ИЗГОТОВЛЕНИЕ ГОЛОГРАММНЫХ ЗЕРКАЛ ДЛЯ СИСТЕМЫ НОЧНОГО ВИДЕНИЯITMO University
Рассмотрены вопросы, связанные с изготовлением плоских и сферических голограммных зеркал, предназначенных для работы в составе окулярной системы очков ночного видения на слое бихромированного желатина. Предложены метод записи голограммных зеркал, принципы расчета параметров оптической схемы установки для их записи. Приведены технология процесса и результаты работ по изготовлению голограммных зеркал.
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ГОЛОГРАММНЫХ ЗЕРКАЛ ДЛЯ СИСТЕМЫ НОЧНОГО ВИДЕНИЯITMO University
Рассмотрены вопросы, связанные с изготовлением плоских и сферических голограммных зеркал, предназначенных для работы в составе окулярной системы очков ночного видения на слое бихромированного желатина. Предложены метод записи голограммных зеркал, принципы расчета параметров оптической схемы установки для их записи. Приведены технология процесса и результаты работ по изготовлению голограммных зеркал.
Nell'incontro di partecipazione organizzato dal Progetto Euroepo RURBANCE a Grezzana il 20 febbraio 2015 con le aziende agricole e la popolazione, è stato mostrata una presentazione introduttiva al nuovo Programma di Sviluppo Rurale della Regione Veneto e ad alcune misure di finanziamento, dal dott. Riccardo De Gobbi. I contenuti sono solo indicativi.
Jac Mare is a motivated AML analyst currently employed with the Royal Bank of Scotland in Edinburgh. He has over 15 years of experience in financial services and customer service roles. Mare is currently enrolled in an advanced AML certification program and is looking to further develop his analytical, research, and regulatory compliance skills within a financial crime environment.
Este documento compara la andragogía y la pedagogía. La andragogía se ocupa del estudio del hecho educativo en los adultos, mientras que la pedagogía se enfoca en los niños y jóvenes. Algunas diferencias clave son que la andragogía se basa en la horizontalidad y la independencia del estudiante adulto, quien aporta su experiencia previa al proceso de aprendizaje. La pedagogía implica una relación más vertical entre el estudiante dependiente y el docente.
Este documento resume los significados de varios colores y proporciona ejemplos de marcas que hacen uso efectivo de ellos. El rojo significa pasión y energía, como se ve en Ferrari y Red Bull. El amarillo representa innovación y vitalidad, como en Chupa Chups y Honda. El azul transmite profesionalismo y confianza, como en el Banco BBVA y Samsung. El verde denota naturaleza y crecimiento, como en Animal Planet y Herbalife. El púrpura simboliza lujo y creatividad, como en Chanel. El
The document lists common illnesses and injuries such as colds, sore throats, headaches, and broken bones. It then provides examples of sentences using should and shouldn't to give medical advice, such as that one should go to the dentist if they have a toothache or shouldn't eat candies if they have a stomach ache. The document also gives examples of sentences using can and can't to describe whether activities can or cannot be done given a person's illness or injury.
El documento describe el sistema de excitación rítmica del corazón. El corazón tiene un sistema especializado para generar impulsos eléctricos rítmicos que producen la contracción rítmica del músculo cardíaco. Este sistema comienza en el nódulo sinusal y conduce los impulsos a través de las aurículas y ventrículos. Las fibras de Purkinje ayudan a transmitir rápidamente los impulsos a través de los ventrículos para una contracción coordinada.
The document discusses important global skills and managerial skills for personality development. It lists 3 A's - ability to work globally, assertiveness, and adaptability as key global skills. It also lists sense-making, social intelligence, novel and adaptive thinking, and cross-cultural competency as needed skills. Key managerial skills discussed include displaying honesty and integrity, solving problems and analyzing issues, practicing self-development, establishing goals, exhibiting technical expertise, innovating, focusing on results, taking initiative, communicating powerfully, building relationships, collaborating and fostering teamwork, championing change, inspiring and motivating others, developing others, developing strategic perspective, and connecting groups to the outside world.
