本研究探讨半导体12英寸晶圆厂的装机工程管理，通过标准化hookup管理方法提升项目的效率与效益。研究涵盖项目管理的关键成功因素，旨在将隐性知识转化为显性知识以帮助后续人员学习。最终建立了一套标准化的装机工程项目管理流程，以支持未来的装机项目。

1. 半導體製程設備裝機工程管理之研究 — 以 t 公司 12 吋晶圓廠為例 指導教授 : 張守進 教授 研究生 : 吳家榮

2. 第一章 緒論 第二章 文獻探討 第三章 裝機工程專案管理流程 第四章 案例分析 第五章 結論與建議 論文架構

3. 研究背景與動機 半導體製程在進入奈米 (90nm) 世代後， 12 吋廠已取代 8 吋廠成為生產主流。 台灣目前進入量產階段的 12 吋廠已高達 10 座，密度堪稱全球第一；到了 2009 年，全台灣將擁有 18 座 12 吋晶圓廠，密度保持全球之最。也更加確立了台灣在全球 12 吋晶圓廠的產能龍頭地位。 ( 財經眺望台 ) 平均 1 座 12 吋晶圓廠投資額約新台幣 1000 億元，其中製造設備佔 9 成。 生產設備如何在安全的環境下，以高品質快速進入量產，藉以降低設備折舊成本，是 12 吋晶圓廠最重要的課題之一。 裝機工程 (Hookup) 是提供廠務設施至機台端的最後管路連接的建設，對廠務而言扮演著臨門一腳的關鍵角色。 研究生曾擔任 12 吋設備工程師及 Hookup 工程師，其公司對於 Hookup 的要求除了滿足設備工程師的需求之外，亦致力於裝機工程管理之標準化，以利於各廠之間及未來新廠有一可遵循的標準做法。

4. 研究目的 建立一套 Hookup 管理標準做法，並驗證此 Hookup 管理方式之效益以尋求標準做法之最佳化。 Hookup 組織多為專案型組織，任務結束之後人員容易被調派至其他單位，因此經驗知識累積不易，期望藉由此一研究將 Hookup 之隱性知識整理成顯性知識，讓後進人員可以更容易學得 Hookup 的精髓。

5. 研究範圍 針對專案管理的關鍵成功因素 ( 品質、範疇、進度、成本 ) 做深入探討，其他輔助之專案管理領域略有提及但不多做研究。 專案管理領域的論文在土木及建廠工程方面已有多人做過許多研究，但對於半導體廠 Hookup 工程則鮮少有這方面的研究。故本論文會以半導體 12 吋廠 Hookup 工程為背景，研究工程開始至結束所應有的管理活動內容。 Quality S (scope) $ (cost) S (schedule)

6. 研究方法 參照專案管理之模式整理出半導體設備裝機工程對應於專案管理五大流程 ( 起始、 計劃、 執行、 控制、 結案 ) 及九大知識領域 ( 整合、範疇、時間、成本、品質、人力資源、溝通、風險、採購 ) 的管理方法，並建立一套標準之 Hookup 管理流程。 運用專案管理之分析方法，探討 Hookup 標準管理流程之經濟效益。

7. 研究流程 確認研究目的與範圍 文獻資料蒐集與探討 專案管理知識整理運用 案例分析 結論與建議 建立裝機工程專案管理流程

8. 文獻探討 半導體製程介紹 裝機工程介紹 專案管理

9. 半導體製程介紹 Initial ox Si substrate Initial ox Si substrate PR Diff module PHOTO module ETCH module Ini ox Si sub PR Thin film module Ini ox Si sub Diff, PHOTO, ETCH, T/F IC cross section WAT Wafer Sorting Chip Cutting 初始晶片 (primary wafer) Bonding Packaging Final Test

10. 半導體製程機台介紹 擴散區 Furnace Implanter Wet Bench 薄膜區 PVD CVD 黃光區 Scanner Track 蝕刻區 Dry Etch Wet Etch

11. 裝機工程介紹 HOOKUP 與 TOOL 關係圖 FLOOR ENHANCEMENT ELECTRICITY CDA,GN2 PV PCW RCWS SPECIALTY GAS & PN2 CHEMICAL UPW Tool foundation energize control Wafer handling Temperature control Process required Cleaning,process cleaning GEX(exhaust) Pumping line Local scrubber SEX GEX Exhaust(SEX,VEX,AEX) drain ( DIR,AOR,AWR,AWD ) Drain ( HF(D),IPA(D), THINNER(D), H2SO4(D),CuSO4(D),CMP(D )) Hookup Hookup : 設備連接點 : 廠務預留連接點 Utility supply Waste treatment

