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LDS プロセスにおける 
ファインピッチめっきへの取り組み 
日本マクダーミッド株式会社 
技術本部エレクトロニクス課 
渡邉 歳哉 
日本MID 協会定例会 
2014 年11 月7 日 
東京大学 生産技術研究所
MacDermid: Specialty Chemical Solutions 
PPrriinnttiinngg SSoolluuttiioonnss 
日本マクダーミッド株式会 
社 p.2 
• 23カ国に2000人以上の従業員 
• 全世界に3500以上の顧客 
IInndduussttrriiaall SSoolluuttiioonnss 
EElleeccttrroonniiccss SSoolluuttiioonnss
MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 
p.3 
設立昭和61年(1986年)4月1日 
本社神奈川県川崎市高津区 
資本金5,000万円 
従業員71名(男性49名 女性22名) 
製品内訳 
PCB関連製品 
エレクトロニクス関連製品 
自動車部品関連製品 
印刷用機材
MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 
p.4 
海外顧客 16 
北海道 (7) 
中部 (136) 
東北 (39) 
関東 (258) 
近畿 (89) 
中国 (13) 
九州 (16) 四国 (1) 
外注工場 : 富士化学工業 
日本マクダーミッド㈱ 
(大阪サテライト) 
日本マクダーミッド㈱ 
本社、R&D (川崎) 
• 顧客地図 
日本マクダーミッド㈱ 
(名古屋サテライト)
MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 
p.5 
• かながわサイエンスパーク (KSP) 
CC棟 88FF 分析・実験室
CC棟 88FF ライン室
CC棟 77FF 受付((営業・業務、ラボ))
MacDermid: MID メタライゼーション 
p.6 
表面仕上げ技術の“融合” 
プラスチック上の装 
飾めっき及び機能 
めっき 
( POP) 
プリント配線板用の無電解銅めっき 
MID めっきの開発と最適化には 
POPと    プリント配線板用 
めっきの両方の 
専門知識の融合が不可欠であった
MID テクノロジー 
スマートフォン 
日本マクダーミッド株式会 
ノートパソコン 
社p.7 
Molded Interconnect Device (MID) 
• 電気回路が組み込まれた 
       熱可塑性プラスチック射出 
成形品 
 成形樹脂とプリント配線板の融合 
今日の市場 
• MIDはプラスチック基材の進歩やレー 
ザーダイレクトストラクチャリング 
(LDS)の開発により拡大している 
 主要な用途は携帯電話、ノートパソコン、タ 
ブレット等のモバイル通信機器のアンテナ 
• 他市場への拡大 
 自動車、医療、照明、ウエアラブル端末等 
 デザインや機能の可能性が広がり 
 小型化に向けた形状や接続性の新たな選択肢 
 照明 
 自動車 
医療
日本マクダーミッド株式会 
トレンド 
社p.8 
• ファインピッチ技術 
 デザイン性を広げる 
 小型化 
• SMT性能 
 耐リフロー性のあるプラスチック 
 はんだ付け可能な表面仕上げ 
• ワイヤーボンディング 
 適確なプラスチック、めっき厚、表面粗 
さ、ファイナルフィニッシュの選択 
• 軽量化 
 電気回路と電子部品を一体化させ、 
                部品点 
数を削減 
• 製品スタイルと電気回路の一体化 
 未来のデザインの可能性を広げるために 
                融合さ 
れた立体回路
ファインピッチのための技術 
日本マクダーミッド株式会 
社p.9 
• 管理・安定しためっきプロセス 
 めっき前に効果的な超音波洗浄を利用し、レーザー残渣を全て除去す 
る 
 レーザー回路内のめっきの保持及びエッジへの析出を最小限に抑制す 
るため、無電解銅めっき処理のめっき速度をコントロール 
• 新しい銅めっき添加剤 
 十分なめっき速度を保持しつつ、ファインピッチめっきが得られるた 
めの  添加剤を銅めっき浴に使用 
• 代替となるファイナルフィニッシュ 
 ファインピッチめっきの妨げとなるキャタリストソリューションの排 
除
管理・安定しためっきプロセス 
日本マクダーミッド株式会 
社p.10 
• ファインピッチめっき用の     
            銅めっき 
パラメーター: 
 超音波クリーニング 
• レーザー残渣の除去を可能にする 
特別に処方された薬品 
 管理されたストライク銅めっき 