Apresentação Institucional - Visão MundialVisão Mundial
A Visão Mundial é uma ONG cristã presente em 100 países que atua no Brasil desde 1975 para promover o bem-estar de crianças e adolescentes em situação de vulnerabilidade. Sua atuação inclui projetos de geração de renda, educação, saúde e assistência humanitária em comunidades empobrecidas. A Visão Mundial beneficia mais de 2,6 milhões de pessoas por ano no Brasil através de 40 Programas de Desenvolvimento de Área.
El documento discute el rol del cine chileno en la proyección de la imagen de Chile en el extranjero. Señala que las producciones cinematográficas nacionales son una parte importante de la identidad chilena y han recibido reconocimiento internacional. Además, explica que la cultura, incluyendo el cine, es fundamental para la percepción del país en el exterior y que el cine chileno ha sido un tema prominente en la cobertura internacional de Chile. Finalmente, argumenta que es importante promover la industria cinematográfica chil
Nell'incontro di partecipazione organizzato dal Progetto Euroepo RURBANCE a Grezzana il 20 febbraio 2015 con le aziende agricole e la popolazione, è stato mostrata una presentazione introduttiva al nuovo Programma di Sviluppo Rurale della Regione Veneto e ad alcune misure di finanziamento, dal dott. Riccardo De Gobbi. I contenuti sono solo indicativi.
Jac Mare is a motivated AML analyst currently employed with the Royal Bank of Scotland in Edinburgh. He has over 15 years of experience in financial services and customer service roles. Mare is currently enrolled in an advanced AML certification program and is looking to further develop his analytical, research, and regulatory compliance skills within a financial crime environment.
Este documento compara la andragogía y la pedagogía. La andragogía se ocupa del estudio del hecho educativo en los adultos, mientras que la pedagogía se enfoca en los niños y jóvenes. Algunas diferencias clave son que la andragogía se basa en la horizontalidad y la independencia del estudiante adulto, quien aporta su experiencia previa al proceso de aprendizaje. La pedagogía implica una relación más vertical entre el estudiante dependiente y el docente.
Este documento resume los significados de varios colores y proporciona ejemplos de marcas que hacen uso efectivo de ellos. El rojo significa pasión y energía, como se ve en Ferrari y Red Bull. El amarillo representa innovación y vitalidad, como en Chupa Chups y Honda. El azul transmite profesionalismo y confianza, como en el Banco BBVA y Samsung. El verde denota naturaleza y crecimiento, como en Animal Planet y Herbalife. El púrpura simboliza lujo y creatividad, como en Chanel. El
The document lists common illnesses and injuries such as colds, sore throats, headaches, and broken bones. It then provides examples of sentences using should and shouldn't to give medical advice, such as that one should go to the dentist if they have a toothache or shouldn't eat candies if they have a stomach ache. The document also gives examples of sentences using can and can't to describe whether activities can or cannot be done given a person's illness or injury.
El documento describe el sistema de excitación rítmica del corazón. El corazón tiene un sistema especializado para generar impulsos eléctricos rítmicos que producen la contracción rítmica del músculo cardíaco. Este sistema comienza en el nódulo sinusal y conduce los impulsos a través de las aurículas y ventrículos. Las fibras de Purkinje ayudan a transmitir rápidamente los impulsos a través de los ventrículos para una contracción coordinada.
The document discusses important global skills and managerial skills for personality development. It lists 3 A's - ability to work globally, assertiveness, and adaptability as key global skills. It also lists sense-making, social intelligence, novel and adaptive thinking, and cross-cultural competency as needed skills. Key managerial skills discussed include displaying honesty and integrity, solving problems and analyzing issues, practicing self-development, establishing goals, exhibiting technical expertise, innovating, focusing on results, taking initiative, communicating powerfully, building relationships, collaborating and fostering teamwork, championing change, inspiring and motivating others, developing others, developing strategic perspective, and connecting groups to the outside world.
Apresentação Institucional - Visão MundialVisão Mundial
A Visão Mundial é uma ONG cristã presente em 100 países que atua no Brasil desde 1975 para promover o bem-estar de crianças e adolescentes em situação de vulnerabilidade. Sua atuação inclui projetos de geração de renda, educação, saúde e assistência humanitária em comunidades empobrecidas. A Visão Mundial beneficia mais de 2,6 milhões de pessoas por ano no Brasil através de 40 Programas de Desenvolvimento de Área.
