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電子束蒸鍍機
(E-GUN EVAPORATION)




              撰寫人:后希庭
大綱

蒸鍍原理
真空原理
機台組件介紹
實作




         2
蒸鍍原理
蒸鍍:將蒸鍍材料加熱至高溫(接近其熔點),使鍍材
由固體轉為液體進而汽化成蒸氣,沉積在被鍍物上形
成薄膜。
蒸鍍是以物理現象的方式,進行薄膜沉積的技術,此
種技術又稱為物理氣相沉積(Physical Vapor
Deposition,簡稱PVD)。

       加熱         加熱
 固 體        液 體        蒸 氣
                              3
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