1. 3D 表面輪廓儀

2. 薄膜內應力原理

3. 應用
膜厚量測
薄膜內應力量測
表面粗糙度量測
3D表面輪廓量測

4. 開機程序
1.依序將所有設備(圖1)之電源打開。 (順序：電腦、監視器控制器、電
視盒、液晶螢幕、儀器控制器)
圖1 設備圖
2.桌面選擇『iSTAR31』軟體，軟體將會詢問是否進行校正(圖2)，請選
擇『是』進行自動校正。
圖2 自動校正詢問視窗

5. 試片放置、下針接觸
3.將試片放置於載台上。
4.下針接觸方式有兩種：自訂位置(圖3)、自動接觸。可互相搭配使用。
※輸入Z軸絕對位置數值，探針將會自動下降。
(建議值：40~20mm間依序下降)
圖3 儀器位置控制視窗