• 多種のLDS基材に対応 
 安定したビルド銅めっき 
• エッジへの析出を防ぐ緩やかなめっ 
き速度 
   従来の銅めっきプロセス 
最適化されたプロセス 
クリーニング 
LDS Select 
Prep 2000 
クリーニング 
LDS Select 
Prep 2000 
銅ストライク 
MID Copper 
銅ストライク 
MID Copper 
100 XB 
100 XB 
銅ビルド 
MID Copper 
100 XB 
銅ビルド 
MID Copper 
100 XB
管理・安定しためっきプロセス 
日本マクダーミッド株式会 
社p.11 
• ファインパターンめっき 
のニーズに対応できる銅 
めっきプロセスの改良 
• ライン間隔の目標:   
          
40~100 μm 
• エッジへの析出の低減と 
スペースの完全性を保つ 
ための銅めっきプロセス 
の管理パラメータの設定 
40 μm
新しい銅めっき添加剤 
日本マクダーミッド株式会 
社p.12 
• 新開発品 
 めっき速度を犠牲にすることなく過剰な析出をコント 
ロールする独自の添加剤を採用 
 めっき速度 5 μm/hrが可能 
  通常のファインピッチめっきは2~3 μm/hr 
 高速で高品質のめっき皮膜を維持
新しい銅めっき添加剤 
添加剤なし添加剤あり 
添加剤を使用することでより直線的なラインが得られる 
日本マクダーミッド株式会 
社p.13
粒子構造の比較 
添加剤なし添加剤あり 
日本マクダーミッド株式会 
社p.14 
SEM画像 5000倍 
添加剤を使用することでより細かい粒子の皮膜が得られる
新しい銅めっき添加剤 
添加剤なし添加剤あり 
日本マクダーミッド株式会 
社p.15 
回路幅 = 868.6 mm 
ギャップ = 364.2 mm 
回路幅 = 815.1 mm 
ギャップ = 411.0 mm 
添加剤を使用すると回路幅は広がることなく、ギャップも狭まらなかった
代替となるファイナルフィニッシュ 
• 従来: EN(無電解ニッケル) または 
  ENIG(無電解ニッケル/置換金) プロ 
セス 
 銅上にニッケルを析出させるのにパラジウム触媒が 
必要 
 触媒は回路間のギャップに残り無電解ニッケルの 
エッジへの析出や過剰な析出を促進させることがあ 
る 
無電解ニッケルめっき前無電解ニッケルめっき後 
日本マクダーミッド株式会 
社p.16
代替となるファイナルフィニッシュ 
銀めっき 
後 
日本マクダーミッド株式会 
社p.17 
• 代替: MID Silver 100 プロセス 
 銅上の銀は置換反応なので触媒を必要としない 
 銀は銅上にのみ析出するのでエッジへの析出や過剰 
な析出を防止することができる 
銀めっき前
プロセスフロー – MID Silver vs. ENIG 
日本マクダーミッド株式会 
社p.18 
MID 初期銅めっきサイクル 
工程温度 ℃ 時間工程温度℃ 時間 
MID Silver Pre-Dip 45 1 酸プレディップ室温1 
MID Silver 100 55 3 水洗室温1 
純水洗室温2 MID Ni Initiator 43 3 
MID Anti-Tarnish 54 1.5 水洗室温1 
温水洗50 3 酸ポストディップ室温1 
乾燥n/a n/a MID MP Nickel 100 88 15 
合計時間11 分水洗室温2 
MID Gold 100 85 10 
水洗室温2 
乾燥n/a n/a 
合計時間40 分 
• 工数の削減 = 
製造時間の短縮 
• 浴温の低下 =    
エネルギーコストの削減   
       
代替となるファイナルフィニッシュ 
MID ニッケル金MID Silver 100 
日本マクダーミッド株式会 
社p.19 
• 試験方法: ASTM B117-09 
 NSST 96時間 
 長時間の悪環境でも良好な耐食性を示す 
MID Silver 100はAnti-Tarnish処理をする事でニッケル金よ 
りもNSSTで高い耐食性を示す
• LDS MIDにおけるファインピッチめっき適用 
には多くのアプローチがあります・・・ 
 コントロールされためっきプロセスからのアプロー 
チ 
 新しい添加剤からのアプローチ 
 代替となるファイナルフィニッシュからのアプロー 
チ 
• ファインピッチめっき性能によりデザインの可 
能性が広がり、MIDをより新しく革新的な市 
場へと拡大させることができます 
日本マクダーミッド株式会 
まとめ 
社p.20
MIDに限界はありません 
日本マクダーミッド株式会 
社p.21

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日本マクダーミッドが日本MID協会定例会で講演

