1. АЗА СТАН РЕСПУБЛИКАСЫ
(19) KZ (13) B (11) 28861
(51) C21D 9/00 (2006.01)
F27B 9/04 (2006.01)
АЗА СТАН РЕСПУБЛИКАСЫ ДІЛЕТ МИНИСТРЛІГІ
ЗИЯТКЕРЛІК МЕНШІК ЫҒЫ КОМИТЕТІ
НЕРТАБЫС А ИННОВАЦИЯЛЫ
ПАТЕНТ СИПАТТАМАСЫ
(21) 2012/1247.1
(22) 22.11.2012
(45) 15.08.2014, №8 бюл.
(72) Ахметов Келіс Маулен лы; Ахметов Ернар
Келісович
(73) аза стан Республикасы Атом энергиясы
агенттігіні" "Ядролы физика институты"
шаруашылы ж(ргізу ығындағы республикалы
мемлекеттік кəсіпорны
(56) Розанов Л.Н. Вакуумная техника. -М.: Высшая
школа, 1990, с.134-136
(54) TЕХБАУЫРДА – ВАКУУМДЫ
ТЕРМО ДЕУ ПЕШІ
(57) Вакуумды термо."деу азіргі заманны"
жоғары технологиясында затты тазартуға
олданылатын əдіс. Б л əдісті олданғанда
материалды ."деу ортасыны" вакуум де"гейі
жоғары болған сайын алынған материалды тазарту
сапасы да .рленеді. Негізінде, ."деу пештерінде екі
мəселе арастырылады. Олар шектелген айма та
вакуум ке"істігін жасау жəне осы ке"істікте
материалды ыздырып ."деу.
Белгілі ондырғыларды" вакуум ж(йесінде
."деу ж(ргізілетін ке"істік арнайы вакуум
камерасында істелініп, вакуум де"гейін амтамасыз
ететін вакуум насосымен жалғастыратын
элементтер ар ылы жекешелінген. ондыр-
ғыларды" осындай конструкциясында пешті"
камерасындағы вакуум де"гейі насосты"
техникалы сипаттамасында берілетін де"гейінен,
жалғастыру элементті" беретін кедергісіні"
салдарынан, əр ашанда т.мен болады. 3"деу
ортасыны" вакуум де"гейін к.теру (шін термо."деу
насосты" камерасыны" ішкі аймағында ж(ргізілу
керек. Б л ма сат вакуум камерасынан, электр .рісті
амтамасыз ететін электродтар ж(йесінен, т ра ты
магнит .ріс к.здерінен, (лгіні ыздыру пеші мен
(лгіні алмастыруға ажетті а па т(рінде жасалған
тесіктен т ратын ондырғыда орындалады.
(19)KZ(13)B(11)28861

2. 28861
22
атты денені" структурасын зерттеу немесе одан
ажетті рал-аспап жасауда ке"інен олданатын
негізгі əдісті" бірі - термо."деу. Вакуумды
термо."деу осы заманны" жогары технологиясына
жататынды тан, ғылым мен техника жəне
технологияларды" к.п салаларында олданылады.
Вакуумды термо."деу пешіні" белгілі бір т(рі
(Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.:
Машиностроение, 1975, стр. 136-141) - вакуум насос
ж(йесінен, вакуум камерасынан, ж(йемен камераны
жалғастыратын вакуум элементтер ж(йесінен жəне
камераны сырттан жылытатын ыздырғыш
ондырғыдан т рады. 3"делетін (лгі вакуум
камерасына орналастырғаннан кейін, осы камераны
вакуум насос ж(йесімен осатын клапанды ашып,
вакуум системасында де"гейлі вакуум алынғаннан
кейін ыздыру элементі осылып термо."деу
про"ессі жасалынады. Б л пеш т(ріні" негізгі
кемістігі - (лгіні жоғары температурада ."деу
м(мкіншілігі вакуум камерасыны" осындай к(йде
сыртты" ысымына шыдауымен шектелетіндігі.
Сонды тан, осы типті пештерді" басым к.пшілігі
(лгіні термо."деу шегі 1000°С-дан аспайды.
Сонымен бірге, ыздыру кезінде камераны" ішкі
бетінен шығатын газ м.лшері осы процесс кезіндегі
(лгі салынған ортадағы вакуум де"гейін
т.мендететіндіктен ."деу сапасы жеткілікті
болмауы м(мкін.
