葉


                              論

                         量
       Experimental Investigation of Piezoelectric Energy
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

                         Harvesting System


                                     羅

                                             年   六
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

     •       論

     •              量

     •              量                量

     •       論          來
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                     論
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

     ‧

     ‧

     ‧

     ‧                                   率

     ‧                               量       量
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

     ‧利            料                     量
                  量

     ‧         料                     料


     ‧                                   料

     ‧         量

     ‧         料                             易
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




              (a)   狀        [PZT]   (b)   狀   +   [PZT+IDE]




    (c)   狀         +         [MFC] (d)    狀   +   [AFC]
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




             量




                                     路
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

     •

     •                量              參數

     •                量

     •           量 來                      量
         參數
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




                    量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                 Z-3                    D3 = d 31T1

                                              F j ωt                   d 31 FL jωt
                                        T=      e             Q = DA =        e
       2
                                             bh                           h
                                  1


                                             dQ d 31 F L ω
                                        I0 =    =
                                             dt      h
                   z-3
                             E3
                                        V0 =
                                                 Q
                                                         =
                                                              d 31 F                 ε Piezo A
                                                                         C Piezo =
                                  x-1          C Piezo       b ε Piezo                    h
                                                                  2
                                               d 31 F 2 C Piezo ω
                                        P=V×I=                 2
                                                   b 2 ε Piezo
                         力Fejwt
(    )
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                 1                      D 3 = d 33 T1

                                               CPiezo w                  d 33 F CPiezo w jωt
                                        A=                    Q = DA =                  e
                                x-3             ε Piezo                     h b ε Piezo
       2

                                               d 33 F C Piezo w
                                        I0 =                    ω
                                                   h bε Piezo
                     z-1

                                               d 33 F w
                                        V0 =              ω
                     E3           x-3          h bε Piezo

                                                   2
                                           d 33 F2C Piezo w 2 ω
                                        P=                     2
                                               h 2 b 2 ε Piezo
                           力F
量                    參數
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

     •                                   量
              流
                      Cpiezo         力           率           不

     •                                               來   ,

         Cpiezo

     •            量            參數 :          力
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




                                         ACX QP10Ni PZT+IDE

                                                 M8528P1 MFC

                                            ACX QP25W PZT
         ACX QP25W PZT


                    A                        B
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                                                                               110 mm
              50.8 mm                                                                      50.8 mm




                                     Aluminum plate




                                                                                                         38.1 mm
                                                                                            PZT+IDE




                                                                     150 mm




                                                                                                                                    150 mm
                           38.1 mm




                                                                                                         45 mm
               PZT                                    PZT                                        MFC               Aluminum plate




                                                                                                         30.2 mm
        Strain gauge                                  Strain gauge
                                                                                             PZT

                                                                                         Strain gauge

                                                                                            52.1 mm
                         300 mm                                                                         300 mm


                                     A                                                                             B
                                                                                PZT       PZT+IDE           MFC
                           (m)                     0.3                         0.0508       0.0521          0.11
                           (m)                    0.15                         0.0381       0.0302         0.045
                           (m)                  0.00005                       0.000508     0.00038         0.0003
                           數 (Pa)               7.00E+10                      6.90E+10     6.90E+10      3.40E+10
                 料      度 (Kg/m3)                 2700                          7000         7000          5500
                                                   0.33                          0.31         0.31          0.33
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




                                                      Piezoelectric element




              Dynamic Signal                    Cantilever plate
                               Input
              Analyzer                 Laser
                                       Sensor


                      Output



                Amplifier                                          Electromagnetic
                                                                       Shaker
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                                                               量

                                                            Model A                           1
             1             5.5 Hz                       Frequency response                                                       Model B
                                                                                                                             Frequency response

                                              21.8 Hz
                                                                    37.6 HZ

            0.1                                                                             0.1
Amplitude




                                                                               Amplitude
       0.01                                                                                0.01




   0.001
                  0   10            20         30             40             50 0.001
                                                                                                  2   12       22       32         42             52
                                    Frequency (Hz)                                                         Frequency (Hz)


                                    A     率                                                                B        率
ANSYS
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




        Model A             PZT      Model B             PZT      PZT+IDE   MFC
                  shell63   solid5             shell63   solid5    solid5   solid5
            數      209       54          數      320       144       166      72
ANSYS
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




    Model A 1st bending mode 5.1Hz   Model B 1st bending mode 5.9Hz




     Model A 1st Twist mode 21.2Hz   Model B 1st Twist mode 24.6Hz
率
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011


   Model A          ANSYS        異    Model B         ANSYS        異
              5.5     5.1    7                  6.9       5.9    14
             21.8    21.2   2.3                 26        24.6   5.3



     •               率                           異來

                                                      異
                                      略
                     更                 了         異
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011




