Submit Search
Upload
Mems Accelerometer Techniques
•
2 likes
•
134 views
Saman Kasiry
Follow
mems accelerometer
Read less
Read more
Engineering
Report
Share
Report
Share
1 of 16
Download now
Download to read offline
Recommended
برنامه سازی شبکه: برنامه نویسی سوکت در سی شارپ
برنامه سازی شبکه: برنامه نویسی سوکت در سی شارپ
Navid Einakchi
Java
Java
ghanbarianm
مديريت دانش
مديريت دانش
dataminers.ir
آموزش جامع شی گرایی در سی شارپ
آموزش جامع شی گرایی در سی شارپ
faradars
Catalog bayan
Catalog bayan
Ebrahim Habibi ابراهیم حبیبی
پنج قرن خرافات و شیادی آخوند
پنج قرن خرافات و شیادی آخوند
Baback Babakian
TSS Accelerator Bootcamp: Squad 2 Overview
TSS Accelerator Bootcamp: Squad 2 Overview
Taiwan Startup Stadium 台灣新創競技場
آموزش پایتون - بخش اول
آموزش پایتون - بخش اول
Ali Yazdani
Recommended
برنامه سازی شبکه: برنامه نویسی سوکت در سی شارپ
برنامه سازی شبکه: برنامه نویسی سوکت در سی شارپ
Navid Einakchi
Java
Java
ghanbarianm
مديريت دانش
مديريت دانش
dataminers.ir
آموزش جامع شی گرایی در سی شارپ
آموزش جامع شی گرایی در سی شارپ
faradars
Catalog bayan
Catalog bayan
Ebrahim Habibi ابراهیم حبیبی
پنج قرن خرافات و شیادی آخوند
پنج قرن خرافات و شیادی آخوند
Baback Babakian
TSS Accelerator Bootcamp: Squad 2 Overview
TSS Accelerator Bootcamp: Squad 2 Overview
Taiwan Startup Stadium 台灣新創競技場
آموزش پایتون - بخش اول
آموزش پایتون - بخش اول
Ali Yazdani
How to program with c in persian
How to program with c in persian
moein jazemi
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
Startup Spark
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
Abouzar Najmi
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
Creative Startups
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
Dylan Ler
Entrepreneur versus employee
Entrepreneur versus employee
Mahdi Nasseri
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
Kenshin Fujiwara
MAP16 Startup Accelerator Workshop
MAP16 Startup Accelerator Workshop
Xue Qian
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
Christine Souffrant Ntim
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
Morteza SeyedAhmadpour
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
Rohan Workman
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
Javad Hosseinzadeh
Chaos control
Chaos control
Pourya Parsa
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
Shanghai Jiao Tong University
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Hossein Goodarzi
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Shanghai Jiao Tong University
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
afshin khatami
الگوریتم های طراحی درمان
الگوریتم های طراحی درمان
mah ta gharib
Pid controllers
Pid controllers
Pourya Parsa
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Mojtaba Hasanlu
Calculations for photovoltaic system
Calculations for photovoltaic system
Amirhossein gheytaran
#1_AAA_control_system(2).pdf
#1_AAA_control_system(2).pdf
SanazGerameifar
More Related Content
Viewers also liked
How to program with c in persian
How to program with c in persian
moein jazemi
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
Startup Spark
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
Abouzar Najmi
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
Creative Startups
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
Dylan Ler
Entrepreneur versus employee
Entrepreneur versus employee
Mahdi Nasseri
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
Kenshin Fujiwara
MAP16 Startup Accelerator Workshop
MAP16 Startup Accelerator Workshop
Xue Qian
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
Christine Souffrant Ntim
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
Morteza SeyedAhmadpour
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
Rohan Workman
Viewers also liked
(11)
How to program with c in persian
How to program with c in persian
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
How to be NOT SUCCESSFUL in an “accelerator”
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
سرمایه گذاری جسورانه Venture Capital (با نگاهی به بازار مالی و سرمایه گذاری د...
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
A Startup Accelerator for Creatives? Here's what they're saying about us...
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
bVentures - UCLA's leading startup accelerator.