Вакуумды термо."деу пешіні" белгілі бас а т(рі
(Ковалев М.И. и др., Вакуумные системы
электропечей и их инженерный расчет. - М.;
Энергоатомиздат, 1983, стр. 64-68) - вакуум насос
ж(йесінен, вакуум камерасынан, онымен камераны
жалғастыратын вакуум ж(йелік элементтерден жəне
камераны" ішінде орналас ан ыздыру элементінен
т(рады. Термо."деу процессі б л пеште алды"ғы
аталған ондырғы сия ты ж(ргізіледі. Пешті" б л
т(рінде (лгіні термо."деу диапазонын ке"ейтіп,
яғни 1000°С - дан асыруға болады. Егерде,
камераны" ішкі бетінен ыздыру процессінде
шығатын газды" м.лшерін азайтатын ралдармен
амтамасыз етілсе, б л т(рлі ондырғыдағы вакуум
де"гейі алды"ғыға арағанда неғ(рлым жоғары
болатынды тан, ."деу сапасы да жоғары. Біра та,
вакуум камерасы мен насос арасында жалғастыру
ж(йесі болғанды тан, (лгі жат ан ке"істікті"
вакуум де"гейі насосты" беретін шамасынан
əр ашанда т.мен болады.
Техникалы негізінен сынылатын
ондырдырғыға е" жа ын аспап (Розанов Л.Н.
Вакуумная техника. - М.; Высшая школа, 1990, стр.
134-136) - магниттік диодты электроразрядты насос.
ондырғы камерадан (корпус), оны" ішкі
ке"істігінде вакуумды амтамасыз ететін электр
.рістік элементтерден, ал сыртында магнит .рісті
амтамасыз ететін б.лшектен т рады. Камераны"
ішкі ке"істігінде алынатын вакуум де"гейі
ондырғыны" олданылатын де"гейінен (Вакуумная
техника. Справочник. Под общей редакцией
Фролова Е.С., Минайчева. М., Машиностроение.
1985. стр. 279-287) ж(з еседей жоғары.
;сынылған .нертабысты" ма саты -
температуралы жəне вакуумды диапазоны ке",
сапасы жоғары универсалды вакуумды термо."деу
ондырғысы. Техбауырда та б л ма сат ыздыру
элементін пеш ж(йесіндегі вакуум де"гейіні" е"
жоғары аймағына орналастырумен техника ж(зінде
іске асырылады.
;сынылатын ондырғыны" конструкциясы 1-ші
суретте к.рсетілген. Осы аспап электр .рісті
амтамасыз ететін электродтар ж(йесінен (1),
т ра ты магнит .ріс к.здері (2), (лгіні ыздыру
пеші (3), вакуум камерасы (4) жəне (лгілерді
алмастыруға ажетті а па т(рінде жасалған
тесіктерден (5) т рады. Суретте т(сініктілік болу
(шін, камерада (4) .те жоғары вакуум де"гейіне
жеткізуге арналған перифериялы элементтер,
сонымен бірге ыздыру пешін істету элементтері де
келтірілмеген.
;сынылған ондырғыны" ж мыс істеуі келесі
келтірілген т(рде болуы керек. Алдын ала вакуум
камерада (4) жоғары де"гейдегі вакуум алу (рдісі
істелінеді. Ол (шін, перифериялы элементтерді
техникалы аны тамалар (инструкциялар) бойынша
ос аннан кейін дайындалған кезе"де, электродтар
ж(йесі (1) осылады. Т ра ты магнит .рістер
к.зіні" (2) рған магнит .рісіндегі электродтар
ж(йе (1) аймағында электроразряд тоғы ж(реді. Осы
(рдісті" салдарынын вакуум камерасындағы (4)
газды" сейілуі ары арай ж(ріп, оны" де"гейі ."деу
параметріне жеткен кезде, пеш (3) (лгі ыздыру
элементтері іске осылып, термо."деу процессі
басталады. Осы ызмет ат арылып жат анда
техбауырда орналас ан электродтар ж(йе (1)
ортасындағы ке"істікте вакуум де"гейі ж(йені"
ж мысымен алыптасып т рады.
Алдында келтірілген мəліметке (Вакуумная
техника. Справочник. Под общей редакцией
Фролова Е.С., Минайчева. М., Машиностроение.
1985. стр. 280) с(йенсек, яғни осы əдебиетте
келтірілген 280-ші бетіндегі мəтіні мен таблицаны
еске алса , термо."деу олданған вакуум
агрегатыны" беретін шы"ында – 10-9
Па шамасында
іске асырылады.
НЕРТАБЫСТЫНЕРТАБЫСТЫНЕРТАБЫСТЫНЕРТАБЫСТЫ ФОРМУЛАФОРМУЛАФОРМУЛАФОРМУЛАСЫСЫСЫСЫ
Техбауырда -вакуумды термо."деу пеш вакуум
камерасынан, ондағы электр жəне магнит .рістер
к.мегімен істейтін сорғыш элементтерден ралып
былай ерекшеленеді, ол жеке магнитразрядты
вакуум насосы камерасыны" ішінде
орналастырылған.

3. 28861
33
Орындаушы А. Сарсекеева
Корректор Р. Шалабаев