、コラム「福田
昭のストレージ通信」（EETimes Japan）および「福田昭のデバイス
通信」（同上）などウエブメディアを中心に記事を執筆
– 公式ブログ「Electronics Pick-Up by Akira Fukuda」で、記事からこぼ
れた話や問題意識などを不定期に書いてます
2

3. 講演の概要
• 半導体メモリの基本
• フラッシュメモリとは何か
• NANDフラッシュメモリとは何か
• 3次元（3D）NANDフラッシュメモリとは何か
• 3D NANDフラッシュにおける最近のトピックス
3

4. 2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.
半導体メモリの基本的な構造
• 半導体メモリがデータを記憶する単位：メモリセル
• 半導体メモリがデータを記憶する領域：メモリセルア
レイ（数多くのメモリセルの集合）
• メモリセルアレイの論理構造（論理アーキテクチャ）：
メモリセルを2次元マトリクス（行列）状にならべたも
のが、メモリセルアレイ。行（Row）アドレスと列
（Column）アドレスによってメモリセルを選択する
メモリセルアレイのイメージ（左は将棋盤）
1個のマス目が1個のメモリセルに対応する

5. 半導体メモリの基本的な構造（続き）
• データ読み出しとデータ書き込みの制御：周辺回路
（「ペリフェラル」とも呼ぶ）
• データの入出力回路：入出力バッファ（周辺回路に
含めることもある）
5
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

6. 半導体メモリ
揮発性メモリ
DRAM
SRAM
不揮発性メモリ
フラッシュメモリ
NANDフラッシュメモリ
NORフラッシュメモリ
マスクROM
EPROM
EEPROM
次世代不揮
発性メモリ
磁気抵抗メ
モリ
相変化メモ
リ
抵抗変化メ
モリ
強誘電体メ
モリ
大きく分類すると、揮発性メモリ（電源を切るとデータが消去されるメモリ）と不揮発性メモリ（電源を切ってもデータが残るメモリ）に分かれる。揮発性メ
モリにはDRAMとSRAMがあり、不揮発性メモリにはNANDフラッシュメモリやNORフラッシュメモリ、次世代不揮発性メモリ、強誘電体メモリなどがある
6
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.
半導体メモリの分類と種類
本日のテーマ

7. 半導体メモリ
揮発性
メモリ
DRAM
不揮発性
メモリ
NANDフラッ
シュメモリ
半導体メモリのメインストリームは
「DRAM」と「NANDフラッシュメモリ」
7
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

8. 講演の概要
• 半導体メモリの基本
• フラッシュメモリとは何か
• NANDフラッシュメモリとは何か
• 3次元（3D）NANDフラッシュメモリとは何か
• 3D NANDフラッシュにおける最近のトピックス
8

9. フラッシュメモリとは何か
• 東芝の舛岡富士雄氏が考案（1984年12月に国際学会で発表、
当時の名称は「Flash EEPROM」）
• 舛岡氏の狙いは、「性能は凡庸な」ものの「製造コストは極め
て低い」不揮発性メモリ
• データを電気的に書き込み、なおかつ電気的に消去できるこ
とが特徴。ただし当初は、全ビットを一括消去のみ（このため
「一括消去型EEPROM」とも呼ばれた）
• 「1個のトランジスタだけでメモリセルを構成」→データ記憶とセ
ル選択を兼ねる→DRAMセルは「1個のセル選択トランジスタと
1個の記憶用キャパシタ」なので、原理的にはDRAMよりも製
造コスト（記憶容量当たりのシリコン面積）が下がる
• 後年には「NOR（ノア）フラッシュメモリ」と呼ばれる
• ランダムアクセスの読み出しは高速。書き込みは低速
9
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