  • 1. LDS プロセスにおける ファインピッチめっきへの取り組み 日本マクダーミッド株式会社 技術本部エレクトロニクス課 渡邉 歳哉 日本MID 協会定例会 2014 年11 月7 日 東京大学 生産技術研究所
  • 2. MacDermid: Specialty Chemical Solutions PPrriinnttiinngg SSoolluuttiioonnss 日本マクダーミッド株式会 社 p.2 • 23カ国に2000人以上の従業員 • 全世界に3500以上の顧客 IInndduussttrriiaall SSoolluuttiioonnss EElleeccttrroonniiccss SSoolluuttiioonnss
  • 3. MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 p.3 設立昭和61年(1986年)4月1日 本社神奈川県川崎市高津区 資本金5,000万円 従業員71名(男性49名 女性22名) 製品内訳 PCB関連製品 エレクトロニクス関連製品 自動車部品関連製品 印刷用機材
  • 4. MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 p.4 海外顧客 16 北海道 (7) 中部 (136) 東北 (39) 関東 (258) 近畿 (89) 中国 (13) 九州 (16) 四国 (1) 外注工場 : 富士化学工業 日本マクダーミッド㈱ (大阪サテライト) 日本マクダーミッド㈱ 本社、R&D (川崎) • 顧客地図 日本マクダーミッド㈱ (名古屋サテライト)
  • 5. MacDermid:日本マクダーミッド株式会社 p.5 • かながわサイエンスパーク (KSP) CC棟 88FF 分析・実験室 CC棟 88FF ライン室 CC棟 77FF 受付((営業・業務、ラボ))
  • 6. MacDermid: MID メタライゼーション p.6 表面仕上げ技術の“融合” プラスチック上の装 飾めっき及び機能 めっき ( POP) プリント配線板用の無電解銅めっき MID めっきの開発と最適化には POPと    プリント配線板用 めっきの両方の 専門知識の融合が不可欠であった
  • 7. MID テクノロジー スマートフォン 日本マクダーミッド株式会 ノートパソコン 社p.7 Molded Interconnect Device (MID) • 電気回路が組み込まれた        熱可塑性プラスチック射出 成形品  成形樹脂とプリント配線板の融合 今日の市場 • MIDはプラスチック基材の進歩やレー ザーダイレクトストラクチャリング (LDS)の開発により拡大している  主要な用途は携帯電話、ノートパソコン、タ ブレット等のモバイル通信機器のアンテナ • 他市場への拡大  自動車、医療、照明、ウエアラブル端末等  デザインや機能の可能性が広がり  小型化に向けた形状や接続性の新たな選択肢  照明  自動車 医療
  • 8. 日本マクダーミッド株式会 トレンド 社p.8 • ファインピッチ技術  デザイン性を広げる  小型化 • SMT性能  耐リフロー性のあるプラスチック  はんだ付け可能な表面仕上げ • ワイヤーボンディング  適確なプラスチック、めっき厚、表面粗 さ、ファイナルフィニッシュの選択 • 軽量化  電気回路と電子部品を一体化させ、                 部品点 数を削減 • 製品スタイルと電気回路の一体化  未来のデザインの可能性を広げるために                 融合さ れた立体回路
  • 9. ファインピッチのための技術 日本マクダーミッド株式会 社p.9 • 管理・安定しためっきプロセス  めっき前に効果的な超音波洗浄を利用し、レーザー残渣を全て除去す る  レーザー回路内のめっきの保持及びエッジへの析出を最小限に抑制す るため、無電解銅めっき処理のめっき速度をコントロール • 新しい銅めっき添加剤  十分なめっき速度を保持しつつ、ファインピッチめっきが得られるた めの  添加剤を銅めっき浴に使用 • 代替となるファイナルフィニッシュ  ファインピッチめっきの妨げとなるキャタリストソリューションの排 除
  • 10. 管理・安定しためっきプロセス 日本マクダーミッド株式会 社p.10 • ファインピッチめっき用の                 銅めっき パラメーター:  超音波クリーニング • レーザー残渣の除去を可能にする 特別に処方された薬品  管理されたストライク銅めっき • 多種のLDS基材に対応  安定したビルド銅めっき • エッジへの析出を防ぐ緩やかなめっ き速度    従来の銅めっきプロセス 最適化されたプロセス クリーニング LDS Select Prep 2000 クリーニング LDS Select Prep 2000 銅ストライク MID Copper 銅ストライク MID Copper 100 XB 100 XB 銅ビルド MID Copper 100 XB 銅ビルド MID Copper 100 XB