                                                        Piezoelectric element




                                             Cantilever plate
                  Dynamic Signal    Input
                                             Charge
                  Analyzer                  Amplifier


                           Output



                     Amplifier                                    Electromagnetic
                                                                      Shaker
量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011                                          量
               1
                            5.5 Hz


                                                                 37.6 Hz

              0.1
  Amplitude




                                                                                +       Nodal line   +
         0.01                                                                   _                    _

                                           1st twist mode
     0.001
                    2   8    14      20    26      32   38       44        50
                                      Frequency (Hz)


                        A                                    率
量                  參數              量
                    參數               力
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                           量              量



                                          Ip        Rp         Cp   RL




        路                                      Piezoelectric        Load



              料      路                                 量             路
量                                          參數                   量
                          參數                                   力
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                           量                                         量


                                                           Piezoelectric element   AC
                            Sensor            Strain
             Computer
                            Interface         gauge

                                                                                        R


                                        Cantilever plate
                 Dynamic Signal
                 Analyzer




                                                              Electromagnetic
                    Amplifier                                     Shaker
量                  參數                                          量
                     參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                  力
                      量                                            量
                                                  2.2
    率(HZ)             Voltage (V)                 2.0
                                                             PZT
                                                                   5 Hz
            1.0E-05       0.488                   1.8
                                                                   10 Hz

            2.0E-05       0.943                   1.6
   5



                                    Voltage (V)
            3.0E-05       1.38                    1.4

            4.0E-05       1.82                    1.2

            1.0E-05     0.5545                    1.0

            2.0E-05       1.14                    0.8
   10
            3.0E-05        1.7                    0.6

            4.0E-05       2.18                    0.4
                                                        10          15     20       25        30   35   40
                                                                                Strain (µε)
量             參數         量
                   參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                    量




              率(HZ)
                                    (V)       (V)
                      1.0E-05   0.488     0.0213
                      2.0E-05   0.943     0.0412
              5
                      3.0E-05    1.38     0.0597
                      4.0E-05    1.82     0.0791
                      1.0E-05   0.5545    0.0244
                      2.0E-05    1.14     0.0502
             10
                      3.0E-05     1.7     0.0746
                      4.0E-05    2.18     0.0955
量                    參數                 量
                   參數
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                           量

                         率(HZ)
                                 1.0E-05       7.1E-07
                                 2.0E-05       1.4E-06
                         5
                                 3.0E-05       2.2E-06
                                 4.0E-05       2.8E-06
                                 1.0E-05       1.1E-06
                                 2.0E-05       1.8E-06
                       10
                                 3.0E-05       2.8E-06
                                 4.0E-05       3.2E-06

  •                  率                         率(10HZ)
      力              率                量
                                 率                           率
量                        參數                                                量
                             參數
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                                                            量
                                                                            8

                                                                            7       PZT (d31)
           PTZ           PTZ+IDE     MFC                                            PZT+IDE (d33)
                                                                                    MFC (d33)




                                                  Voltage density (V/mm3)
                                                                            6
                   (V)         (V)          (V)
                                                                            5
 5.0E-06   0.485          0.552      1.81
                                                                            4
 1.0E-05   0.968           1.02      3.56
                                                                            3

 1.5E-05   1.44           1.527      5.35                                   2


 2.0E-05   1.89            2.02      7.05                                   1

                                                                            0
                                                                                0          5            10        15   20
                                                                                                    Strain (µε)
量                       參數                                                  量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                                                   量
                                                                            0.01
                                                                                              度
                  PZT      PZT+IDE      MFC                                0.009       PZT (d31)
                                                                                       PZT+IDE (d33)
            3
Volume (mm )     194.28      240.25     714                                0.008




                                                 Voltage density (V/mm )
                                                                                       MFC (d33)




                                                                      3
                                                                           0.007

                                                                           0.006
                 PZT       PZT+IDE      MFC                                0.005
                      度          度          度                              0.004

                (V/ mm3)   (V/ mm3)   (V/ mm3)                             0.003

  5.0E-06        0.0025     0.0023     0.0025                              0.002

                                                                           0.001
  1.0E-05        0.005      0.0042     0.005
                                                                               0
                                                                                   0           5           10        15       20
  1.5E-05        0.0074     0.0064     0.0075
                                                                                                       Strain (µε)
  2.0E-05        0.0097     0.0084     0.0098
                                                                                                                          度
量                參數                     量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100

                                                  流量
                                                            1
                                                           RL
                                         VR       =(                 × IP ) × R L
                                              L
                                                     1      1     1
        Ip         Rp        Cp   RL                    +       +
                                                     RP     1     RL
                                                          jωC P

             Piezoelectric        Load                           R LR P
                                         VR =                                               IP
                                                     ( R P + R L ) + ( ωC P R L R P )
                                                                 2                      2
                                          L