10. NAND（ナンド）フラッシュメモリとは何か
• 舛岡富士雄氏が考案した、第2世代のフラッシュメモリ（第1世代
は1984年12月、第2世代は1987年12月に国際学会で発表）
• メモリセル構造の改良によって第1世代よりも記憶密度が向上
• 第2世代の学会発表で「NAND構造」と命名。第1世代を「NOR構
造」と呼称して区別するようになる
• 第2世代（「NAND構造」）は、原理的に第1世代よりも「製造コス
ト」を下げられる
• ランダムアクセスの読み出しは遅い。連続アクセスの読み出し
は速い。書き込みは遅い。ただし、製造コストは極めて低い
• 後に明らかになるのだが、「NAND構造」は「NOR構造」よりも多
値記憶（1個のセルに複数のビットを記憶する技術）に適してい
た→製造コストのさらなる低減が可能に
10
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

11. 講演の概要
• 半導体メモリの基本
• フラッシュメモリとは何か
• NANDフラッシュメモリとは何か
• 3次元（3D）NANDフラッシュメモリとは何か
• 3D NANDフラッシュにおける最近のトピックス
11

12. 従来型NANDフラッシュの高密度化限界
• 従来型（プレーナ型）NANDフラッシュメモリの基本的な高
密度化（および大容量化）手法は「微細化（加工寸法の縮
小）」
– 1個のメモリセルの寸法を小さくする→同じシリコン面積に収納で
きるメモリセルの数が増える：高密度化と大容量化を実現
• もう1つの重要な大容量化手法が多値化
– メモリセルが記憶するビット数を増やす： 1ビット/セル（SLC）→2
ビット/セル（MLC）→3ビット/セル（TLC）が商用化（従来型の場合）
• 微細化に伴う最大の問題点
– 隣接するメモリセル間で電気的な結合が発生（誤書き込みの発
生、長期信頼性（データ保持期間）の低下）→2013年～2014年こ
ろ、微細化ノードで15nm付近において微細化が限界に達した
– シリコンダイ当たりの記憶容量では128Gbitが最大となる
12
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

13. 2D NANDフラッシュから
3D NANDフラッシュへの転換
13（出典：米国Applied Materials社）

14. 3D NANDフラッシュ技術による高密度化
• シリコンダイの表面と平行な方向に並んでいたトランジ
スタを、表面と垂直な方向に並べ換える
– 従来型NANDフラッシュは平面方向（2次元）のみをトランジス
タの集積に利用
– 3D NANDフラッシュは平面方向に加えて垂直方向も（3次元
を）トランジスタの集積に利用
• 垂直に並べるトランジスタの数を増やす（積み重ねる
ワード線層の数を増やす）ことによって大容量化（高密
度化）
– 微細化の寸法は従来型NANDフラッシュに比べると広い
（ハーフピッチで50nm～60nm、ピッチで100nm～120nmの製
造技術）
14
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

15. 3D NANDフラッシュの大容量化（高密度化）手法
• メモリセルの積層数（ワード線の層数）を増やす
– 16層（プロトタイプ）→24層（最初の製品）→32層→48層→64
層（現在の主流製品）→96層（一部で実用化へ）→128層？
• メモリセル1個が記憶するデータの数を増やす
– MLC（2ビット/セル）→TLC（3ビット/セル）（3D NANDフラッシュ
製品の主流）→QLC（4ビット/セル）（最先端技術、一部製品で
実用化が始まる）→？？（さすがに無理か）
• メモリセルアレイと周辺回路を積層する（CuA：CMOS under
Array）
– 3D NANDフラッシュで実現可能になった技術
– メモリセルアレイが高層ビルの地上部分、周辺回路が高層ビ
ルの地下部分に相当
15
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

16. 3D NANDフラッシュメモリの大手メーカー
• 韓国 Samsung Electronics （金額シェアでトップ）
• 日本 東芝 と 米国 Western Digital （SanDisk）の連
合 （両社の合計では金額シェアトップ）
• 米国 Micron Technology と 米国 Intelの連合
• 韓国 SK Hynix
16
6社（4グループ）による寡占化状態
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