Entrepreneur versus employee
Entrepreneur versus employee
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
Building Startup Community and Startup Accelerator in Kyoto
MAP16 Startup Accelerator Workshop
MAP16 Startup Accelerator Workshop
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
2017 Asia Startup Ecosystem Winter Digital Accelerator
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
بروشور هفتمین دوره کسب و کار الکترونیک و راه اندازی استارتاپ
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
MAP Master Class - Intro to Startup Ecosystem
Similar to Mems Accelerometer Techniques
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
Javad Hosseinzadeh
Chaos control
Chaos control
Pourya Parsa
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
Shanghai Jiao Tong University
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Hossein Goodarzi
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Shanghai Jiao Tong University
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
afshin khatami
الگوریتم های طراحی درمان
الگوریتم های طراحی درمان
mah ta gharib
Pid controllers
Pid controllers
Pourya Parsa
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Mojtaba Hasanlu
Calculations for photovoltaic system
Calculations for photovoltaic system
Amirhossein gheytaran
#1_AAA_control_system(2).pdf
#1_AAA_control_system(2).pdf
SanazGerameifar
teleoperationنگار پژوه :: تله اپراتور برای آموزش جراحی رباتیک
teleoperationنگار پژوه :: تله اپراتور برای آموزش جراحی رباتیک
Mojtaba Hasanlu
Mamography
Mamography
saeed oliyaee
Wave makers
Wave makers
kmsu
مقایسه روشهای طراحی لرزه ای براساس عملکرد
مقایسه روشهای طراحی لرزه ای براساس عملکرد
arian2020
گزارش کار آزمایشگاه اندازه گیری
گزارش کار آزمایشگاه اندازه گیری
tahereh sharafi
MOD (2)
MOD (2)
amin rabanian
فرمول محاسبه طول مهاری میلگرد
فرمول محاسبه طول مهاری میلگرد
bahareq
BMS چیست
BMS چیست
Ali Shojaei
Chromatography
Chromatography
ahmadamanpour
Similar to Mems Accelerometer Techniques
(20)
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
تصوير برداري MRI ، جواد حسين زاده
Chaos control
Chaos control
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
بکارگیری وصلههای پیزوالکتریک بصورت حسگر و عملگر به منظور دمپینگ ارتعاشی تیر...
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Reactive power(www.mohsenasadi22.blogfar.com)
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Vibrational Condition Monitoring of rotary system based on Fast Fourier Trans...
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
Loss Estimating Of Gas Pipeline Network Due To Earthquake (case study Sari)
الگوریتم های طراحی درمان
الگوریتم های طراحی درمان
Pid controllers
Pid controllers
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Thesis Chaptersنگارپژوه :: فصل بندی پایان نامه
Calculations for photovoltaic system
Calculations for photovoltaic system
#1_AAA_control_system(2).pdf
#1_AAA_control_system(2).pdf
teleoperationنگار پژوه :: تله اپراتور برای آموزش جراحی رباتیک
teleoperationنگار پژوه :: تله اپراتور برای آموزش جراحی رباتیک
Mamography
Mamography
Wave makers
Wave makers
مقایسه روشهای طراحی لرزه ای براساس عملکرد
مقایسه روشهای طراحی لرزه ای براساس عملکرد
گزارش کار آزمایشگاه اندازه گیری
گزارش کار آزمایشگاه اندازه گیری
MOD (2)
MOD (2)
فرمول محاسبه طول مهاری میلگرد
فرمول محاسبه طول مهاری میلگرد
BMS چیست
BMS چیست
Chromatography
Chromatography
Mems Accelerometer Techniques
1.
دانشگاهآزاداسالمیواحدتبریز دانشکدهمکانیک،مکاترونیک روشهایشتاب سنجش مختلفدرMEMS :
استادوالدی دکتر آقای جناب دانشجو:کثیری باقرزاده سامان 900755904 مکاترونیک2 زمستان1991
2.