                    量             路
量                參數               量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100




       +q                               +q   +q          +q         +q
                      Electrodes




                                                                         PZT
     V dg              PZT




                      Electrodes
       -q
                                             In te rd ig ita te d
                                               E le c tro d e s



            PZT                          PZT+IDE
量                                           參數                  量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100




           -q         -q              -q                                             ACX QP25W   ACX QP10NI   M8528P1
      +q        +q          +q             +q
                                                                             (mm2)     1529.7      227.36       43
                                                                             (mm)      0.127        1.524       0.5
                                                                               數       1800         1800       不
                                                P ie z o fib e r


                                                                   •   d31             ACX QP25W不
                                                                                     兩 d33
                In terd ig ita te d
                                                                                            兩 d33
                  E le c tro d e s
                                                                                             便

           MFC
量                             參數                                       量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                                                                       量

                 0.6                                                                     4
                                             率                                                                       率
                 0.5                             QP25W                                                                   QP10ni
                                                                                         3
                 0.4




                                                                        Capacitor (nF)
                                                                                         2
Capacitor (uF)




                 0.3

                 0.2
                                                                                         1
                 0.1

                   0                                                                     0

                 -0.1
                                                                                         -1
                 -0.2

                 -0.3                                                                    -2
                        0   10   20     30        40     50   60   70                         0   10     20     30       40       50   60   70
                                      Frequency (K Hz)                                                        Frequency (K Hz)


                             PZT                   量                                                   PZT+IDE                     量
量                               參數                      量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100

                                                                                     量
                  11
                                             率
                  10                             MFC 8528 P1
                                                                                             ACX QP25W ACX QP10NI   M8528P1
                   9
                                                                         Capactitance (nF)      140        1.3          7
 Capacitor (nF)




                   8

                   7

                   6
                                                                          d31                   PZT QP25W
                   5
                                                                                                   兩 d33
                   4
                                                                                                                    行
                   3
                                                                                                                    行
                       0   10    20     30       40
                                      Frequency (K Hz)
                                                          50   60   70
                                                                                                      數      行


                                MFC                    量
量                                參數                                           量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100



                                                                              0.5
                             量                                            0.45
         連     不                  量                                           0.4
                                  聯立 便




                                                         Output Voltage (V)
                                                                          0.35
                             流                                                0.3

                                                                          0.25

                                                                              0.2

                         R LR P                                           0.15
   VR =                                             IP                        0.1
                                                                                                               PZT

             ( R P + R L ) + ( ωC P R L R P )
                         2                      2
     L                                                                                                               Theoretical
                                                                          0.05                                       Measured

                                                                                0
                                                                              0.00E+00     5.00E+05     1.00E+06       1.50E+06    2.00E+06
                                                                                                  Load Resistance (Ohms)


                                                                                         PZT
量                                       參數                                            量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100



              0.6                                                                                2

                                                                                                1.8
              0.5
                                                                                                1.6

                                                                                                1.4
              0.4




                                                                                  Voltage (V)
Voltage (V)




                                                                                                1.2

              0.3                                                                                1

                                                                                                0.8
              0.2
                                              PZT+IDE                                           0.6
                                                  Theoretical                                                                               MFC
                                                  Measured                                      0.4                                               Theoretical
              0.1
                                                                                                                                                  Measured
                                                                                                0.2

               0                                                                                  0
                    0   1E+007   2E+007   3E+007     4E+007     5E+007   6E+007                 0.00E+00 5.00E+06 1.00E+07 1.50E+07 2.00E+07 2.50E+07 3.00E+07 3.50E+07 4.00E+07
                                   Load Resistance (Ohms)                                                                  Load Resistance (Ohms)

                    PZT+IDE                                                                           MFC
量                      參數                                                     量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100

                                  量                                                                 流
                                                                       3E-005
                                                                                      流 度
             PTZ       PTZ+IDE     MFC                                              PZT (d31)
                                                                                    PZT+IDE (d33)
                                                     2.5E-005
               流 (A)       流(A)      流 (A)                                          MFC (d33)




                                             Current density (A/mm )
                                                                  3
                                                                       2E-005
 5.0E-06   6.48E-06    6.25E-07   7.10E-06

 1.0E-05   1.28E-05    1.15E-06   1.40E-05           1.5E-005



 1.5E-05   1.91E-05    1.73E-06   2.10E-05                             1E-005



 2.0E-05   2.50E-05    2.29E-06   2.77E-05                             5E-006


                                                                            0
                                                                                0            5              10         15   20
                                                                                                        Strain ( µε)


                                                                                                                       流
量                           參數                                                     量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                       量                                                    流 度

                                                             1.4E-007
                                                                                              流 度
                                                                                            PZT (d31)
                                                             1.2E-007                       PZT+IDE (d33)
           ACX QP25W     ACX QP10NI     M8528P1                                             MFC (d33)




