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薄膜厚度量測結果
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半導體薄膜及矽通孔檢測設備_廣運機械 陳智杰經理
- 1. 11 AOI新品發表會 半導體薄膜及矽通孔檢測設備 Thin-film & TSVInspection for Semiconductor 廣運機械 陳智杰 經理
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- 3. 3 先進封裝檢測需求 可攜式電子產品的成長趨勢帶動下，將更多的功能整合在更小的體積，並達到節 能、高效、成本低的IC產品是消費者所期待的，國內半導體產業亦對應投入HDI PCB/2.5D/3D IC封裝等高值、高密度、高封裝精度產品開發。 半 導 體 製 造 技 術 戰 略 聯 盟 Sematech (Semiconductor Manufacturing Tech- nology)在 2011年針對3D堆疊量測的挑戰中說明產業發展所需之重要量測需求包 括Bond Module (Overlay…)、TSV Module (CD, Depth…)、Thinning Module (Thickness…)及Micro Bump (Height…)。
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- 6. 6 Reflex-VIS make measurementsin-line with the process flow 半導體薄膜&TSV量測應用 Litho- graphy EtchCVD CMP Thickness of deposited films Thickness of pre- and post polish films Depth of TSV
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- 9. 9 薄膜厚度量測結果 Thickness : 18.5176um Thickness : 104.7430 um Thickness : 42.5031 um Thickness [um] Thickness [um] Thickness [um]
- 10. 10 矽通孔量測結果 Normal incidence Reflex-VISwith small aperture & low NA objective(4X) for high aspect ratio via depth & profile measurement.
- 11. 11 廣運基本資料 成立時間 : 19767.12 RD 人數: 200 engineers 主要產品: 半導體製程設備自動化 TFT-LCD / Solar 製程設備自動化 整廠自動化系統 自動倉儲系統 無人搬運車系統 物流中心 自動堆卸棧板機系統
- 12. 12 Taiwan Taipei, Juifang, Chungli,Tainan ,Kaohsiung Japan Vietnam Singapore Hong Kong Canada USA Germany Holland England China Korea Malaysia Turkey Suzhou,Shanghai,Kunshan Chengtu,Chengchou,Shenzhen 廣運服務據點 : 辦公室/生產基地 : 合作夥伴
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- 14. 14 智慧機器人 Electronic Industry AutoInserting Electronic Industry Auto Welding Electronic Industry Auto Gluing Wine Industry Auto Grabbing and Palletizing Drinks Industry Auto Palletizing Drinks Industry Auto Clipping Car Industry Auto Assembling TFT Auto Packing 產品線 – 智慧機器人
- 15. 15 TFT Stocker TFT CellProcess System TFT LCM Process System TFT AGV Station TFT Array Process System Semiconductor EFEMTouch Panel Production 高科技產業 產品線 – 高科技產業實例
- 16. 16 3C Logistics Tobacco/Wine Logistics BooksLogistics Express Logistics Supermarket / Retailer Logistics Medical Logistics Airport Logistics Frozen Logistics 物流中心 產品線 – 物流中心實例
- 17. 17 能源產業 Solar Module Line SolarCell Line Solar Power System Electric Vehicle Power BatteryCharger Station Smart Green City 產品線 – 能源產業實例
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