1-شتاب کلی اصول
بر ای مقدمهسنجها روشهایمختلفیو شتاب سنجش جهتکه دارند جودتقریباتمامیآنهامبتنیبرمکانیزم وزنه،فنرومیراگرمیباشندکهبه توجه بانیوتون دوم قانونبه که زمانیوارد شتاب وزنه میشودشده آن جابجایی باعثگیری اندازه با وجابجایی اینسیستم مدل بودن مشخص و میتوانبدست را شتابآورد. فنر سختی میزان تغییر با،گری میرا مقدار و وزنه جرممیتوانو دینامیک پارامترهای تشدید فرکانس قبیل از را سیستم استاتیک،سیستم باند پهنای،پایداری زماناندازه سرعت و را گیریدلخواه به.داد تغییرسیستم یک در تغییر محدوده البتهحلقهایجاد با که بوده کم باز بسته حلقه سیستم یکمیتوانرا فوق های پارامترای سیستم به و کرد کنترل بیشتردهال نزدیکتر. شددربرخیسیستمهایاندازهاز استفاده با شتاب گیریقوانینترمودینامیک صورتمیگیردجرم مکانیزم از ووفنراستفادهنمیشود.دارند محدودی استفاده کهایده هدف شتاب طراحی در السنجهادینامیکی خوب پاسخ ، خطی بسیار ،نویز کم سیستم یک به رسیدن باال پایداری و محیط دمای به کم وابستگی ، توان کم مصرف ، سنج شتابمیباشد.بهطور کلیسیستمهاطراحی بسته حلقه و باز حلقه صورت دو بهمیشوندکهسیستمهایباز حلقه سااستفاده حساس غیر کاربردهای در و بوده تر دهمیشوندوسیستمهایقیمت گران بسته حلقه وپیچیده.داشت خواهند تری باال کیفیت ولی بوده
3.
1-1:سیستمهایحلقه( بازopen loop
system: ) که صورتی درسیگنالهایسنسور از حاصلبهطوراستفاده مورد مستقیمقرار سی یک گیردپارامتر به رسیدن برای سیستم نوع این در . داشت خواهیم باز حلقه ستم جرم افزایش مثال برای بدهیم تغییر را آن مکانیک مشخصات باید نیاز مورد های غیر موجب که وزنهخطیترسیستم رفتار شدنمیشودخود امر این بر عالوه که سیلیکونپایهاین ساخت اصلیسیستمهارفتار استدارد خطی غیر االستیک کاربرد از بسیار در . شد خواهد سنج شتاب کل بودن خطی غیر تشدید موجب که و بوده قبول قابل اشکاالت این پایین دقت با و ساده هایسیستمهایاستفاده باز حلقه میشود.
4.
1-2:سیستمهای( بسته حلقهclose
loop system: ) نوع این درسیستمهاجرم مکانیزم بر عالوه،فنرومیراگرا سیستم یکعنیرو مالمثال نیروی اعمالالکترواستاتیکگیری اندازه شتاب اثر در وزنه حرکت . دارد وجود نیزشده وشده داده کنترل سیستم به خطا عنوان به سیگنال این،اعمال مکانیزم به کنترل سیستم فرمان نیرومیدهدسیستم طرف از شده اعمال سیگنال داند برگر اول حالت به را وزنه تا از . سیستم کل به اعمالی شتاب با بود خواهد متناسب نیرو اعمال مکانیزم به کنترل بسته حلقه سیستم از استفاده مزایایمیتوان. کرد اشاره زیر موارد به 1-نوکه وزنه ساندراثرشده منحرف خود سکون حالت از شتابدرمقایسهبا اثرات نوسان کاهش به توجه با حالت این در شد خواهد کمتر بسیار باز حلقه سیستم سیستم و یافته کاهش نیز سیلیکونی فنر خطی غیرخطیتر. کرد خواهد کار 2-میتوانرا سیستم دینامیک مناسب کنترل سیستم طراحی با. داد افزایش 3-مناسب کنترل سیستم طراحی بامیتوانیمپهنای با نیاز مورد حساسیت بهباند این کرد پیدا دست مناسبامردرسیستمامکان باز حلقهپذیرنبودهبا وافزایش کاهش باند پهنای حساسیتمییابد. 4-تمامی باز حلقه حالت دررفتارمشخص به وابسته سنسور دینامیک و استاتیکات آن ابعادی و مکانیکیمیباشداین ومسئلهساز مشکل انبوه تولید دربود خواهدو باروشهایسنسورهای در مشخصات تغییر امکان فعلی استاندارد ساختهم با تا22دارد وجود نیز %.
5.