El documento discute el rol del cine chileno en la proyección de la imagen de Chile en el extranjero. Señala que las producciones cinematográficas nacionales son una parte importante de la identidad chilena y han recibido reconocimiento internacional. Además, explica que la cultura, incluyendo el cine, es fundamental para la percepción del país en el exterior y que el cine chileno ha sido un tema prominente en la cobertura internacional de Chile. Finalmente, argumenta que es importante promover la industria cinematográfica chil
The document summarizes research on the electrocaloric effect in ferroelectric nanowires compared to bulk materials. Key findings include:
1) The maximum electrocaloric response is reduced in nanowires compared to bulk, due to decreased spontaneous polarization and dielectric constant from reduced correlation length.
2) In polydomain nanowires, both the BaTiO3 and KNbO3 nanowires lose their electrocaloric properties, as the electric field is not well aligned with polarization in each domain.
3) The largest electrocaloric response occurs near phase transition temperatures where crystal structure changes and entropy is maximized, as shown in simulations of the electrocaloric temperature change.
This document provides guidance on rock slope design for the Ohio Department of Transportation. It discusses topics such as geological data collection and testing methods. Section 200 defines important geological terms and describes planning an exploration program to collect data through surface mapping, borings, and laboratory testing. This data is used to characterize the rock mass and discontinuities, along with groundwater conditions. The guidance aims to provide information needed for designing stable, safe rock slopes in transportation projects.
The document discusses concepts related to concurrent and parallel programming with threads in Java. It covers key topics such as concurrent programming using threads, challenges with shared mutable state and data visibility across threads, and improvements in Java like the ConcurrentHashMap that provide better concurrency support. It emphasizes that achieving parallelism requires minimizing shared mutable state and synchronization through techniques like immutable objects and data-oriented design.
A embolia pulmonar é a obstrução da artéria pulmonar por um coágulo sanguíneo que se deslocou de uma veia, causando falta de ar, dor no peito e tosse com sangue. Ela pode ser causada por imobilização prolongada, câncer, cirurgia ou uso de anticoncepcionais. O diagnóstico é feito por exames clínicos e de imagem e o tratamento envolve anticoagulação e, em casos graves, cirurgia.
АНАЛИЗ ПРОБЛЕМ ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ МИКРОСКОПАITMO University
Выполнен анализ соответствия параметров объективов микроскопа рекомендованному ряду унифицированных значений, определены требования к параметрам объективов и окуляров из условия согласования их со свойствами глаза. Определены условия когерентного и некогерентного освещения наблюдаемого предмета, представлены результаты исследования влияния степени когерентности освещения на качество изображения, как основы для оптимального согласования параметров осветительной оптической системы с параметрами наблюдательной оптической системы микроскопа. Показано, что низкую эффективность использования светового потока, формируемого осветительной системой микроскопа, можно увеличить на порядок, если построить осветительную систему на основе применения системы переменного увеличения. Получено соотношение, определяющее возможность выбора оптимальной системы параметров объективов микроскопа.
1. ОПИСАНИЕ
ПОЛЕЗНОЙ
МОДЕЛИ К
ПАТЕНТУ
(12)
РЕСПУБЛИКА БЕЛАРУСЬ
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ
СОБСТВЕННОСТИ
(19) BY (11) 7222
(13) U
(46) 2011.04.30
(51) МПК (2009)
G 02B 17/00
G 03B 27/42
(54) ПРОЕКЦИОННАЯ ЭКСПОНИРУЮЩАЯ СИСТЕМА
(21) Номер заявки: u 20100779
(22) 2010.09.13
(71) Заявитель: Научно-производствен-
ное республиканское унитарное
предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
(72) Авторы: Агейченко Александр Степа-
нович; Есьман Василий Михайлович;
Трубчик Иван Трофимович (BY)
(73) Патентообладатель: Научно-производ-
ственное республиканское унитарное
предприятие "КБТЭМ-ОМО" (BY)
(57)
Проекционная экспонирующая система, содержащая осветительную систему, стол ре-
тиклов с ретиклом, проекционный объектив, координатный стол пластин с подложкой,
выполненный с приводами перемещения стола по координатам X, Y и вдоль оптической
оси проекционного объектива, систему фокусировки, состоящую из многоканального дат-
чика фокусировки и устройства обработки сигналов фокусировки, устройство управления
проекционной экспонирующей системой, отличающаяся тем, что многоканальный дат-
чик фокусировки системы фокусировки выполнен с раздельными каналами с возможно-
стью построения изображения маски каждого канала на подложку и, после отражения от
нее на фотоприемник соответствующего канала, причем топология маски каждого канала
выполнена в виде узких щелей, ориентированных вдоль пересечения плоскости резкого
изображения объектива каждого канала датчика фокусировки и поверхности подложки.
