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데이터 불균형 문제가 존재
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차원이 적은 데이터가 있어도 다시 복원할 수
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미지를 만들어냄.
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<원본 결함 웨이퍼 데이터> <신규노이즈 웨이퍼 데이터> <재구성된 웨이퍼 데이터>
불량 타입별로 2000개 증가
모델 생성함수 정의 K Fold Cross Validation Method
K-Fold ACC = 97%
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< Random Forest>
데이터를 복원 추출을 통해 랜덤하게 뽑고 그 데이터로 Decision Tree를 만든 뒤 트리를 섞어서 사용하는
것을 Random Forest라고 한다.
< train_test_split 모듈을 사용해 학습과 테스트 셋 분리>
< accuracy_score 모듈을 사용해 정확도 예측>
< 제대로 된 모델인지 확인하기 위해 confusion matrix로 성능 확인>
<confusion matrix, Nomalized confusion matrix >
SVM CNN Random Forest
모델 SVM CNN Random Forest
예측정확도 약 82% 약 99% 약 89%
불량 유형 파악을 통한 수율 증가 도모 기존 불량품 분류 방식의
개선
웨이퍼맵의 불량의 원인이 되는
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다양한 분야 적용을 통한
실용성 확보
연구결과에 대한 신한정밀공업(주)의 입장
신한정밀공업(주)는 현대모비스에 자동차부품을 공급하는 업체로서,
내연기관에서 전기차생산으로 바뀌는 자동차업계의 흐름에 올라타, 전기차시장에서 선두주자가 되고자한다.
이번 연구성과는, 자동차 반도체를 공급할 때, 관련 업계에 매우 유용한 서비스로 간주 됨에 따라,
반도체업계에서 반도체 수율을 높이는 새로운 Innovative algorithms 으로써 고려할 수 있음
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