1. 曝光機操作手冊

2. 一、開機
1.1 UV燈源
曝光機與UV燈源為不同的
電源供應，故開啟UV燈源
須在機台下方將電源開關
另行開啟(如下圖五)。開
啟電源後暖機約30秒後，
按下START鈕點燈(按下
後放開)，UV燈隨即亮
起。

3. 1.2機台操作確認
1、打開機台總電源，確
認真空(-22～-25inHG)、
空氣壓力(5kgf/cm2)、
是否達到操作標準。
2、確認影像系統正常，
螢幕與UV燈為開啟狀態。
3、確認氣缸位置正常。
※（電源供應器開機後必
須確認風扇是否有正常運
轉，如無正常運轉，請立
即關閉電源。）

4. 二、製程操作
2.1取放光罩（Mask
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5. 將光罩放置於光罩座上,
對準光罩定位Pin緊密接觸
後，開啟光罩真空，確認
光罩是否被真空吸附住，
有無漏真空。