(56)
1. Патент США 6163369, МПК G 03B 027/52.
Фиг. 1
BY7222U2011.04.30
2. BY 7222 U 2011.04.30
2
Полезная модель относится к технологическому оборудованию для производства
интегральных схем (IC, Bumping), плоских экранов (LCD, OELPD, PDP), печатных плат
высокой плотности соединений (HDI) и т.п. В частности, полезная модель касается проек-
ционного устройства экспонирования для технологического процесса литографии, в кото-
ром используется оптический перенос рисунка ретикла (фотошаблона или маски) на
фоточувствительную подложку (пластину) через проекционную оптическую систему.
Разрешающая способность проекционных оптических систем прямо пропорциональна
длине волны используемого излучения и обратно пропорциональна числовой апертуре
объектива (NA). Чтобы поднять разрешающую способность, необходимо уменьшать
длину волны источника и увеличивать апертуру. Однако это приводит к уменьшению
глубины резкости оптической системы, так как глубина резкости пропорциональна длине
волны источника излучения и обратно пропорциональна квадрату числовой апертуры NA.
Вследствие этого для поддержания поверхности подложки точно в плоскости лучшего
изображения проекционного объектива к системе автоматической фокусировки экспони-
рующей системы предъявляются повышенные требования.
Современная тенденция развития микроэлектроники такова, что наряду с постоянным
уменьшением размера минимального элемента топологии постоянно растут размеры экс-
понируемого модуля, что значительно повышает требования и к фокусированию, и к вы-
равниванию плоскости подложки. То есть существует необходимость измерения положе-
ния поверхности подложки в пределах площади экспонируемого кадра и управления
наклоном плоскости подложки.
Ближайшим прототипом предлагаемой полезной модели является проекционная экс-
понирующая система, которая содержит стол ретиклов с ретиклом, проекционный объек-
тив, координатный стол пластин с подложкой, который оснащен приводами перемещения
стола по координатам X, Y и вдоль оптической оси проекционного объектива, систему
фокусировки, состоящую из многоканального датчика фокусировки и устройства обра-
ботки сигналов фокусировки, а также устройство управления проекционной экспонирую-
щей системой [1].
У прототипа в многоканальном датчике фокусировки используется одна маска с
пятью отверстиями. Производится измерение положения поверхности экспонируемой
пластины в четырех углах и центре каждого кадра. Первый объектив датчика должен по-
строить изображения каждого из отверстий на поверхность пластины, покрытой фоторе-
зистом. Однако при таком наклонном построении изображения на поверхности пластины
будет резкое изображение отверстий маски, находящихся только на одной линии. Дру-
гими словами, построение резкого изображения участка маски датчика возможно толь-
ко по линии, которая образована пересечением плоскости резкого изображения первого
объектива датчика фокусировки и плоскости поверхности измеряемой пластины. Резкие
изображения других отверстий маски датчика будут находиться либо ниже, либо выше
поверхности измеряемой пластины. Поэтому на поверхности пластины их изображение
будет сильно размытым или его вообще не будет.
Несмотря на это, второй объектив датчика фокусировки построит в плоскость приемни-
ка резкие изображения абсолютно всех отверстий маски датчика. Это произойдет вслед-
ствие сохранения одинакового хода для всех каналов (наклонно падающих и отраженных
от пластины лучей) между двумя объективами каждого канала датчика фокусировки.
