ディップコート前のドライ洗浄について http://www.dip-coater.com/dipcoating/wash-dry

1. 2018/7/19 ドライ洗浄について | ディップコーター （ディップコーティング装置）
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ディップコーティングとは
ドライ洗浄について
ディップコーティングは、ワーク（コーティング対象物）と液の表⾯張⼒を主に利⽤してコーティングする為、ワークの親⽔処理は重要です。
前処理については、湿式洗浄（ウェットプロセス）、乾式洗浄（ドライプロセス）に分けられ、UVオゾン洗浄やプラズマ洗浄、超⾳波洗浄などがありま
す。
ここでは、ディップコーティング前処理として簡易に導⼊可能なUVオゾン洗浄についてご説明します。
UVオゾン洗浄の原理は、低圧⽔銀ランプ（UVランプ）から発するUV(紫外線）の短波⻑光エネルギーが、基盤表⾯上の有機汚染物質の結合を分解する
といったものです。
また、同時に紫外線により発⽣したオゾンから分離した活性酸素（O)が、有機汚染物質と化学的に結合し、⼆酸化炭素や⽔などの揮発性物質に分解反応
させて除去します。
1） 洗浄処理前
2） ＵＶ照射
UVランプから照射される184.9nmの波⻑の紫外線により、酸素分⼦が分解され、酸素原⼦が⽣成されます。また有機汚染物質の結合も分解されま
す。
3） ＵＶ照射
分解された酸素原⼦が、⼤気中のO2（酸素分⼦）と結合し、O3（オゾン）が⽣成されます。

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4） ＵＶ照射
発⽣したO3（オゾン）に253.7nmの波⻑の紫外線が、照射されるとオゾンは分解され、励起状態のO-（活性酸素）が⽣成されます。
5） 汚染物質除去
2)〜4)が同時に繰り返され、活性酸素が豊富な状態になり、⽣成された活性酸素は、基板上の汚染物質C（炭素）と結合し、CO2等の揮発性物質にな
り除去されます。
≫ UVオゾン洗浄の詳細については、こちらから