1. Vi h th ng
GV: Nguy n Hoàng Nam
(chương trình K sư CLC – Khóa 51)
20/10/2010 1

2. Vi h th ng
Chương 3. Các vi h th ng c th
1. Vi h th ng bi n ñ i năng lư ng
2. Vi h th ng truy n tin
3. Camera & máy nh s
4. Vi c m bi n
5. C m bi n y sinh – Biosensor
6. B ch p hành vi cơ
7. Vi h th ng kh l p – PSoC
Vi h th ng 2 Nguy n Hoàng Nam

3. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
DMD còn g i là Digital Light Processing
(DLP) phát tri n b i Texas Instruments. DMD
là 1 con chip g m 800.000 t i 1 tri u gương
trên nó.
Vi h th ng 3 Nguy n Hoàng Nam

4. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
M i gương n m
trên m t giá ñ và
các ñi n c c.
Vi h th ng 4 Nguy n Hoàng Nam

5. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
Các ñi n c c làm nhi m
v ñi u khi n góc quay
c a gương ±12° và
kho ng 5000 l n/s.
Khi ON, nó t o 1 pixel
sáng gray. Ngư c l i,
khi OFF, nó t a 1 pixel
t i gray.
Vi h th ng 5 Nguy n Hoàng Nam

6. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
Bên c nh gương, DMD g m:
+ 1 chip CMOS DDR SRAM làm
b nh lưu giá tr logic (0 ho c 1)
cho ñi u khi n gương theo l c
tĩnh ñi n .
+ 1 b t o nhi t
+ 1 c a s quang cho ánh sáng
qua
Vi h th ng 6 Nguy n Hoàng Nam

7. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
ð thêm màu, ánh sáng
tr ng qua 1 “th u kính bánh
xe màu quay” trên chip DLP.
Th u kính này ñư c chip
ñi u khi n và t o màu xanh
l c, ñ , xanh lam.
1 chip DLP ñơn có th t o
16.7 tri u màu.
Vi h th ng 7 Nguy n Hoàng Nam

8. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
Vi h th ng 8 Nguy n Hoàng Nam

9. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
Vi h th ng 9 Nguy n Hoàng Nam

10. Vi h th ng
3.3 Camera và máy nh s
Hitachi s d ng h
th ng Digital Micro
Shutter (DMS) c a
Pixtronix v i công ngh
transitor t m thin-film
m ng và MEMS c a s p
nh m gi m tiêu hao ñi n
năng và t o màu t t hơn
(c n có ánh sáng n n).
Vi h th ng 10 Nguy n Hoàng Nam

11. Vi h th ng
3.4 Vi c m bi n
Các c m bi n MEMS thông d ng:
+ C m bi n áp su t: ki u áp ñi n tr và ñi n
dung.
+ C m bi n quán tính: c m bi n gia t c áp ñi n
tr và ñi n dung, c m bi n v n t c góc (angular
rate/ gyroscope sensors).
Vi h th ng 11 Nguy n Hoàng Nam

12. Vi h th ng
C m bi n áp ñi n tr
Khác bi t áp ñi n tr bán d n và kim lo i:
+ Áp ñi n tr kim lo i do bi n d ng hình h c còn v i
bán d n là do bi n ñ i v ñi n tr su t.
+ Áp ñi n tr kim lo i có tính ñ ng hư ng, v i bán d n
có tính d hư ng.
+ Áp ñi n tr (h s ño - K gauge)
+ Si-líc ñóng vai trò v a là v t li u cơ h c v a là v t
li u nh y cơ h c. Các c m bi n áp su t áp ñi n tr si-líc
dùng ñi n tr tích h p (công ngh vi ñi n t ) cùng c u
trúc cơ (màng nh y cơ t o ra b ng k thu t ăn mòn ư t).
Vi h th ng 12 Nguy n Hoàng Nam

13. Vi h th ng
C m bi n áp ñi n tr
Vi h th ng 13 Nguy n Hoàng Nam

14. Vi h th ng
C m bi n áp ñi n tr
Cơ ch ho t ñ ng
Áp su t tác d ng ñ ng ñ u lên toàn b b m t màng ⇒
màng b u n cong ⇒ phân b ng su t ⇒ bi n ñ i ñi n
tr ⇒ chênh l ch th l i ra.
Sơ ñ nguyên lý ho t ñ ng
Vi h th ng 14 Nguy n Hoàng Nam

15. Vi h th ng
C m bi n ñi n dung
Vi h th ng 15 Nguy n Hoàng Nam

16. Vi h th ng
C m bi n quán tính áp ñi n tr
Vi h th ng 16 Nguy n Hoàng Nam

17. Vi h th ng
C m bi n quán tính áp ñi n tr
Vi h th ng 17 Nguy n Hoàng Nam

18. Vi h th ng
C m bi n quán tính ñi n dung
Vi h th ng 18 Nguy n Hoàng Nam

19. Vi h th ng
C m bi n quán tính ñi n dung
Vi h th ng 19 Nguy n Hoàng Nam

20. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 20 Nguy n Hoàng Nam

21. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 21 Nguy n Hoàng Nam

22. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 22 Nguy n Hoàng Nam

23. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 23 Nguy n Hoàng Nam

24. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 24 Nguy n Hoàng Nam

25. Vi h th ng
C m bi n v n t c góc tĩnh ñi n
Vi h th ng 25 Nguy n Hoàng Nam