2-روشهایشتاب گیری اندازه قسمت
این درمهمترینروشهایبی که شتاب گیری اندازهشترگیری اندازه اساس بر پارامترمیراگر و فنر ، جرم سیستم هایاثر بر نوسان تیر کرنش یا وزنه جابجایی مانند شتاب از حاصل تنشمیباشدمطرحمیشود. 2-1:پیزو سنج شتابرزیستیو((Piezoresistive Accelerometers: را پیزورزیستیو خاصیتمیتواناینگونهت که کرد مطرحیک الکتریکی مقاومت غییر نیروی اثر در . آن بر تنش اعمال اثر در رسانا نیمهفشاریکه رسانا نیمه به شده وارد آن در کرنش ایجاد باعثمیشودو کرده اثر سیلیکون کریستالی ساختار بر کرنش این و باعثتأثیربرشعاعو اتمیbandgapsمیشودنتیجه .درالکترونهاراحتی به میتوانندبرسند رسانش باند بهودررسانا نیمه مقاومت مقدار امر این اثرکاهشمییابد. رسانا نیمه مقاومت افزایش باعث شود اعمال کششی نیرو اگر حالمیشود. و شده ساخته میراگر فنر ،جرم سیستم یک حالمیخواهیمجابجاییوزنهراکهاز ناشی ساختارهای در ، شود گیری اندازه شتاب اعمالmemsفنربهصورتساخته بیم یک میشودبیشتر بسیار آن مقطع سطح به نصبت آن طول کهمیباشدیک وکه آن سمت آن دیگر سمت و بوده آزاد است وزنه شاملبهصورتیکتکیهگاهگیردارمیباشددر . اساس بر نیرو یک شتاب اثروارد دارد بیشتری جرم که وزنه بر نیوتون دوم قانون میشوددراثرخم ،ساختار به توجه با شتاب عکس جهت در بیم نیرو اینمیشودبه صورتیکشیده آن دیگر سمت و شده فشرده آن سمت یک کهمیشود.
6.
آن مقاومت کنیم
نسب پیزورزیستور بیم این روی بر اگر مرحله این در،خمش با متناسب نیروودرنهایتاعمالی شتاب با متناسب. کرد خواهد تغییرپیزورزیستر دو نصب با گیری اندازه بیشتری دقت با را شتاب مقدار وتستون پل از استفاده و هم مخالف سمت در میشود.بیم سمت دو در پیزورزیست ایجاد بودن مشکل به توجه باعمالسمت یک در خواه وجودو داشت داینباعث امروابست.شد خواهد روش این در دما به گی 2-2:شتابسنجخازنی(Capacitive Accelerometers): مکانیکی ساختارنیز سنج شتاب نوع این،فنر جرمومیراگیرمیباشد.دراینروشاز شتاب اثر در وزنه جابجاییبهمنظوردی جابجایی یا و خازن یک صفحات جابجایی استفاده صفحات بین الکتریکمیشود. ظالکتریک دی ،نوع صفحات (مساحت عامل سه به خازن رفیتوفاصلهصفحهها) کاربردها اکثر در که است وابستهبهدلیلفاصله ساخت سهولتصفحههارامتغیردر نظرمیگیرند. نمونه یک در مثال برایثابت الکتریک دی نوع و مساحتبودهفاصله ولیصفحهها متغیرنصب با که استثابت قسمت روی بر دیگر صفحه و وزنه روی بر صفحه یک
7.
سیستمحاصلمیشودعمل این با
وبین فاصلهصفحههاکه وزنه حرکت به وابستهخود شتاب با متناسببه واردهاست آنمرتبطشد خواهد. سهاندا برای اصلی حالتظرفیت گیری زهخازنیدارد وجود متغیرکهبهشرحزیر . است 1-از استفادهپلهایACکاپاسیتانس گیری اندازه ومدوالسیون یک واقع در کهAM . داشت خواهیم 2-شتا با متناسب فرکانس تغییر که تانک مدار یک از استفادهحاصل بمیشودو میتوانمدوالسیون با سیم بی سنسور یکFM. ساخت 3-حالتDCخازنی ظرفیت تغییر با و داشته نگاه ثابت های صفحه روی را بار که .کند پیدا تغییر ولتاژ ازمزیتهایشتاب نوع اینسنجهاهم و سنسور عنوان به خازنی صفحات از استفاده بسته حلقه سیستم در عملگرمیباشدشتاب ساخت در دلیل این بهسنجهایحلقه دقیق بستهاکثرااستفاده ساختار این ازمیشود. را سنسور این خازنی صفحات عمل دربهصورتای شانهمیسازندوچندینخازنبه صورت. شود حاصل نهایی ظرفیت تا و شده متصل هم به موازی و سری
8.
