1. EUV LABS:
Создание источников
экстремального ультрафиолетового
излучения (13,5 нм) для
нанолитографии
Presentation for Grant Committee
Встреча участников Кластера ЯТ Фонда «Сколково», 29 Мая 2012
Город, Июнь 4, 2012

2. Описание проекта и текущей стадии его реализации
! Цель проекта:
Проект направлен на решение основных проблем препятствующих организации
коммерчески выгодного производства (HVM) на основе технологии EUV литографии. В
ходе реализации проекта будут проведены исследования и показана возможность
технической реализации новых решений для HVM-литографии, разрабатываемых
проектной командой по тематикам связанным с переходом к разрешениям 22 и менее
нанометров, с оптической нанодиагностикой, инспекцией, очисткой и защитой
многослойной EUV-оптики в нанолитографических машинах.
! Рынок:
EUV – является передовой технологией, расцвет которой предполагается в 2015-2020 гг.
(использование диапазона 11-22 нм), при этом уже к 2016 году доля этой технологии на
рынке составит более 65%. Следующим шагом после освоения технологии EUV
является переход к новому поколению источников – BEUV. Запуск производства машин с
BEUV источниками ожидается через 10 лет.
! Стадия проекта: Посевная (Этап 1)
! Потребность в инвестициях:
Инвестиции соинвестора – 9,8 млн. руб.
Финансирование Фондом – 39,1 млн. руб.
1-ый этап: январь – июнь.2012 / 2-ой этап: июль – декабрь.2012
04.06.12 2

3. Задачи проекта на период гранта
НА
ВХОДЕ:
Результат
через
1
год:
Технология: Технология:
! Продемонстрированы принципы ! Изготовлена и протестирована
будущего источника установка Jet-Demo на 32КВт
! Продемонстрирована возможность ! Проведены полные испытания
создания систем перекачки жидкого установки Jet-Demo, измерены
металла характеристики разрушающего
! Смоделирован рабочий источник с корпускулярного излучения
мощностью до 8 КВт ! Подготовлено ТЗ для апгрейда до 64КВт
Бизнес: Бизнес:
Финансирование заказчиком => ! Наработано и зарегистрировано
! IP-Sharing собственное IP по ключевым темам
! Отсутствие фокуса разработок ! Усилия и ресурсы сфокусированы на
! Образ: ключевое физ.лицо + ключевых разработках
лаборатория в учреждении РАН ! Образ: компания с понятным вектором
! Непостоянство заказов => развития, обеспеченная необходимыми
компетенциями и ресурсами
разрозненная команда
! Смотивированная и локализованная
команда
04.06.12 3

4. Взаимодействие с Фондом «Сколково»:
оценка положительных и отрицательных сторон
! Заявка на Статус участника (04/2011): процедура понятна, анкеты корректно
сформулированы, взаимодействие максимально упрощено и автоматизировано
! Заявка на грант (12/2011):
! + Четкое согласование с кластером in/out проекта, бизнес-модели
! + Инвест-меморандум: полезный документ, корректно структурирован
! - Смета: требования по детализации и подтверждению несколько избыточны
! - Требования по подготовке английской версии – сильно усложняют и затягивают
! - Вопросы и комментарии экспертизы вполне вероятны в последний момент
! Требования к льготам, услугам и сервисам, предоставляемым Центром "Сколково" своим
участникам:
! - Не работают льготы и нет логистики, работает только таможенное сопровождение
! - Не хватает упрощённого режима для экспортных процедур (вывоз опытных
образцов затягивает и удорожает, как разработку так и взаимодействие с заказчиком)
! + Узкоспециализированные семинары (например по лицензированию ИС от KPMG)
! + Более общее обучение/коучинг/стажировки
! ? Кадровый центр (head-hunting’вая служба/кадровый резерв)
! Вопросы коммерциализации разработки:
! Потенциальные покупатели: программы стимулирования спроса?
! Инжиниринг производства инновационного продукта: недостаток инфраструктуры,
04.06.12 компетенций 4