製造現場における静電気トラブルと解析、対策15. 2章:帯電防止対策の基本
1. 帯電防止とは?
2. 接地
・・・・2.1 アース線
・・・・2.2 リスト&フットストラップ
・・・・2.3 静電靴、導電靴
3.導電化
・・・・3.1 導電性床&導電性シート
・・・・3.2 導電性素材
・・・・3.3 帯電防止スプレー
4.加湿と静電気
・・・・4.1 相対湿度と静電気帯電量
・・・・4.2 加湿の利点、欠点
・・・・4.3 加湿の問題点
・・・・4.4 加湿の改善
5.シールド
6.除電器
・・・・6.1 電圧印加式除電器の原理
・・・・6.2 電圧印加式除電器の種類
・・・・6.3 除電器のメンテナンス
・・・・6.4 自己放電式除電器
18. 図11
接地効果大 接地効果中 接地効果 小
・10
12
Ω・m 以上は接地の効果はほとんど期待できない。
・1010
~1012
Ω・mでは、静電気の発生が小さければ接地の効果はある。
・1010
Ω・m 以下では、接地の効果は大きい。
30. リストストラップ&静電靴点検の標準化
日期 担当 承认
测定目的∶为测定静电套和静电鞋子的电阻 ①
②
③
1.电源打开 1.电源打开
1.電源を入れる 1.電源を入れる
2.将静电套的鳄鱼夹夹在WRIST触片上 2.被测人员站在平台上
2.リストバンドのワニ口をWRISTCORD穴に挿入する 2.被測定者が台に乗る
3.转换开关打到静电套 3.转换开关打到静电鞋子
3.SWをWRIST CORDにする 3.SWをFOOTPLATE側にする
4.手按不锈刚圆片 4.手按不锈刚圆片
4.ステンレスの丸いボタンを指で押す 4.ステンレスの丸いボタンを指で押す
5.可测出静电套电阻值 5.可测出静电鞋子电阻值
5.リストバンドの抵抗値が測定される 5.静電靴の抵抗値が測定される
6.测试OK时发光绿色灯亮二极管并伴有语音(OK) 6.测试OK时发光绿色灯亮二极管并伴有语音(OK)
6.良い時はLEDランプが緑に点灯しOKと声がする 6.良い時はLEDランプが緑に点灯しOKと声がする
7.将测定结果要填写在静电记录表上 7.将测定结果要填写在静电记录表上
7.測定結果は静電気記録表に記録する 7.測定結果は静電気記録表に記録する
8.测试NG的时红色二极管灯亮并伴有蜂鸣 8.测试NG的时红色二极管灯亮并伴有蜂鸣
8.NGの時はLEDランプが赤に点灯しブザー音が鳴る 8.NGの時はLEDランプが赤に点灯しブザー音が鳴る
NG的原因大概是静电套线的断线和接触不良修理或是换新的以后再测试 NG的原因大概是静电鞋子的污垢,因此用抹布擦干净后再测量试
NGの原因はリストバンドコードの断線、接触不良と考えられるので NGの原因は静電靴の汚れ等と考えられるので雑巾等で
アースバンド修理、交換後再度、測定を行うこと。 静電靴の汚れを除去後再度、測定を行うこと。
测试OK的时绿色二极管灯亮
测试OK的时绿色二极管灯亮 測定がOKの時は半導体領域のLEDが緑色に点灯
測定がOKの時は半導体領域のLEDが緑色に点灯 测试NG的时红色二极管灯亮 电源开关
测试NG的时红色二极管灯亮 电源开关 測定がNGの時は絶縁体領域のLEDが赤色に点灯 POWER SW
測定がNGの時は絶縁体領域のLEDが赤色に点灯 POWER SW
图示
东关东英电子工业有限公司 中国工厂 承认 制作 品质保证 技术设计 生产技术 作成
PE - - - - 作成日 2004年2月20日管理号码
測
定
器
○作业指导书(A)·检查指导书(A) ☆每天作业以前一定要确认作业指导书!如果不明白请问生产技术部
变 更 履 历
静电用电阻测定器
静电套测试时 静电鞋子测试时 机型:SLD-697A机型:SLD-697A
測
定
器
NG
OK
判定
測定
填写静电记录表
INSULATIVE
WRIST CORD
FOOTPLATE
WRIST CORD
CONDUCTIVE STATIC DISSIPATIVE
绝缘体
静电套
静电套
静电鞋子
传导体
半导体
排除原因
NG
OK
判定
測定
填写静电记录表
INSULATIVE
WRIST CORD
FOOTPLATE
WRIST CORD
CONDUCTIVE STATIC DISSIPATIVE
绝缘体
静电套
静电套
静电鞋子
传导体
半导体
排除原因
33. 静電気防止床材料と構造的な特徴
製品名 利点 問題点 電気特性
カーペット 見栄え・快適さ
電子産業工場用途では使
用しない。
通常は約1010Ω
フロアマット
①導電型
②静電気防止型
設置容易
最適な静電気防止特性
既存の床に使用可能
局所的保護
カールしやすい
温度依存性あり
コンタミの発生あり
107Ω以下
109~1012Ω
静電気防止塗布床
①導電型
②塗布床型静電気防止
剤
③床用静電気防止剤
普通の床に使用可能
良好な静電気防止特性
処理が簡単・コスト安
処理が簡単・コスト安
コンタミ耐久性
ライフ、特性
バラツキ、温度依存、
保守/再処理
107以下
109~1012Ω
109~1012Ω
静電気防止張床
静電気防止特性が良い
耐久性・永続性が良い
一部クリーンルームに使
用できるものがある
コスト
既存設備への取付
105Ω程度
35. 3.2 導電性材料
ESD (静電気放電) 対策の為に 床、作業デスク、包装材、ツールなどに静電気対策用に導電性材料
が用いられることがある。導電性材料として色々あるがその導電性 (抵抗率) によって 大きくいく
つかに分類することができる。表面抵抗率による分類の1つは、次のようなものである。
この分類では抵抗率の幅が非常に大きい (同じ分類の中で 100,000倍もの差がある) こともあり、
一概には言えないものの
導電性 ―― 帯電した物体が接触した場合に激しい ESD を起こす可能性があるほど 高い導電性
(低い抵抗) を持つもの
静電気拡散性 ―― 帯電した物体が接触した場合に激しい ESD を起こすことなく、 かつその帯電
を比較的すみやかに消散させられる程度の導電性を持つものの、 静電場を遮蔽できるほどの導電
性は持たないもの
帯電防止 (静電気防止) ―― それ自身の帯電をある程度防止できる程度の導電性は持つものの、
帯電した物体の静電気をすみやかに消散させられるほどの導電性はないもの
分類 表面抵抗率の範囲(単位:Ω/sq)
導電性 ~105 Ω/sq
静電気拡散性 105~109 Ω/sq.
帯電防止 109~1014 Ω/sq.
103. 2018年8月10 日
ク コンサルティングクレイン テクノ コンサルティング
Crane techno Consulting.
https://crane-techno.com/
関連サイト:静電気除去.com
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