1. 影像處理(光罩製作)
挑選要製作的照片圖檔，將其經由繪圖
程式，轉成黑白高反差影像後，利用投
影片印出。

2. 金屬鍍膜(銅)
將要被轉印的基板(晶圓、玻璃)，經標
準清洗程序後，進行金屬的蒸(濺)鍍，
鍍膜厚度視需求調整。

3. 光阻塗佈
將已鍍膜的基板，利用旋鍍機，均勻旋
塗上一層薄光阻(2 μ m)後，放入烘箱軟
烤，使光阻凝固。

4. 光阻曝光顯影
將已塗好光阻的基板，利用曝光機與先前
製作的光罩，對準位置後進行曝光，曝光
完成後，用顯影液顯影並洗淨吹乾。