                                                     Current density (A/mm )
                                                                          3
                                                                               1E-007
           流 度(A/ mm3)   流 度(A/ mm3)   流 度(A/ mm3)
 5.0E-06    3.34E-08       2.60E-09     9.90E-09                               8E-008


 1.0E-05    6.59E-08      4.79E-09      1.96E-08                               6E-008

 1.5E-05    9.80E-08      7.20E-09      2.94E-08                               4E-008

 2.0E-05    1.29E-07      9.50E-09      3.88E-08                               2E-008

                                                                                    0
                                                                                        0            5          10             15       20
                                                                                                            Strain ( µε)

                                                                                                                           流        度
量                                                 參數                         量
                            參數
                            量
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011                                                      率量

                                                                          0.3
                                                                                      率 度
              PZT       PZT+IDE    MFC                                   0.25
                                                                                    PZT (d31)
                                                                                    PZT+IDE (d33)




                                              Power density ( µW/mm 3)
             率 度          率 度      率 度                                              MFC (d33)


           (µW/ mm3)   (µW/ mm3) (µW/ mm3)                                0.2

 5.0E-06    1.63E-02    1.44E-03   1.80E-02                              0.15

 1.0E-05    6.38E-02    4.88E-03   6.98E-02
                                                                          0.1
 1.5E-05    1.42E-01    1.10E-02   1.57E-01
                                                                         0.05
 2.0E-05    2.43E-01    1.93E-02   2.74E-01
                                                                            0
                                                                                0            5          10         15       20
                                                                                                    Strain ( µε)


                                                                                                                   率    度
量                                        參數                                           量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                    量                                    率                                  率量
       1.6E-006                                                                                      9E-008
                                                        PZT        率
       1.4E-006                                               Theoretical                            8E-008
                                                              Measured
       1.2E-006                                                                                      7E-008

                                                                                                     6E-008
            1E-006
Power (w)




                                                                                         Power (w)
                                                                                                     5E-008
            8E-007
                                                                                                     4E-008
            6E-007
                                                                                                     3E-008
            4E-007
                                                                                                     2E-008                                  PZT+IDE         率
            2E-007                                                                                                                               Theoretical
                         80 K Ohms                                                                   1E-008                                      Measured
                                                                                                                    0.73 M Ohms
                0                                                                                        0
                     0          200000     400000       600000         800000   1E+006                        0    500000   1E+006 1.5E+006 2E+006 2.5E+006 3E+006 3.5E+006 4E+006
                                         Load Resistance (Ohms)                                                                    Load Resistance (Ohms)


                               PZT                  率                                                             PZT+IDE                      率

                                                                                   RP
                                                    PR = (                                                             IP )2 × R L
                                                                    (R P + R L ) 2 + (ωC P R L R P ) 2
                                                         L
量                                   參數                   量
                         參數 1011
   0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                       量                                             率量
             4E-006
                                                          MFC        率                               率(W)               率(W)          率
            3.5E-006                                            Theoretical
                                                                Measured
             3E-006
                                                                                        PZT      3.16E-06         1.53E-06     48
            2.5E-006                                                                   PZT+IDE   3.45E-07         8.70E-08     25.3
Power (w)




             2E-006                                                                     MFC      1.29E-05         3.56E-06     27.7
            1.5E-006

             1E-006                                                                                              率 度         率 度
             5E-007
                                                                                                            (µW/ mm3)   ( W/ mm3)
                               0.36 M Ohms                                                   PZT             1.63E-02    7.88E-03
                  0
                       0            500000          1E+006        1.5E+006    2E+006       PZT+IDE           1.44E-03    3.64E-04
                                             Load Resistance (Ohms)                          MFC             1.80E-02    4.99E-03
                               MFC                率

                           •                                          了       流          路           流                  率
                                                                              率        降
量                                      參數                量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                     量

                                        Strain
                                        gauge
                                                 PZT               AC           DC


                                                                            濾
                                                                        流


                           Cantilever plate
          Dynamic Signal
          Analyzer




                                                 Electromagnetic
            Amplifier                                Shaker



           量                                      來
           率(15HZ)                       率(1-100HZ)                量        率
量                        參數                       量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100




                I                                        C      RL
                               Cp




                    Piezoelectric   Rectifier       Capacitor   Load




                           量                    路
量                                   參數                                      量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                                        量            量

        160                                                                                         450
                                                      PZT (ACX QP25W) 量                                                                   ACX QP10NI 量
        140                                                     率 Experiment                        400                                            率 Experiment
                                                                率 Experiment                                                                       率 Experiment
                                                                                                    350
        120
                                                                                                    300
 Voltage (mv)




