Work Flow of an Inspection Procedure

        P o w e r-u p                                                                                                                F in e p o s it io n
       e q u ip m e n t                                                                                                        e le c tr o n ic g a g e to o l
                                                                                                                                  t o z e r o a m p lif ie r

                                                                                                                                    ( X - d ir e c t io n )


 S e t u p w a v e p la t e
                                           1
      o n p la t f o r m .
                                                                                                                                    0 'e d o n 4 µ m                     N o
                                                                                                                                                                                               R e d u c e ra n g e o f
                                                                                                                                         ra n g e ?                                                  a m p lif ie r

  S e t u p a lig n m e n t
  to o l n e x t to w a v e
            p la t e                                                                                                                         Yes


                                                        W A R N IN G !                                                                                                                                        W A R N IN G !
                                                     D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E                                                                                                                  D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E
                                                 P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S .                                                                                                         P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S .


     M e a s . h e ig h t
         edge 1
                                                                                                 F in d u p p e r b e v e l                                      F in d lo w e r b e v e l
                                                                                                        ru n -o u t                                                     ru n -o u t

                                                                                                   ( + Z - d ir e c t io n )                                       ( - Z - d ir e c t io n )
     M e a s . h e ig h t
         edge 2




       W a v e p la t e
                                    N o   A d ju s t M ic r o m e t e r
          le v e l?                                                                                                            T O T A L R U N -O U T



              Yes



                                                                                                                                   2 n d e d g e s u rf.                 N o               1
                                                                                                                                      c o m p le t e ?
   A ccess M anual
 C o n tro l S c re e n o n
   D P S C o n t r o lle r .
                                                                                                                                             Yes



                                                                                                                                          EN D
   C o a r s e p o s it io n
e le c t r o n ic g a g e t o o l



                                                      R E Q U IR E D :

                                                      T h e e d g e ru n -o u t m u st b e
                                                      e v a lu a te d fo r a t le a st 2
                                                      e d g e su r fa c e s in a n y w a v e
                                                      p la te .




                    Prepared by: Paul F. Geer
                    Date: 9/18/01

Flowchart1

  • 1.
    Work Flow ofan Inspection Procedure P o w e r-u p F in e p o s it io n e q u ip m e n t e le c tr o n ic g a g e to o l t o z e r o a m p lif ie r ( X - d ir e c t io n ) S e t u p w a v e p la t e 1 o n p la t f o r m . 0 'e d o n 4 µ m N o R e d u c e ra n g e o f ra n g e ? a m p lif ie r S e t u p a lig n m e n t to o l n e x t to w a v e p la t e Yes W A R N IN G ! W A R N IN G ! D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E D O N O T A P P L Y E X C E S S IV E P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S . P R E S S U R E O N C a F2 M A T E R IA L S . M e a s . h e ig h t edge 1 F in d u p p e r b e v e l F in d lo w e r b e v e l ru n -o u t ru n -o u t ( + Z - d ir e c t io n ) ( - Z - d ir e c t io n ) M e a s . h e ig h t edge 2 W a v e p la t e N o A d ju s t M ic r o m e t e r le v e l? T O T A L R U N -O U T Yes 2 n d e d g e s u rf. N o 1 c o m p le t e ? A ccess M anual C o n tro l S c re e n o n D P S C o n t r o lle r . Yes EN D C o a r s e p o s it io n e le c t r o n ic g a g e t o o l R E Q U IR E D : T h e e d g e ru n -o u t m u st b e e v a lu a te d fo r a t le a st 2 e d g e su r fa c e s in a n y w a v e p la te . Prepared by: Paul F. Geer Date: 9/18/01