Недостатком прототипа является увеличенная погрешность измерения положения и
наклона поверхности пластины по причине невозможности построения на ее поверхности
резких изображений одновременно от всех отверстий маски.
Дополнительные погрешности измерения положения поверхности пластины проис-
ходят по следующей причине. При построении резкого изображения маски датчика на по-
верхности пластины и последующего построения этого изображения в плоскость
приемника, смещение изображения топологии (отверстия) маски в плоскости приемника
3. BY 7222 U 2011.04.30
3
происходит только при смещении пластины вдоль оси проекционного объектива и не
происходит в случае наклона измеряемой пластины. Только при построении резкого изоб-
ражения маски датчика в плоскости пластины в случае наклона пластины уменьшится ко-
личество света, пришедшего в приемник, но положение изображения отверстия маски на
поверхности пластины и соответственно положение изображения отверстия маски в плос-
кости приемника не изменится. То есть только при резком изображении на поверхности
подложки топологии маски датчика фокусировки - датчик будет чувствовать смещение
подложки, но не чувствовать наклон плоскости подложки в точке измерения. Только в
этом случае точное измерение в нескольких точках рабочего поля реального положения
поверхности подложки позволит с большей точностью определять как смещение подлож-
ки вдоль оптической оси проекционного объектива, так и наклон подложки.
Кроме того, у многоканального датчика фокусировки прототипа существует еще один
недостаток. При построении на поверхности пластины изображения малого отверстия
маски датчика существует возможность появления дополнительной погрешности измере-
ния, связанной с неидеальной гладкостью поверхности подложки. В процессе многочис-
ленных технологических обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности
подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых
приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных
технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует
рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,
построенное на такую поверхность, может попасть либо на углубление, либо на выпуклость
рельефа топологии, причем в разных каналах датчика возможны различные варианты, что
и вызовет дополнительную ошибку в определении положения плоскости поверхности
подложки или ее наклона.
Целью полезной модели является повышение качества переноса изображения проек-
ционной экспонирующей системы за счет более точного слежения за плоскостью экспо-
нирования.
Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система со-
держит осветительную систему, стол ретиклов с ретиклом, проекционный объектив, коор-
динатный стол пластин с подложкой, выполненный с приводами перемещения стола по
координатам X, Y и вдоль оптической оси проекционного объектива, систему фокусиров-
ки, состоящую из многоканального датчика фокусировки и устройства обработки сигна-
лов фокусировки, устройство управления проекционной экспонирующей системой, при
этом многоканальный датчик фокусировки выполнен с раздельными каналами с возмож-
ностью построения изображения маски каждого канала на подложку и, после отражения
от нее на фотоприемник соответствующего канала, причем топология маски каждого
канала выполнена в виде узких щелей, ориентированных вдоль пересечения плоскости
резкого изображения объектива каждого канала датчика фокусировки и поверхности под-
ложки.
Суть полезной модели поясняется чертежами, где
на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы;
на фиг. 2 изображена схема одного канала датчика фокусировки;
на фиг. 3 изображена возможная топология маски каждого канала датчика фокусировки.
Проекционная экспонирующая система (фиг. 1) содержит осветительную систему 1,
стол ретиклов 2 с ретиклом 3, проекционный объектив 4, координатный стол пластин 5 с
подложкой 6, оснащенный приводами перемещения стола по координатам X, Y (на фигу-
рах не показаны) и приводами 7 для перемещения стола вдоль оптической оси проекционного
объектива 4, систему фокусировки, состоящую из многоканального датчика фокусировки 8 и
устройства обработки сигналов фокусировки 9, и устройство управления проекционной
экспонирующей системой 10.
4. BY 7222 U 2011.04.30
4
Каждый из каналов 8.1, 8.2, 8.3 многоканального датчика фокусировки содержит: ис-
точник света 11 (фиг. 2), маску 12, объектив 13 для построения изображения 14 маски 12 в
плоскость подложки 6, объектив 13' для перестроения изображения 14 из плоскости под-
ложки в плоскость фотоприемника 15.
Проекционная экспонирующая система работает следующим образом.