                                                                                     Voltage (mv)
        100
                                                                                                    250
                80
                                                                                                    200
                60
                                                                                                    150
                40
                                                                                                    100
                20                                                                                   50

                 0                                                                                    0
                     0   2000   4000   6000   8000   10000 12000 14000 16000 18000                        0   5000   10000   15000   20000       25000    30000
                                              Time(sec)                                                                      Time (sec)


                                  PZT         量                                                                 PZT+IDE          量
量                                         參數                     量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                                       量                   量
           1400
                                             MFC voltage measure               •                                      了
                                                        率 Experiment
           1200                                         率 Experiment                                              了
           1000
Voltage (mv)




                                                                                   Vc ( t ) = X T ( t ) + X SS
               800

               600

               400                                                                                           −t

               200
                                                                                   X T ( t ) = (X 0 − τF)e   τ




                                                                                   X SS ( t ) = τF = X ∞
                 0
                     0   5000     10000          15000             20000
                                Time (sec)



                           MFC 量
量                             參數                              量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100
                                         數

                                          160
                            −t                                                          PZT (ACX QP25W) 量

    X out ( t ) = KA in (1 − e )
                            τ             140                                                     率 Experiment
                                                                                                  率 Time constant

                                          120


      ⎛ X (t) ⎞ − t

                                   Voltage (mv)
                                          100

    ln⎜1 − out ⎟ =
      ⎜
      ⎝   KA IN ⎟ τ
                ⎠
                                                  80

                                                  60

                                                  40
    KAin                                          20

                                                   0
    Xout                                               0   2000   4000   6000   8000   10000 12000 14000 16000 18000
                                                                                Time(sec)

                                                                    PZT                       量
量                                       參數                                  量
                      參數 1011
0011 0010 1010 1101 0001 0100


                450
                                                                                             1400
                                                      ACX QP10NI 量                                                                 M8528P1   量
                400                                            率 Experiment                                                                  率 Experiment
                                                               率 Time constant               1200                                            率 Time constant
                350
                                                                                             1000
                300
 Voltage (mv)




                                                                                  Voltage (mv)
                250                                                                              800

                200
                                                                                                 600
                150
                                                                                                 400
                100

                 50                                                                              200

                  0                                                                                0
                      0   5000   10000   15000    20000      25000     30000                           0    5000          10000          15000             20000
                                         Time (sec)                                                                   Time (sec)

                          PZT+IDE                         量                                                MFC                      量

                                                                PZT              PZT+IDE                           MFC
                                                 數τ             3220                  7794                         3495
論
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
                                     來
論
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

      •       量                              量
                     :

          •        論
                                         率

          •
                          更
論
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011
      •         量                                              數
                                      流       率               率
            :                 量
                                                                  不
                                  不


                              度       流   度           度       度
                  PZT                             0       +
                PZT+IDE   -           -           -       -
                  MFC     +           0           +       0




                                                              率
論
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

                               率                       量   率
                     率
                               率                       量   率
               PZT                           MFC

                               量         率    量
                         PZT         +             -

                     PZT+IDE         -
                       MFC           0             +
來
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011


       •            更                量       參數
                     不


       •            立         量          數


       •            立         量                路
0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011