2-3:شتابسنجپیزوالکتریک(Piezoelectric Accelerometers: ) ساختارمکانیکیایننوعشتابسنججرم،فنرومیراگیرگیری
اندازه برای و بوده مواد پیزوالکتریک خاصیت از جابجاییاستفاده کریستالیمیشود.اثرپیزوالکتریک تواناییبرخیموادمیباشدبرایتبدیلانرژیمکانیکیبهانرژیالکتریکیوتبدیل انرژیالکتریکیبهانرژیمکانیکی.اثرپیزوالکتریکدرانواعموادازجملهتک ،بلورهاسرامیک،هابسپارهاوموادمرکبدیدهمیشود.تولیداختالفپتانسیلالکتریکی دربرخیبلورهاینارسانامثلکوارتزتحتکششیافشارمعکوسهمهستندوهرچه میزانفشاریاکششبیشتر،باشداختالفپتانسیلتولیدشدهبیشتربود خواهد. جابجایی گیری اندازه برایمعموالاز2استفاده حالتمیشود. 1-بیم روی بر پیزو نسببهصورتبیم شدن خم با حالت این در که زیر شکل ا پیزو کریستال به تنش یک وزنه به متصلعمالمیشودبه موجب امر این که .بود خواهد شتاب با متناسب که شده پتانسیل اختالف آمدن وجودروش این با میتوانگیری اندازه قابلیت و باال حساسیت با سیستمیشتابهایساخت کوچک برابر در ولیشتابهای.داشت خواهد پایینی مقاومت ) (ضربه باال بسیار 2-نخواهیم بیم دیگر حالت این در که پیزو کریستال روی بر وزنه مستقیم دادن قرار فنری حالت و داشتمستقیماو شتاب از ناشی تنش برابر در کریستال کرنش از نظر از ولی شده کمتر سیستم حساسیت حالت این در بود خواهد وزنه جرم سنجش امکان و داشت خواهیم بیشتری مقاومت مکانیکیشتابهایقدرت و باال را ضرباتبهوجودمیآید.
9.
2-4:شتابسنج( تونلیTunneling Accelerometers:
) مانند نیز سیستم این مکانیکی ساختارروشهایاستفاده فنر و جرم از و است قبلیمیکند استفاده زنی تونل جریان گیری اندازه روش از وزنه جابجایی گیری اندازه برای ومیشود تونل جریان تغییرات نسبت و بوده باال بسیار جابجایی گیری اندازه در روش این دقت که بود خواهد نمایی رابطه یک جابجایی به زنیدرابعاد.دارد باال دقتی کوچکمعموال را سنج شتاب نوع اینبهصورتبسته حلقهمیسازندبود خواهد فیدبک دارای سیستم و مکانیزم بر عالوه پسایجادواندازهیک زنی تونل جریان گیریعملگرالکترواستاتیک . وزنه موقعیت کنترل برای داشت خواهیم نیز را زنی تونل مفهوممیتوانکرد مطرح صورت این بهدر فاصله به رسانا دو اگر که پدیده برسند هم متری نانو یک حدودتونلزنیالکترونهایحدی بهمیرسدقادر ما که .بود خواهیم پدیده این از ناشی جریان گیری اندازه بهدرظاهرالکترونهاکافی انرژی ندارند را است کوچک هوایی فاصله یک اینجا در که سد از عبور برایولیبنابراصول سد طرف آن در کوانتوم فیزیکنواحیاحتمال که دارد وجودحضورالکترونهاآنجا در قسمتی پس نیست صفرازالکترونهاحتمازنی تونل میزان . کرد خواهند عبور سد از الکترونهادارند هم با نمایی رابطه یک که است سد عرض به وابستهبهصورتزیر مطرحمیشود. کهدررابطهجریانتونلزنیxبقیه و بوده سد پهنایپارامترهاتقریباو بوده ثابت وابستهمحیط شرایط و دما و جنس بههستندسد معرض وزنه به شتاب اعمال با .تونل تغییر نیز جریان میزان نتیجه در و کرده تغییر زنیمیکندشتاب به وابسته تغییر این که . بود خواهد درتئوریروش ایندقیقترینوحساستریناندازه روششتاب گیریمیباشدبه بنا ولی مشکال از یکی است مانده باقی تحقیقاتی حد در و نشده سازی تجاری دالیلیروش این ت جریان وابستگیتونلمدان دما به زنیالکترواستاتیکبرخورد ونوترونهاکه است دشوار را محیطی شرایط کنترلمیکندنشد حل مشکالت از یکی وزمینه این در ه (long-term drift. است الکتریکی میدان در ) شتاب این از نوع دو شکل ادامه درسنجهاکلیات که شده داده نمایشیکسانیولی داشته .دارند متفاوتی های ساختار
10.
