1. Prüfprotokoll Analysatorblock – 1245490
Serien-Nr. Analysatorblock: ______________
A. Sichtkontrolle:
1. Teil sauber (kein Staub, keine Fussel, etc):
geprüft und in Ordnung
1a. Einblasbohrung CCT sauber
geprüft und in Ordnung
2. Bauteil frei von Beschädigungen:
geprüft und in Ordnung
2a. Anbauflächen der ionenoptischen Bauteile einwandfrei entgratet
geprüft und in Ordnung
B. Maßkontrolle:
Nr. Referenzgeometrien:
100 Güte der Fläche A (Ebenheit) Blatt 1 Max. 0,01= ___________
101 Durchmesser zu Achse B Blatt 1 Ø68 -0,02/-0,04= ___________
102 Rechtwinkligkeit Achse B zu Fläche A Blatt 1 Max. 0,01 = ___________
103 Rechtwinkligkeit Fläche C zu Fläche A Blatt 2 Max. 0,01 = ___________
104 Parallelität Fläche C zu Achse B Blatt 2 Max. 0,01 = ___________
105 Abstand Fläche C zu Achse B Blatt 2 30,0±0,02 = ___________
Maße 90-Grad-Ablenkung Blatt 2
201 Abstand zu Achse B F11 11,0±0,02 = ___________
202 Abstand zwischen den Bohrungen H11 34,5±0,02 = ___________
203 Abstand Fläche A,1. Bohrung H12 62,0±0,02 = ___________
204 Durchmesser, 1. Bohrung H11 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
205 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H11 5±0,2= ___________
206 Abstand Fläche A,2. Bohrung H12 62,0±0,02 = ___________
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2. Serien-Nr.Analysatorblock: ______________
207 Durchmesser, 2. Bohrung H11 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
208 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H11 5±0,2= ___________
Maße Kollisions-Zelle Blatt 2
301 Abstand zu Pilot-B B(Y) F10 98±0,02 = ___________
302 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H12 2,5±0,01 = ___________
303 Durchmesser, 1. Bohrung H10 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
304 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H10 5±0,2= ___________
305 Abstand Pilot-B A (Z), 2. Bohrung H12 2,5±0,02 = ___________
306 Abstand zwischen den Bohrungen G10 45,0±0,05 = ___________
307 Durchmesser, 2. Bohrung H9 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
308 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H9 5±0,2= ___________
309 Abstand Fläche C F10 14,0±0,02 = ___________
310 Parallelität zu Fläche C F10 max. 0,02 = ___________
Maße DA-Linse (Ø2H7) Blatt 2
401 Abstand zu Pilot-B B (Y), 1. Bohrung H8 237,6±0,01 = ___________
402 Abstand zu Pilot-B B (Y), 2. Bohrung H8 237,6±0,01 = ___________
403 Abstand Pilot-B A (Z), 2. Bohrung H8 29,0±0,01 = ___________
404 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H8 55,0±0,01 = ___________
405 Durchmesser, 1. Bohrung B13 Ø2H7 (+0,01/-0)= ___________
406 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung B13 5±0,2= ___________
407 Durchmesser, 2. Bohrung B13 Ø2H7 (+0,01/-0)= ___________
408 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung B13 5±0,2= ___________
409 Abstand Fläche C D8 82,5±0,02 = ___________
410 Parallelität zu Fläche C D8 max. 0,01 = ___________
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3. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________
Maße DA-Linse (Ø3H7) Blatt 2
501 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 1. Bohrung H8 251,6,0±0,01 = ___________
502 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 2. Bohrung H8 251,6,0±0,01 = ___________
503 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H8 9,5±0,01 = ___________
504 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H8 22,0±0,01 = ___________
505 Durchmesser, 1. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
506 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H8 5±0,2= ___________
507 Durchmesser, 2. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
508 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H8 5±0,2= ___________
509 Abstand Fläche C E8 10,0±0,01 = ___________
510 Parallelität zu Fläche C E8 max. 0,01 = ___________
Maße Quadrupol Blatt 2
601 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 1. Langloch H8 305,55±0,02 = ___________
602 Abstand 1. Langloch zum 2. Langloch H6 168,55±0,02 = ___________
603 Abstand zu Pilot-B A (Z), 1. Langloch H8 5,0±0,2 = ___________
604 Länge 1. Langloch H8 4,0±0,1 = ___________
605 Breite 1. Langloch H8 3,1±0,05 = ___________
606 Abstand zu Pilot-B A (Z), 2. Langloch H6 5,0±0,2 = ___________
607 Länge 2. Langloch H6 4,0±0,1 = ___________
608 Breite 2. Langloch H6 3,2±0,1 = ___________
609 Abstand Fläche C, 1. Fläche E7 4,6±0,02 = ___________
610 Abstand Fläche C, 2. Fläche E7 4,6±0,02 = ___________
611 Parallelität zu Fläche C , beide Flächen E7 max. 0,01 = ___________
612 Abstand Fläche A , 1. Fläche B8 29,6±0,02 = ___________
613 Abstand Fläche A , 2. Fläche B6 29,6±0,02 = ___________
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4. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________
614 Parallelität zu Fläche A , beide Flächen B7 max. 0,01 = ___________
Maße SEM Blatt 2
701 Abstand zu Achse B , 1. Bohrung H6 521,5±0,02 = ___________
702 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H5 80,0±0,02 = ___________
703 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H6 25,0±0,01 = ___________
704 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H5 38,0±0,01 = ___________
705 Durchmesser, 1. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
706 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H8 5±0,2= ___________
707 Durchmesser, 2. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________
708 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H8 5±0,2= ___________
709 Abstand Fläche C E8 1,0±0,02 = ___________
710 Parallelität zu Fläche C E8 max. 0,01 = ___________
Gewindeeinsätze
801 2x Ensatbuchse M4x6 D9 geprüft und in Ordnung
802 4x Ensatbuchse M6x8 D11 geprüft und in Ordnung
803 8x Ensatbuchse M6x8 D13 geprüft und in Ordnung
C. Qualität der Dichtflächen
901 Dichtnut obere Vakuumkammer geprüft und in Ordnung
902 Dichtnut untere Vakuumkammer geprüft und in Ordnung
903 Dichtfläche an der Zwischenwand geprüft und in Ordnung
904 Dichtflächen für Turbopumpe geprüft und in Ordnung
905 Dichtfläche für Penningröhre geprüft und in Ordnung
906 Dichtfläche für Piraniröhre geprüft und in Ordnung
907 Dichtfläche für Expansionvalve geprüft und in Ordnung
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5. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________
910 Dichtflächen für die Quadrupol-Durchf. geprüft und in Ordnung
911 Dichtfläche für das CCT-Modul geprüft und in Ordnung
912 Dichtnut zur Torchbox geprüft und in Ordnung
913 Dichtfläche zur Torchbox geprüft und in Ordnung
914 Dichtnut Slidevalve geprüft und in Ordnung
905
901
904 910
903
911
902 914 906
912
907
913
Bemerkungen:_______________________________________________________
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Name des Prüfers: _______________________ Firma: ____________________
Datum der Prüfung: ______________ Unterschrift des Prüfers: _____________
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