12. 裝機工程介紹 1 F D.P. 3 F 2 F Scrubber PUMP FAC Utility Take Off Port FAC Utility Take Off Port S FAC Exhaust Take Off Port

13. 裝機工程介紹 CAD: 草圖 , 施工圖 , 竣工圖 . Move in: 機台 move in, 機台 move out, 機台移機 , 機台定位 . Core drill: 樓板銑孔 , 牆板銑孔 , 防火填塞 . Foundation: 高架地板切割 , 機台基礎座 , 防震固定片 (seismic). Vacuum: 機台至 pump 之真空管 ,pump 至 local scrubber 之排氣管 . Exhaust: 一般廢氣排氣 (GEX) 管 , 酸性廢氣排氣 (SEX) 管 , 含氨廢氣排氣 (AEX) 管 , 有 機廢氣排氣 (VEX) 管 .

14. 裝機工程介紹 Gas : 壓縮乾燥空氣 (CDA) 管 , 一般氮氣 (GN2) 管 , 製程氮氣 (PN2) 管 , 特殊氣體 (S.G.) 管 . Chemical : Chemical 管路 ,Chemical drain 管 . PCW: 製程冷卻水管路 . UPW : 超純水管路 . Plastic: 製程真空 (PV) 管路 , 除 chemical drain 之外的其他 drain (DIR,AOR,AWR,AWD,HFD,CMPD) 管 , 機台防漏盤 (drain pan). Electric: Plug in 安裝 ,AC box 安裝 , 線槽 (cable tray) 安裝 , 電源線配置 .

15. 專案管理 專案 : 專案是一個組織為實現自己既定的目標，在一定的時間、人員和資源限制 下，所發展的一種具有一定獨特性的一次性工作。 ( 美國專案管理協會 ) 作業與專案 : 相似點 : 都是由人執行；都被有限資源限制；都需要計劃、執行和控制。 不同點 : 例行性作業具有持續性 (ongoing) 和重複性 (repetitive) ；專案具有暫時性 (temporary) 和獨特性 (unique) 。 專案管理 : 專案管理乃是將管理知識、技術、工具、方法綜合運用到任何一個專案行 為上，使其能符合專案的需求；專案管理是經由專案起始、計劃、執行、 控制及結案等五大過程的運作，方得以完成。 (PMBOK)

16. 計畫程序 執行程序 控制程序 結案程序 起始程序 需求產生，授權批准專案 明確定義目標及達到目標之行動方案 協調人員與其他資源以執行計畫 定期監控執行結果，必要時採取 矯正措施 ， 以確保目標之達成 審視並接受專案結果，儲存專案知識 專案管理五大流程

17. 專案管理九大知識領域

18. 專案管理流程對照

19. 裝機工程專案管理流程 裝機工程專案起始程序 裝機工程專案計劃程序 裝機工程專案執行程序 裝機工程專案控制程序 裝機工程專案結案程序 裝機工程專案管理流程

20. 裝機工程專案起始程序 裝機需求產生 : 工業工程規劃部 (IE) 依照產能需求提出機台需求，產能需求可能為整條生 產線數十至數百台機台的數量，也可能只是某種單一機台的短缺數量。 使用端提出裝機需求 : 設備工程單位 (EE) 依照機台需求提出設施需求，相關配合單位接收裝機資 訊，相關配合單位包括 Layout 單位 (IE) 、自動搬運系統單位 (AMHS) 、裝機 工程單位 (Hookup) 、工安環保單位 (ISEP) 。 裝機前傳簽單 : 使用單位 (EE) 依照需求填寫裝機前傳簽單，會簽相關單位，會簽流程如下 : EE  IE  AMHS  Hookup  ISEP  EE 。 專案核准書 (Project Charter): 專案核准書為專案的正式批准文件。對於 Hookup 工程專案而言，裝機傳簽 單就相當於專案管理中的專案核准書，授權 Hookup 單位執行裝機專案，並 闡明裝機工程的範疇。