94 Cgh

  • 1.
    論 量 Experimental Investigation of Piezoelectric Energy 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 Harvesting System 羅 年 六
  • 2.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 • 論 • 量 • 量 量 • 論 來
  • 3.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 論
  • 4.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 ‧ ‧ ‧ ‧ 率 ‧ 量 量
  • 5.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 ‧利 料 量 量 ‧ 料 料 ‧ 料 ‧ 量 ‧ 料 易
  • 6.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 (a) 狀 [PZT] (b) 狀 + [PZT+IDE] (c) 狀 + [MFC] (d) 狀 + [AFC]
  • 7.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 量 路
  • 8.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 • • 量 參數 • 量 • 量 來 量 參數
  • 9.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 量
  • 10.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Z-3 D3 = d 31T1 F j ωt d 31 FL jωt T= e Q = DA = e 2 bh h 1 dQ d 31 F L ω I0 = = dt h z-3 E3 V0 = Q = d 31 F ε Piezo A C Piezo = x-1 C Piezo b ε Piezo h 2 d 31 F 2 C Piezo ω P=V×I= 2 b 2 ε Piezo 力Fejwt
  • 11.
    ( ) 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 1 D 3 = d 33 T1 CPiezo w d 33 F CPiezo w jωt A= Q = DA = e x-3 ε Piezo h b ε Piezo 2 d 33 F C Piezo w I0 = ω h bε Piezo z-1 d 33 F w V0 = ω E3 x-3 h bε Piezo 2 d 33 F2C Piezo w 2 ω P= 2 h 2 b 2 ε Piezo 力F
  • 12.
    參數 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 • 量 流 Cpiezo 力 率 不 • 來 , Cpiezo • 量 參數 : 力
  • 13.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 ACX QP10Ni PZT+IDE M8528P1 MFC ACX QP25W PZT ACX QP25W PZT A B
  • 14.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 110 mm 50.8 mm 50.8 mm Aluminum plate 38.1 mm PZT+IDE 150 mm 150 mm 38.1 mm 45 mm PZT PZT MFC Aluminum plate 30.2 mm Strain gauge Strain gauge PZT Strain gauge 52.1 mm 300 mm 300 mm A B PZT PZT+IDE MFC (m) 0.3 0.0508 0.0521 0.11 (m) 0.15 0.0381 0.0302 0.045 (m) 0.00005 0.000508 0.00038 0.0003 數 (Pa) 7.00E+10 6.90E+10 6.90E+10 3.40E+10 料 度 (Kg/m3) 2700 7000 7000 5500 0.33 0.31 0.31 0.33
  • 15.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011
  • 16.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Piezoelectric element Dynamic Signal Cantilever plate Input Analyzer Laser Sensor Output Amplifier Electromagnetic Shaker
  • 17.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 量 Model A 1 1 5.5 Hz Frequency response Model B Frequency response 21.8 Hz 37.6 HZ 0.1 0.1 Amplitude Amplitude 0.01 0.01 0.001 0 10 20 30 40 50 0.001 2 12 22 32 42 52 Frequency (Hz) Frequency (Hz) A 率 B 率
  • 18.
    ANSYS 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Model A PZT Model B PZT PZT+IDE MFC shell63 solid5 shell63 solid5 solid5 solid5 數 209 54 數 320 144 166 72
  • 19.
    ANSYS 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Model A 1st bending mode 5.1Hz Model B 1st bending mode 5.9Hz Model A 1st Twist mode 21.2Hz Model B 1st Twist mode 24.6Hz
  • 20.
    率 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Model A ANSYS 異 Model B ANSYS 異 5.5 5.1 7 6.9 5.9 14 21.8 21.2 2.3 26 24.6 5.3 • 率 異來 異 略 更 了 異
  • 21.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 Piezoelectric element Cantilever plate Dynamic Signal Input Charge Analyzer Amplifier Output Amplifier Electromagnetic Shaker
  • 22.
    量 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 量 1 5.5 Hz 37.6 Hz 0.1 Amplitude + Nodal line + 0.01 _ _ 1st twist mode 0.001 2 8 14 20 26 32 38 44 50 Frequency (Hz) A 率
  • 23.
    參數 量 參數 力 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 量 量 Ip Rp Cp RL 路 Piezoelectric Load 料 路 量 路
  • 24.
    參數 量 參數 力 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 量 量 Piezoelectric element AC Sensor Strain Computer Interface gauge R Cantilever plate Dynamic Signal Analyzer Electromagnetic Amplifier Shaker