فوق شکلقسمتهاینشا را
سنج شتاب نوع این اصلیکه داده نبهطورسه شامل کلی (قسمتوزنهوبیم–الکترواستاتیک عملگر صفحات–الکترودونوکتونلینگ)میشود. فوق شکل درقسمتهایسنج شتاب مختلفتونلیآن کنترل مدار وکه شده داده نمایش و الکترواستاتیک عملگرهای ، بسته حلقه کنترل سیستم شاملپراپجریانتونلیکهبه صورتنودارد قرا وسط در تیز کمیشود.. دارد قبل شکل با متفاوت ساختاری که 2-5:شتابسنج( تشدیدیResonant Accelerometers): شتاب از نوع اینسنجهاپیچیده بسیاراوسیالتور فرکانس تغییر اساس بر را شتاب و بوده که داخلیالکترومکانیکیمیباشدگیری اندازهمیکند. فقط سنج شتاب نوع این . است نشده سازی تجاری و بوده پیچیده سنج شتاب این ساختار بسته حلقه حالت درمیتواندپیچیده جانبی مدارات به شتاب سازی آشکار برای و کند عمل . هست نیاز ای
11.
جرم و نداریم
گر میرا سنج شتاب این دروفنردر خود طبیعی فرکانس باخألحال در نوسانهستندداشته نگه ثابت فرکانس همان در سنج شتاب کنترل سیستم توسط که میشودنتیجه در فیزیک مشخصات تغییر باعث جرم به خارجی شتاب اعمال با .وباعث تشدید فرکانس تغییرطبیعیاعمالی شتاب به وابسته فرکانس تغییر این که شده سیستم . بود خواهد را فنر و جرم سیستم طبیعی فرکانس که فوق فرمول درمشخصمیکند. (Eبیم سازنده مواد یانگ مدول ::wپهنایبیمLبیم طول :t،بیم :ضخامتM، وزنه جرم :MBبیم جرم :) با نیرو شدن وارد بایانگ مدول به توجهباعثتغییرابعادطبیعی فرکانس و شدهسیستم .کرد خواهد تغییر شتاب این اصلی اجزایسنجهارامیتوانبهصورت. کرد بندی دسته زیر
12.
1-جرموفنر 2-الکترواستاتیک است ممکن
که عملگر،پیزویا الکتریکترمالباشد. 3-فنر و جرم مجموعه فرکانس گیری اندازه سیستم، پیزو است ممکن کهتونلییا و . باشد جابجایی سنجش مکانیزم هر 4-که عملگرها تغذیه سیستمآنهادرایو مشخصی فرکانس با رامیکند. 5-که فرکانس تغییر سازی آشکار سیستممعموال( ازPLL)استفادهمیشود. 6-تمامی که کنترل سیستمقسمتهاو کرده کنترل راخروجیرا شتاب با متناسب فراهممیکند. نسبت به شد طراحی انواع از برخی در743 Hz/Gنیزدستیافتهاندهر برای یعنی شتاب جی یک343حاصل سیستم طبیعی فرکانس در تغییر هرتزبه توجه با . است شده وجود عدمعاملمیرا. بود خواهد باال بسیار سیستم گرمعموالنوسانگرهارابهصورت دیفرانسیلیمیسازند. کنند حذف خروجی فرکانس از را حرارتی خطای تا یک دیاگرام بلوک فوق شکلتشدیدی سنج شتابمیباشدنوسان که( حرارتی آن سازمانند متال بی)فرکانس گیری اندازه سیستم و بودهجرپیزو نوع از فنر و ممیباشدونهایت در فرکانسحااز استفاده با صلد یکمودوالتورولتاژ بهشتاب با متناسبتبدیلمیشود.در شده طراحی نیز داخلی مرجع یک سنج شتاب اینتست و کالیبراسیون مراحل در تا است .گیرد قرار استفاده مورد سیستم
13.