21. 裝機工程專案計畫程序 範疇計畫和範疇定義 : 範疇計畫 : 制訂書面範疇聲明，作為今後專案決策的基礎。 範疇定義 : 將主要的交付物劃分為較小，更易管理的組成部分。 需求分析及確認 : 使用單位 (EE) 依照機台需求提出裝機傳簽單包含設施需求， Hookup 接收到 裝機需求資訊後，必須進行需求評估，確認廠務端各系統設施足夠。 CAD 圖 : Hookup CAD team 依據裝機傳簽單繪製草圖，使用單位 (EE) 進行審查，確 認無誤後簽名， CAD team 繪製施工圖，即為各包商之施工依據，亦為 Hookup 之書面範疇聲明。施工圖可拆成各包商獨自工程之圖面資料，易於 Hookup 管理。

22. 裝機工程專案計畫程序 活動定義 : 活動定義 : 確定產生各個專案交付物所必須進行之具體活動。 Hookup 工作分解結構 (WBS): Hookup Project CAD Pre Hookup Hookup 草 圖 施 工 圖 竣 工 圖 Move in Move in OHT Electric Pre Hookup Gas Pre Hookup Electric Hookup Gas Hookup *** ***

23. 裝機工程專案計畫程序 活動排序、活動工期估算及時程制訂 : 活動排序 : 研訂各活動之間的依存關係。 活動工期估算 : 估算完成各項活動之工期。 時程制訂 : 分析活動順序與活動工期以制訂專案時程。

24. 裝機工程專案計畫程序 資源規劃、成本預估與預算編列 : 資源規劃 : 確定完成專案各活動必須動用到的資源，如各施工廠商之人員、機具、材料。 成本預估值 : 估算完成專案各項活動所需資源的大致成本。 預算編列 : 將總成本預估值分攤到各項個別工作活動上去。 品質規劃 : 判斷哪些品質標準與本專案相關，並決定應如何達到這些品質標準，可運用的規劃工具有成本效益分析、標竿法、流程圖法、實驗設計和品質成本法。 裝機工程因爲要求速度與統一，最常使用標竿法 (Benchmarking) ，有些特殊狀況亦有可能使用流程圖、實驗設計等方法。

25. 裝機工程專案計畫程序

26. 裝機工程專案執行程序 Hookup 施工規範 : Hookup 每張合約必提供施工規範，各廠商依合約內之施工規範施工，施工 規範包括工程進行中的詳細規定。 品質保證 : 品質保證指專案在過程中，定期評估專案的整體績效，以提供信心專案將滿足相關的品質標準。 Hookup 爲執行品質保證，需成立 QA team 並訂定標準定期檢查。如氣體管路焊接，每日檢查焊接 sample ，以確保施工品質。

27. 裝機工程專案控制程序 範疇確認和範疇變更控制 : Hookup 將專案範疇以 CAD 施工圖為確認依據，並於範疇變更時以施工圖 版本為管制依據，直至專案結束時以竣工圖完成現場比對確認。 時程控制 : Pre Hookup 會勘； Hookup 會勘，會與相關人員訂定完工時間並紀錄之。後續機台 Move in 時間； Turn on 時間為整個專案最重要的兩個時程控制時間點，必依照原訂計畫進行，ㄧ有任何變更必須獲得相關人員的同意，否則易造成專案的失敗。 時程控制有多種軟體可供選擇，如 P3 ； Project ； Excel 等，但不論何種軟體工具最主要是要在工作結束前做進度的掌控，並藉以評估專案績效或及時進行修正措施。 成本控制 : 確定成本發生是依照預算進度進行，並在發生變異時提出必要之修正措 施，以達到管理的機制。

28. 裝機工程專案控制程序 品質控制 : Hookup 工程完工後必須對施工品質做相關測試，以達到要求之品質標準， 通過品質測試標準會以 QC 報告做為品質控制之依據。

29. 裝機工程專案結案程序 裝機後傳簽單 : 使用單位接受裝機結果後填寫裝機後傳簽單，宣告裝機工程專案結束，會 簽相關單位，會簽流程如同裝機前傳簽單，順序如下： EE  IE  AMHS  Hookup  ISEP  EE 。

30. 裝機前傳簽單 CAD 圖 WBS Scheduling Budgeting Quality Planning Scope Change Control Schedule Control Cost Control Quality Control 施工規範 QA 裝機後傳簽單 裝機工程專案管理流程