  • 25.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 力 量 量 2.2 率(HZ) Voltage (V) 2.0 PZT 5 Hz 1.0E-05 0.488 1.8 10 Hz 2.0E-05 0.943 1.6 5 Voltage (V) 3.0E-05 1.38 1.4 4.0E-05 1.82 1.2 1.0E-05 0.5545 1.0 2.0E-05 1.14 0.8 10 3.0E-05 1.7 0.6 4.0E-05 2.18 0.4 10 15 20 25 30 35 40 Strain (µε)
  • 26.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 率(HZ) (V) (V) 1.0E-05 0.488 0.0213 2.0E-05 0.943 0.0412 5 3.0E-05 1.38 0.0597 4.0E-05 1.82 0.0791 1.0E-05 0.5545 0.0244 2.0E-05 1.14 0.0502 10 3.0E-05 1.7 0.0746 4.0E-05 2.18 0.0955
  • 27.
    參數 量 參數 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 量 率(HZ) 1.0E-05 7.1E-07 2.0E-05 1.4E-06 5 3.0E-05 2.2E-06 4.0E-05 2.8E-06 1.0E-05 1.1E-06 2.0E-05 1.8E-06 10 3.0E-05 2.8E-06 4.0E-05 3.2E-06 • 率 率(10HZ) 力 率 量 率 率
  • 28.
    參數 量 參數 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 量 8 7 PZT (d31) PTZ PTZ+IDE MFC PZT+IDE (d33) MFC (d33) Voltage density (V/mm3) 6 (V) (V) (V) 5 5.0E-06 0.485 0.552 1.81 4 1.0E-05 0.968 1.02 3.56 3 1.5E-05 1.44 1.527 5.35 2 2.0E-05 1.89 2.02 7.05 1 0 0 5 10 15 20 Strain (µε)
  • 29.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 0.01 度 PZT PZT+IDE MFC 0.009 PZT (d31) PZT+IDE (d33) 3 Volume (mm ) 194.28 240.25 714 0.008 Voltage density (V/mm ) MFC (d33) 3 0.007 0.006 PZT PZT+IDE MFC 0.005 度 度 度 0.004 (V/ mm3) (V/ mm3) (V/ mm3) 0.003 5.0E-06 0.0025 0.0023 0.0025 0.002 0.001 1.0E-05 0.005 0.0042 0.005 0 0 5 10 15 20 1.5E-05 0.0074 0.0064 0.0075 Strain (µε) 2.0E-05 0.0097 0.0084 0.0098 度
  • 30.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 流量 1 RL VR =( × IP ) × R L L 1 1 1 Ip Rp Cp RL + + RP 1 RL jωC P Piezoelectric Load R LR P VR = IP ( R P + R L ) + ( ωC P R L R P ) 2 2 L 量 路
  • 31.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 +q +q +q +q +q Electrodes PZT V dg PZT Electrodes -q In te rd ig ita te d E le c tro d e s PZT PZT+IDE
  • 32.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 -q -q -q ACX QP25W ACX QP10NI M8528P1 +q +q +q +q (mm2) 1529.7 227.36 43 (mm) 0.127 1.524 0.5 數 1800 1800 不 P ie z o fib e r • d31 ACX QP25W不 兩 d33 In terd ig ita te d 兩 d33 E le c tro d e s 便 MFC
  • 33.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 0.6 4 率 率 0.5 QP25W QP10ni 3 0.4 Capacitor (nF) 2 Capacitor (uF) 0.3 0.2 1 0.1 0 0 -0.1 -1 -0.2 -0.3 -2 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 Frequency (K Hz) Frequency (K Hz) PZT 量 PZT+IDE 量
  • 34.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 11 率 10 MFC 8528 P1 ACX QP25W ACX QP10NI M8528P1 9 Capactitance (nF) 140 1.3 7 Capacitor (nF) 8 7 6 d31 PZT QP25W 5 兩 d33 4 行 3 行 0 10 20 30 40 Frequency (K Hz) 50 60 70 數 行 MFC 量
  • 35.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 0.5 量 0.45 連 不 量 0.4 聯立 便 Output Voltage (V) 0.35 流 0.3 0.25 0.2 R LR P 0.15 VR = IP 0.1 PZT ( R P + R L ) + ( ωC P R L R P ) 2 2 L Theoretical 0.05 Measured 0 0.00E+00 5.00E+05 1.00E+06 1.50E+06 2.00E+06 Load Resistance (Ohms) PZT
  • 36.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 0.6 2 1.8 0.5 1.6 1.4 0.4 Voltage (V) Voltage (V) 1.2 0.3 1 0.8 0.2 PZT+IDE 0.6 Theoretical MFC Measured 0.4 Theoretical 0.1 Measured 0.2 0 0 0 1E+007 2E+007 3E+007 4E+007 5E+007 6E+007 0.00E+00 5.00E+06 1.00E+07 1.50E+07 2.00E+07 2.50E+07 3.00E+07 3.50E+07 4.00E+07 Load Resistance (Ohms) Load Resistance (Ohms) PZT+IDE MFC
  • 37.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 流 3E-005 流 度 PTZ PTZ+IDE MFC PZT (d31) PZT+IDE (d33) 2.5E-005 流 (A) 流(A) 流 (A) MFC (d33) Current density (A/mm ) 3 2E-005 5.0E-06 6.48E-06 6.25E-07 7.10E-06 1.0E-05 1.28E-05 1.15E-06 1.40E-05 1.5E-005 1.5E-05 1.91E-05 1.73E-06 2.10E-05 1E-005 2.0E-05 2.50E-05 2.29E-06 2.77E-05 5E-006 0 0 5 10 15 20 Strain ( µε) 流
