智能視覺辨識系統在半導體設備的新運用

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智能視覺辨識系統
在半導體設備的新運用
承湘科技
謝家雄
2015/10/20

2. 目的
•從半導體設備服務廠商的角度，在大數據與工業4.0的發
展中觀察，發現並分享這市場新商機。
•今天最重要的是我們已有市場需求，卻無最佳解決方案。
邀請各位一起建立完整的供應鏈。
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承湘科技簡介
提供科技產業，光學量測與問題解決的服務公司。
客戶集中於台、日、中、星、馬，過去專精於設備服務
 Particle surfscan
 Film thickness metrology
 Profiler and stress metrology
現在開始增加
 智能視覺辨識系統

4. Particle Surfscan
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• 提供二手設備買賣及維修服務。
• 利用晶圓Surfscan監控環境或製程，
潔淨或汙染狀況。
• 設備維護保養之後，腔體的潔淨度
前後值的變化比較。

5. 5資料來源 : 承湘科技 & Korea Mirero

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Film thickness metrology
此新設備提供客戶製程之光阻厚度、蝕
刻後厚度、拋光、研磨後膜厚量測。

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Profiler
提供客戶製程中，待測物表面形貌、輪
廓、應力形變、翹曲變化之量測。

8. 智能視覺辨識系統
最初的需求
• 客戶生產之晶圓受到不明機構狀況之影響，良率降低。
• 客戶期待利用影像監控方式，找出癥結點。
衍生的需求
• 大部分客戶懷疑機器手臂使用中或保養過後，總是無法確認其運作品
質，尤其手臂移動過程的震動或位移偏差，沒有明確數據顯示其品質
是否過關。
• 我們提供智能視覺辨識系統，擷取機器手臂運動影像軌跡，將其數據
化後，分析其機構的品質現況，或者找出其異常點。
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承湘科技–smart machine system， case 1
•Wafer movement position identify
system
• Use for all equipment and all
wafer transfer module.
• Use CMOS CCD to record the
wafer movement trajectory.
• Use artificial intelligence to identify
the robot or mechanical system
malfunction.
資料來源 : 承湘科技

10. 10
-2
0
2
振幅位移mm
承湘科技–smart machine system，case 2
資料來源 : 承湘科技

11. 其他需求案例
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12. 軟硬體系統整合
•承湘科技藉由過去半導體光學量測設備服務的經驗優勢，
將視覺影像處理與設備故障診斷的智能系統整合，提供科
技產業發展智慧工廠的資料蒐集服務。
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蒐集設備
元件生產
運作訊號
故障診斷
軟體
預防保養
增加產能
提高價值

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14. 14資料來源 : 研華科技

15. 15資料來源 : 研華科技

16. 16資料來源 : 研華科技

17. 17資料來源 : 承湘科技 & 華聯生技

18. 總結
•承湘科技提供適合的Smart vision system將監測結果數
據化、平面化，讓客戶利用數據資料找出生產設備運作異
常點，事先提出改善措施，提高生產效能。
•因為是客製化產品服務，需要多樣性光學系統、視覺辨識
、軟體、自動控制與機構設計等支援，必須尋找夥伴來建
立完整供應鏈。
•此概念及商業服務剛萌芽起步，故邀請業界先知給予建議
指導。
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19. 謝謝聆聽
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