31. 案例分析 個案背景 WAT(Wafer Acceptance Test) 設備原本裝在 Support 區，現在 Support 區要裝其他機台，而且 Office 3F 環境已經準備好可以裝 WAT 的機台，所以要將 WAT 的機台從 Support 區搬到 Office 3F 新的 WAT 區域進行裝機工程。 Ball room Phase-2 Phase-1 WAT new area Support WAT area Office 3F FAB

32. Scope AWAT01~21 ，共 21 組機台。 此專案包括拆移機工程及裝機工程。 案例分析 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 11 10 09 08 07 12 32 33 34 35 31 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 11 10 09 08 07 12 37 32 33 34 35 36 31 06 08 07 09 06 08 07 32 33 34 35 31 06 08 07 AWAT03 AWAT04 AWAT01 AWAT02 AWAT05 AWAT06 AWAT07 AWAT08 AWAT09 AWAT10 AWAT11 AWAT12 AWAT13 AWAT14 AWAT16 AWAT17 AWAT18 AWAT19 AWAT20 AWAT15 AWAT21

33. Schedule WAT 工程師初步規劃將 21 台機台分 4 批搬移， schedule 如下表。 Budget 此專案預估花費 NT$4,101,300 案例分析 5 月 17 日 5 月 11 日 7 AWAT16/17/21 Relocation 5 月 10 日 5 月 4 日 7 AWAT01/02/15/18~20 Relocation 5 月 3 日 4 月 27 日 7 AWAT03/04/11~14 Relocation 4 月 26 日 4 月 20 日 7 AWAT05~10 Relocation Finish Start Duration WAT tool move in schedule

34. Tool hookup Tool relocation WAT new area pre- hookup Support area recovery Tool turn on Foundation pre- hookup Power pre- hookup CDA pre- hookup PV pre- hookup Seismic disconnect Power disconnect CDA disconnect PV disconnect Tool relocation Power hookup CDA hookup PV hookup Seismic hookup Issue QC report Power turn on CDA turn on PV turn on Tool release Foundation remove Power cable remove CDA remove PV remove Raised floor recovery AWAT03;04;11~14 relocation WAT Relocation Project AWAT05~10 relocation AWAT01;02;15;18~20 relocation AWAT16;17;21 relocation 鋼材切割準備 噴砂 烤漆 地板切割 鋼構現場組裝 地板修邊 Cable tray 施作 佈線 Breaker 安裝 盤面組裝 管線施作 保壓測試 閥件組裝 管線施作 案例分析 WBS

35. 成本分解

36. 進度作業

37. 進度桿狀圖

38. 成本累積曲線

39. 25% 績效評估 與計劃無誤差

40. 50% 績效評估 與計劃無誤差

41. 4/20 當天 Schedule 績效評估 成本進度表 △ T=2 hrs 進度提前 2hrs 實際只做了 2hrs 實際只做了 2hrs

42. 修正措施 依據 4/20 經驗，可將 Power hookup & Seismic hookup 作業由 3hrs 改為 2hrs ， 可解省 1hr 。 中午 12 點至 1 點取消午休， 請廠商繼續施工，可再解省 1hr 。 早上原本 08:00 開始施工，改由 09:00 開始施工，可避開早上交接開會時間。 Total 停機時間由原本 9hrs 縮短為 7hrs ， Tool release 時間由 17:00 提前至 16:00 。 成本進度表修正

43. 改善經濟效益 時程： 2 hrs/tool 工資： 0 元 折舊： (12,000,000X21X2) / (5X365X24) = 11,507 元 產值： ( 45,000,000,000X2) / (365X24) = 10,273,973 元 Total ： 0 + 11,507 + 10,273,973 = 10,285,480 元 08 09 16 17 9 hrs 7 hrs

44. 結論與建議 研究結論 半導體之設備昂貴，因此移機專案重點要放在如何縮短停機的時間，以提高設備利用率。 專案管理在營建業以工作天為單位，應用在電子業可能必須以小時為單位。 依照計劃執行不一定能滿足 stakeholder 的需求，必須適時的調整計劃。 每日施工報表對於施工進度的掌控非常有幫助。 有經驗的執行團隊對整個 project 的進行相當有幫助。 研究建議 專案管理九大知識領域其他輔助性管理知識如專案人力資源管理等，也對專案有相當程度的幫助。 專案管理電子化系統，可提昇專案管理的效率。