  • 38.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 流 度 1.4E-007 流 度 PZT (d31) 1.2E-007 PZT+IDE (d33) ACX QP25W ACX QP10NI M8528P1 MFC (d33) Current density (A/mm ) 3 1E-007 流 度(A/ mm3) 流 度(A/ mm3) 流 度(A/ mm3) 5.0E-06 3.34E-08 2.60E-09 9.90E-09 8E-008 1.0E-05 6.59E-08 4.79E-09 1.96E-08 6E-008 1.5E-05 9.80E-08 7.20E-09 2.94E-08 4E-008 2.0E-05 1.29E-07 9.50E-09 3.88E-08 2E-008 0 0 5 10 15 20 Strain ( µε) 流 度
  • 39.
    參數 量 參數 量 0011 0010 1010 1101 0001 0100 1011 率量 0.3 率 度 PZT PZT+IDE MFC 0.25 PZT (d31) PZT+IDE (d33) Power density ( µW/mm 3) 率 度 率 度 率 度 MFC (d33) (µW/ mm3) (µW/ mm3) (µW/ mm3) 0.2 5.0E-06 1.63E-02 1.44E-03 1.80E-02 0.15 1.0E-05 6.38E-02 4.88E-03 6.98E-02 0.1 1.5E-05 1.42E-01 1.10E-02 1.57E-01 0.05 2.0E-05 2.43E-01 1.93E-02 2.74E-01 0 0 5 10 15 20 Strain ( µε) 率 度
  • 40.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 率 率量 1.6E-006 9E-008 PZT 率 1.4E-006 Theoretical 8E-008 Measured 1.2E-006 7E-008 6E-008 1E-006 Power (w) Power (w) 5E-008 8E-007 4E-008 6E-007 3E-008 4E-007 2E-008 PZT+IDE 率 2E-007 Theoretical 80 K Ohms 1E-008 Measured 0.73 M Ohms 0 0 0 200000 400000 600000 800000 1E+006 0 500000 1E+006 1.5E+006 2E+006 2.5E+006 3E+006 3.5E+006 4E+006 Load Resistance (Ohms) Load Resistance (Ohms) PZT 率 PZT+IDE 率 RP PR = ( IP )2 × R L (R P + R L ) 2 + (ωC P R L R P ) 2 L
  • 41.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 率量 4E-006 MFC 率 率(W) 率(W) 率 3.5E-006 Theoretical Measured 3E-006 PZT 3.16E-06 1.53E-06 48 2.5E-006 PZT+IDE 3.45E-07 8.70E-08 25.3 Power (w) 2E-006 MFC 1.29E-05 3.56E-06 27.7 1.5E-006 1E-006 率 度 率 度 5E-007 (µW/ mm3) ( W/ mm3) 0.36 M Ohms PZT 1.63E-02 7.88E-03 0 0 500000 1E+006 1.5E+006 2E+006 PZT+IDE 1.44E-03 3.64E-04 Load Resistance (Ohms) MFC 1.80E-02 4.99E-03 MFC 率 • 了 流 路 流 率 率 降
  • 42.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 Strain gauge PZT AC DC 濾 流 Cantilever plate Dynamic Signal Analyzer Electromagnetic Amplifier Shaker 量 來 率(15HZ) 率(1-100HZ) 量 率
  • 43.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 I C RL Cp Piezoelectric Rectifier Capacitor Load 量 路
  • 44.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 量 160 450 PZT (ACX QP25W) 量 ACX QP10NI 量 140 率 Experiment 400 率 Experiment 率 Experiment 率 Experiment 350 120 300 Voltage (mv) Voltage (mv) 100 250 80 200 60 150 40 100 20 50 0 0 0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 0 5000 10000 15000 20000 25000 30000 Time(sec) Time (sec) PZT 量 PZT+IDE 量
  • 45.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 量 量 1400 MFC voltage measure • 了 率 Experiment 1200 率 Experiment 了 1000 Voltage (mv) Vc ( t ) = X T ( t ) + X SS 800 600 400 −t 200 X T ( t ) = (X 0 − τF)e τ X SS ( t ) = τF = X ∞ 0 0 5000 10000 15000 20000 Time (sec) MFC 量
  • 46.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 數 160 −t PZT (ACX QP25W) 量 X out ( t ) = KA in (1 − e ) τ 140 率 Experiment 率 Time constant 120 ⎛ X (t) ⎞ − t Voltage (mv) 100 ln⎜1 − out ⎟ = ⎜ ⎝ KA IN ⎟ τ ⎠ 80 60 40 KAin 20 0 Xout 0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 Time(sec) PZT 量
  • 47.
    參數 量 參數 1011 0011 0010 1010 1101 0001 0100 450 1400 ACX QP10NI 量 M8528P1 量 400 率 Experiment 率 Experiment 率 Time constant 1200 率 Time constant 350 1000 300 Voltage (mv) Voltage (mv) 250 800 200 600 150 400 100 50 200 0 0 0 5000 10000 15000 20000 25000 30000 0 5000 10000 15000 20000 Time (sec) Time (sec) PZT+IDE 量 MFC 量 PZT PZT+IDE MFC 數τ 3220 7794 3495
  • 48.
    論 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 來
  • 49.
    論 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 • 量 量 : • 論 率 • 更
  • 50.
    論 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 • 量 數 流 率 率 : 量 不 不 度 流 度 度 度 PZT 0 + PZT+IDE - - - - MFC + 0 + 0 率
  • 51.
    論 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 率 量 率 率 率 量 率 PZT MFC 量 率 量 PZT + - PZT+IDE - MFC 0 +
  • 52.
    來 0011 0010 10101101 0001 0100 1011 • 更 量 參數 不 • 立 量 數 • 立 量 路
  • 53.
    0011 0010 10101101 0001 0100 1011