17. 3D NANDフラッシュの製造会社と基本技術
• 浮遊ゲート技術（2D）→電荷捕獲技術（3D）へと転換し
た企業
– 韓国 Samsung Electronics
– 日本 東芝 と 米国 Western Digital （SanDisk）の連合
– 韓国 SK Hynix
• 浮遊ゲート技術（2D）→浮遊ゲート技術（3D）と従来技
術を維持した企業
– 米国 Micron Technology と 米国 Intelの連合
17
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.
3D NANDフラッシュに移行する過程で、2通りの記憶技術に分かれた

18. 講演の概要
• 半導体メモリの基本
• フラッシュメモリとは何か
• NANDフラッシュメモリとは何か
• 3次元（3D）NANDフラッシュメモリとは何か
• 3D NANDフラッシュにおける最近のトピックス
18

19. 3D NANDフラッシュメモリのトピックス
• 3D NANDフラッシュ技術の高層化と多値化がさらに進む
• ワード線層数は96層に高層化（1年前は64層）（東芝-
Western Digital連合が国際学会で試作ダイを発表）
• QLC（4bit/セル）技術が3D NANDでついに商用化される
（Intel-Micron連合）
• 製品の記憶容量は1,024Gbit（1Tbit）に大容量化（1年前
は512Gbit）（Intel-Micron連合が5月に商用化、Samsung
は2月の国際学会で試作ダイを発表）
• 試作品の記憶容量は1.33Tbitに大容量化（東芝-WD連
合が8月に発表、96層とQLCの組み合わせ）
19
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

20. Samsungが開発した1Tbitの3D NANDフラッシュ
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.

21. IntelとMicron Technologyが共同開発した
1TbitのNANDフラッシュ商業生産を発表
（2018年5月21日）
21
QLC技術（世界初）で1Tbit/ダイを実現

22. 東芝がFMS2018で展示した
1.33Tbit/ダイの3D NANDフラッシュ
22
96層とQLCの組み合わせで1.33Tbitを実現
96層の3D NANDフラッシュ
メモリセルアレイの模型
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.
技術技術

23. 3D NANDフラッシュ技術の世代推移（発表ベース）
開発の発
表年
メモリセルの
積層数
多値化方式（bit/
セル）
シリコンダイ当
たりの記憶容量
備考
2013年 24層 MLC（2bit/セル） 128Gbit
2014年 32層 TLC（3bit/セル） 128Gbit
2015年 48層 TLC（3bit/セル） 256Gbit
2016年 64層 TLC（3bit/セル） 512Gbit 2ティア（32層×2）
2017年 96層 TLC（3bit/セル） 512Gbit 2ティア（48層×2）
64層 QLC（4bit/セル） 1Tbit 2ティア（32層×2）
2018年 96層 QLC（4bit/セル） 1.33Tbit 2ティア（48層×2）
2018 Copyright by Akira Fukuda. All rights reserved.
23
2013年が24層、128Gbit→5年後の2018年が96層、1.33Tbit
5年でセルの積層数は4倍、ダイ当たりの記憶容量は10倍強に拡大

24. ご清聴をありがとうございました
24

25. もう少し詳しくなりたい方のために（宣伝です）
25
同人誌通販サイト「Booth」で同人技術誌を販売しております
「3D NANDフラッシュメモリの基礎知識」注文画面
「3D NANDフラッシュメモリを支える技術」注文画面
https://cozyclearworks.booth.pm/

26. 次回（NVM Casual Talks #2）の講演テーマ候補
• 次世代不揮発性メモリ
• クロスポイントメモリ（3D XPointメモリほか）
• 次世代磁気メモリ（次世代MRAM）
• 次世代強誘電体メモリ（次世代FeRAM）
• Flash Memory Summit（フラッシュメモリサミット）
26
ご希望のテーマがありましたら、主催者まで（？）

27. ご清聴をありがとうございました
27