2-6:شتابسنجاپتیکی(Fabry-Perot interferometer Accelerometers): معموالدرایناز
نیز ساختار، جرمفنرگر میرا واستفادهمیشود. انواعروشهاگیری اندازه برایجابجاییوزنهاستفاده باازپارامترهایاپتیکی از دارد وجودجمله(تغییر، شدت،فازپوالرا، یزاسیون) فرکانس و موج طول ی هر که نورکمزیتهادارند را خود خاص معایب و. درایناز یکی قسمتروشهامطرح نمونه برایمیشودکهموج طول تغییر اساس بر میباشد.ا سنج شتاب نوع این درخاصیت زتداخلسنجفابری-پرواست شده استفاده. شفاف نیمه آینه دو سیستم این در،کیفیتباال،موازیوفاصله باقرار هم کنارمیگیرند مج این وارد منبع یک از نوری سپسو شده موعهبنابهورود زاویهنوربهآینههاو فاصلهآنهاانعکاس ضریب وآنهانور تابش باز تکرار دفعات ودرداخلمجموعهنور خروجیم موج طول دارایبود خواهد ورودی نور از تفاوتی. فاصله که زمانی امر اینآینههاشود بیشتر تأخیرشده بیشتر تابش باز هر در شده ایجاد نور نهایی موج طول بر نتیجه در و از خروجیسیستمتأثیرمیگذارد. مشخصات سایر گرفتن نظر در ثابت با از یکی اگر سیستمآینههاثاب رادیگری و ت کنیم متصل وزنه به راشتاب اعمال باو فاصله فنر و جرم مجموعه حرکتآینهها خواهد تغییر موج طول نتیجه در کرده تغییر .کرد
14.
اولیه موج طول
به وابسته موج طول تغییر فوق شکل در،نور ورود زاویه،فاصلهدو آینهتعداد وانعکاسداخل در نورآینههابود خواهد.فاصله اگر حالآینههارابا متناسب باشد وزنه جابجاییمتنا نور موج طول تغییرسیستم به وارده شتاب با بود خواهد سب. مبنای بر سنج شتاب سیستم یک فوق شکل درخاصیتتداخلسنجفابری-پرو شتاب عمل در است شده داده نمایش است شده ساختهسنجهایاین اساس بر صنعتی ساخته روشنمیشودبیشتر و. دارد آزمایشگاهی جنبه
15.
2-3( حرارتی سنج
شتاب :AccelerometersThermal:) نوعخسنج شتاب از اصیمیباشدداشته متفاوت ساختاری کهومشخصات. دارد خاصی قوانین اساس بر و نداشته متحرکی قطعه هیچ سنسور نوع اینترمودینامیککارمیکنددر برابر در نتیجهتشعشعات و مکانیکی ضرباتالکترومغناطیسیولی است مقاوم بسیار . دارد کمی دقت و محدود بسیار باند پهنای کن گرم یک شامل سنسور نوع اینچند ،سنسورویکهوا کوچک محفظهمیباشد. وارد شتابی سنسور به که زمانینمیشودحرارت اثر در ندارد حرکتی ومنتشرشدهاز هوای المنتداخلمحفظهبهصورتگرم نواخت یکمیشودمیزان البتهگرماکم بسیار میباشدسیستم تااشباعباشیم داشته سیستم در حرارتی گرادیان یک همیشه و نشود. را یکسانی دمای عادی شرایط در که دارد وجود دما سنسور چندین کن گرم اطراف در اگیری ندازهمیکنند. وارد آن به کمی بسیار نیروی هوا کم جرم به توجه با شود وارد شتاب سیستم به اگر حال شدهواالسایر ولی داشت نخواهد جابجاییقسمتهایشتاب اعمال جهت خالف در سنسور ح این در کرد خواهد حرکتگرما لختی به توجه با الت، هوا ییهوایطرف یک در گرم جمعمیشودتوزیع ونرمالبهم حباب داخل در دمامیخوردودردما های سنسور نتیجه دمایمختلفیثبت رامیکنندخواهد سیستم به وارده شتاب با متناسب دما اختالف این که بود.
16.
دما توزیعشتاب شدن
وارد از پسجدولمشخصاتیکشتابسنجحرارتی روشهاینیز دیگری مختلفوجوداردو داشته تحقیقاتی جنبه بیشتر کهاکثرااز ترکیبی روشهایفوقالذکرمیباشندبرای پایان در .بندی جمعروشهایفوقجدولزیرمطرح میشود.
Download now