1. Полупроводниковые сенсоры и сенсорный газоанализатор для измерения газовых примесей

2. Современные средства газового контроля Экологический мониторинг Пожарная и взрывобезопасность АЭС Пожарная сигнализация Учёт теплотворной способности газообразного топлива Обнаружение взрывчатых и отравляющих веществ

3. Конструкция предлагаемого сенсора Конструкция сенсора а) б) в) а) Общий вид сенсора. б) Нагреватель (платина). в) Измерительные контакты (платина). Размер подложки – 1.5 x 1.5 мм 2 . Материал подложки – Al 2 O 3 . Чувствительный слой – In 2 O 3 , ZnO и др.

4. Чувствительный элемент Схематическое изображение малогабаритного чувствительного элемента со стороны п/п слоя SnO2 (а) и нагревателя (б) 1 – диэлектрическая подложка 2 – платиновый нагреватель 3 – чувствительный слой SnO2 4 – терморезистор 5 – платиновые электроды

5. Применение сенсоров

6. Описание химического процесса хемосорбированный кислород О - О 2 - О - + + + + + + + + + + + Сопротивление между зёрнами ( R 1 ) R 2 R 1 >> R 2 +RH ( газ-восстановитель) Изменение сопротивления чувствительного элемента в присутствии газов. Взаимодействие газов с хемосорбированным кислородом на поверхности материала. О 2- О - О 2 - О - О - О 2- + + + + + + + + + + + + + + + + + +

7. Приборы для газового анализа * - многоканальные газоанализаторы Массовый рынок!! Параметр Газоанализаторы Газовые хроматографы Масс-спектрометры Спектрометры ионного дрейфа Предел обнаружения, об. % 10 -2 ÷ 10 -4 10 -4 ÷ 10 -7 10 -4 ÷ 10 -10 10 -5 ÷ 10 -7 Быстродействие, с 3 ÷ 30 10 ÷ 300 1 ÷ 10 2 ÷ 30 Максимальное количество определяемых компонентов 3 ÷ 5* 10 ÷ 50 10 ÷ 50 7 ÷ 20 Селективность низкая-средняя высокая высокая средняя-высокая Масса, кг 0,2 ÷ 20 8 ÷ 50 25 ÷ 500 3 ÷ 40 Стоимость, тыс. руб. 3 ÷ 100 200 ÷ 3000 500 ÷ 30000 150 ÷ 800

8. Тонкоплёночные металлооксидные сенсоры газов Высокое быстродействие: < 3 сек Высокая чувствительность (от 0,1-10 ppb ) Невысокое энергопотребление (50-250 мВт) Продолжительный срок службы (до 10 лет) Возможность многокомпонентного анализа Технологичное производство Возможность интегрирования в микроэлектронику Нечувствительность к температуре

10. Преимущества комбинированного пожарного извещателя с газовым каналом Комбинированный пожарный извещатель Пожар с открытым пламенем (без выделения газообразных продуктов неполного окисления: СО, Н 2 , С х Н у ) Очаг возгорания с выделением газообразных продуктов неполного окисления: СО, Н 2 , С х Н у Регистрация увеличения концентрации СО, Н 2 , С х Н у Регистрация повышения температуры Высокая надёжность регистрации различных очагов возгорания Раннее обнаружение возникновения пожара Нечувствительность к пыли и световым бликам Возможность применения в качестве газосигнализатора (метан, угарный газ) Возможность регулировки порогов срабатывания