  • 11. 管理・安定しためっきプロセス 日本マクダーミッド株式会 社p.11 • ファインパターンめっき のニーズに対応できる銅 めっきプロセスの改良 • ライン間隔の目標:             40~100 μm • エッジへの析出の低減と スペースの完全性を保つ ための銅めっきプロセス の管理パラメータの設定 40 μm
  • 12. 新しい銅めっき添加剤 日本マクダーミッド株式会 社p.12 • 新開発品  めっき速度を犠牲にすることなく過剰な析出をコント ロールする独自の添加剤を採用  めっき速度 5 μm/hrが可能   通常のファインピッチめっきは2~3 μm/hr  高速で高品質のめっき皮膜を維持
  • 14. 粒子構造の比較 添加剤なし添加剤あり 日本マクダーミッド株式会 社p.14 SEM画像 5000倍 添加剤を使用することでより細かい粒子の皮膜が得られる
  • 15. 新しい銅めっき添加剤 添加剤なし添加剤あり 日本マクダーミッド株式会 社p.15 回路幅 = 868.6 mm ギャップ = 364.2 mm 回路幅 = 815.1 mm ギャップ = 411.0 mm 添加剤を使用すると回路幅は広がることなく、ギャップも狭まらなかった
  • 16. 代替となるファイナルフィニッシュ • 従来: EN(無電解ニッケル) または   ENIG(無電解ニッケル/置換金) プロ セス  銅上にニッケルを析出させるのにパラジウム触媒が 必要  触媒は回路間のギャップに残り無電解ニッケルの エッジへの析出や過剰な析出を促進させることがあ る 無電解ニッケルめっき前無電解ニッケルめっき後 日本マクダーミッド株式会 社p.16
  • 17. 代替となるファイナルフィニッシュ 銀めっき 後 日本マクダーミッド株式会 社p.17 • 代替: MID Silver 100 プロセス  銅上の銀は置換反応なので触媒を必要としない  銀は銅上にのみ析出するのでエッジへの析出や過剰 な析出を防止することができる 銀めっき前
  • 18. プロセスフロー – MID Silver vs. ENIG 日本マクダーミッド株式会 社p.18 MID 初期銅めっきサイクル 工程温度 ℃ 時間工程温度℃ 時間 MID Silver Pre-Dip 45 1 酸プレディップ室温1 MID Silver 100 55 3 水洗室温1 純水洗室温2 MID Ni Initiator 43 3 MID Anti-Tarnish 54 1.5 水洗室温1 温水洗50 3 酸ポストディップ室温1 乾燥n/a n/a MID MP Nickel 100 88 15 合計時間11 分水洗室温2 MID Gold 100 85 10 水洗室温2 乾燥n/a n/a 合計時間40 分 • 工数の削減 = 製造時間の短縮 • 浴温の低下 =    エネルギーコストの削減          
  • 19. 代替となるファイナルフィニッシュ MID ニッケル金MID Silver 100 日本マクダーミッド株式会 社p.19 • 試験方法: ASTM B117-09  NSST 96時間  長時間の悪環境でも良好な耐食性を示す MID Silver 100はAnti-Tarnish処理をする事でニッケル金よ りもNSSTで高い耐食性を示す
  • 20. • LDS MIDにおけるファインピッチめっき適用 には多くのアプローチがあります・・・  コントロールされためっきプロセスからのアプロー チ  新しい添加剤からのアプローチ  代替となるファイナルフィニッシュからのアプロー チ • ファインピッチめっき性能によりデザインの可 能性が広がり、MIDをより新しく革新的な市 場へと拡大させることができます 日本マクダーミッド株式会 まとめ 社p.20

Editor's Notes

  1. 続きまして、代替となるファイナルフィニッシュについてです。 従来MIDでは、無電解ニッケルまたは無電解ニッケル/置換金フィニッシュが殆どです。 しかし、銅上に無電解ニッケルめっきを析出させるには、パラジウム触媒が必要となります。 パラジウム触媒は洗浄が不十分だと回路エッジ部に残ることがあり、無電解ニッケルの回路外析出を 起こす場合が有ります。 また、無電解ニッケルめっき自体における回路幅の広がりは避けられません。
  2. MID Silver 100とニッケル金めっきプロセスの工程の比較です。 まずは工程時間です。 ご覧の通り、ニッケル金めっき工程と比較して、約4分の1の時間で処理することが可能です。 次に処理温度ですが、無電解ニッケル及び置換金めっきの85~90度の浴温と比較して、 Silverプロセスは、55度での処理が可能です。 また、パラジウムと金のコストも銀と比べると割高です。