Работой всех механизмов, клапанов и датчиков в проекционной экспонирующей си-
стеме управляет устройство управления проекционной экспонирующей системой 10. На
стол ретиклов 2 загружается ретикл 3, на стол пластин 5 загружается подложка 6.
Координатный стол пластин 5 перемещает подложку 6 в точку измерения знаков сов-
мещения. После измерения координат знаков на подложке рассчитываются поправки сов-
мещения для масштаба, разворота и сдвига каждого кадра подложки 6. Система
совмещения на фигурах не показана.
Многоканальным датчиком фокусировки 8 с раздельными каналами 8.1, 8.2, 8.3 изме-
ряется положение поверхности подложки относительно проекционного объектива 4 вдоль
оптической оси. Приводами 7 стол 5 с подложкой 6 перемещается так, чтобы поверхность
подложки 6 находилась точно в плоскости лучшего изображения проекционного объекти-
ва 4. Открывается затвор (на фигурах не показан) в осветительной системе 1, и произво-
дится экспонирование первого кадра. После этого стол пластин 5 перемещает подложку 6
в точку экспонирования следующего кадра, и цикл повторяется. После того как на под-
ложке 6 будут проэкспонированы все кадры, она выгружается и загружается новая.
Рассмотрим более подробно работу многоканального датчика фокусировки 8. Количе-
ство каналов многоканального датчика фокусировки должно быть не менее трех. Каналы
8.1, 8.2, 8.3 многоканального датчика фокусировки, работающие по трем зонам кадра,
обеспечивают непрерывный контроль пространственного положения участка поверхности
подложки 6, находящегося в поле зрения проекционного объектива 4. Каждый из каналов
многоканального датчика фокусировки 8 работает следующим образом: излучатель 11
освещает маску 12, изображение которой объективом 13 строится на подложку 6. Далее
объектив 13′ перестраивает отраженное от подложки 6 изображение 14 маски 12 в плос-
кость фотоприемника 15. Сигналы с каждого канала многоканального датчика фокусиров-
ки 8 обрабатываются устройством обработки сигналов фокусировки 9, которое выделяет
из этих сигналов по одному из известных методов информацию о дефокусировке и накло-
нах поверхности подложки 6 и формирует управляющие сигналы для приводов 7 коорди-
натного стола пластин 5. В режиме слежения за поверхностью подложки 6 приводы 7
перемещают по вертикали и (или) наклоняют координатный стол пластин 5 с подложкой 6
так, чтобы фокусируемый участок подложки 6 оказался в плоскости наилучшего изобра-
жения проекционного объектива 4.
Благодаря тому что топология маски 12 (фиг. 2) каждого канала датчика фокусировки 8
выполнена в виде узких щелей (фиг. 3), ориентированных вдоль пересечения плоскости
резкого изображения объектива 13 (фиг. 2) датчика фокусировки 8 и поверхности под-
ложки 6, на поверхности последней строится изображение не малого отверстия, как у про-
тотипа, а достаточно протяженное по поверхности подложки 6 изображение маски 12. Это
позволяет аппаратно усреднять в результатах измерения каждого из каналов 8.1, 8.2, 8.3
датчика фокусировки 8 существующий рельеф топологии подложки, и тем самым обеспе-
чивать более точную фокусировку и выравнивание подложки при экспонировании каждо-
го кадра.
Длина щелей маски 12 (фиг. 2) ограничена размером рабочего поля объектива 13 дат-
чика фокусировки. Максимальная ширина щелей маски датчика определяется глубиной
резкости объектива 13 датчика фокусировки (фиг. 2) и углом наклона оптической оси дат-
чика к плоскости подложки, то есть условием построения в плоскости подложки 6 резкого
изображения 14 топологии маски 12.
5. BY 7222 U 2011.04.30
5
Предложенное техническое решение позволяет повысить качество переноса изображе-
ния проекционной экспонирующей системы за счет более точного оперативного слежения
за плоскостью резкого изображения проекционного объектива. Предложенное техниче-
ское решение особенно актуально в проекционных экспонирующих системах с увеличен-
ным размером рабочего поля.
Фиг. 2
Фиг. 3
Национальный центр интеллектуальной собственности.
220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.