pvd

1. ‫خدا‬ ‫نام‬ ‫به‬
‫فرآیند‬ ‫بررسی‬PVD
(‫اطالعات‬ ‫آوری‬ ‫جمع‬)
‫راهنما‬ ‫استاد‬:‫پورسعیدی‬ ‫دکتر‬
‫کننده‬ ‫تهیه‬:‫حیدریان‬ ‫آرش‬
‫بهمن‬94

2. ‫آیند‬‫ر‬‫ف‬ ‫معرفی‬PVD:
‫فیل‬ ‫رسوبدهی‬ ‫نوع‬ ‫هر‬ ‫برای‬ ً‫عموما‬ ‫واژه‬ ‫این‬ ‫که‬ ‫باشد‬ ‫می‬ ‫خالء‬ ‫تحت‬ ‫رسوبدهی‬ ‫نوع‬ ‫یک‬‫م‬
‫اطالق‬ ‫شود‬ ‫می‬ ‫انجام‬ ‫سطح‬ ‫یک‬ ‫روی‬ ‫بر‬ ‫شده‬ ‫تبخیر‬ ‫مواد‬ ‫کردن‬ ‫متراکم‬ ‫توسط‬ ‫نازک‬ ‫های‬
‫گردد‬ ‫می‬.‫بخار‬ ‫فیزیکی‬ ‫رسوب‬ ‫عبارت‬((pvd‫انتقال‬ ‫توسط‬ ‫فلزات‬ ‫دادن‬ ‫رسوب‬ ‫برای‬ ‫اصل‬ ‫در‬
‫شود‬ ‫می‬ ‫استفاده‬ ‫شیمیایی‬ ‫واکنش‬ ‫انجام‬ ‫بدون‬ ‫و‬ ‫خال‬ ‫در‬.
‫از‬‫این‬‫فرایند‬‫برای‬‫تولید‬‫رسوب‬‫هایی‬‫از‬‫فلزات‬‫خالص‬‚‫آلیاژها‬‚‫ترکیبات‬‫و‬‫سرامیک‬‫ه‬‫ا‬‫بر‬
‫روی‬‫انواع‬‫مختلف‬‫زیر‬‫الیه‬‫ها‬‫استفاده‬‫می‬‫شود‬‫کاربرد‬‫این‬‫روش‬‫تقریبا‬‫تمام‬‫زمینه‬‫ه‬‫ای‬
‫صنعتی‬‫وتکنولوژی‬‫را‬‫در‬‫بر‬‫گرفته‬‫و‬‫دامنه‬‫ی‬‫وسیعی‬‫از‬‫خواص‬‫سطحی‬‫مانند‬‫خواص‬
‫الکتریکی‬‚‫نوری‬‚‫مکانیکی‬‫وشیمیایی‬‫را‬‫می‬‫توان‬‫توسط‬‫آن‬‫بهبود‬‫بخشید‬.
‫سطحی‬ ‫ی‬‫تبخیرساز‬ ‫طریق‬ ‫از‬ ‫سوبدهی‬‫ر‬((Evaporation deposition
‫پاش‬ ‫و‬ ‫کند‬(Sputtering)
‫یونی‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬(Ion Plating)

3. 1-‫سطحی‬‫ی‬‫تبخیرساز‬ ‫طریق‬‫از‬ ‫سوبدهی‬‫ر‬((EVAPORATION DEPOSITION
1.‫بخار‬ ‫به‬ ‫پوشش‬ ‫ماده‬ ‫تبدیل‬
2.‫قطعه‬ ‫سطح‬ ‫روی‬ ‫بر‬ ‫بخار‬ ‫انتقال‬
3.‫قطعه‬ ‫برروی‬ ‫پوشش‬ ‫ورشد‬ ‫زنی‬ ‫جوانه‬
o‫پوشش‬‫تشکیل‬‫مراحل‬:

4. ‫بخار‬ ‫ایجاد‬ ‫های‬ ‫ش‬‫و‬‫ر‬ ‫انواع‬:
.1‫مقاومتی‬:‫توان‬‫می‬ ‫که‬ ‫شده‬ ‫ت‬‫ر‬‫ا‬‫ر‬‫ح‬‫ایجاد‬ ‫باعث‬،‫مقاوم‬ ‫شته‬‫ر‬ ‫یک‬‫از‬ ‫الکتریکی‬‫جریان‬‫ر‬‫عبو‬‫ی‬‫ژ‬‫انر‬ ‫د‬
‫کند‬ ‫تأمین‬‫ا‬‫ر‬ ‫تبخیر‬ ‫آیند‬‫ر‬‫ف‬.
.2‫القایی‬:‫شو‬ ‫می‬ ‫تبخیر‬‫ع‬‫و‬‫شر‬ ‫و‬‫دما‬‫فتن‬‫ر‬ ‫باال‬‫سبب‬ ‫منبع‬ ‫مواد‬ ‫در‬ ‫الکتریکی‬ ‫جریان‬ ‫القاء‬‫د‬.
.3‫الکترون‬ ‫پرتو‬:‫ب‬‫آنها‬ ‫ی‬ ‫جنبش‬ ‫ی‬‫ژ‬‫انر‬ ‫تبدیل‬ ‫و‬‫مواد‬ ‫سطح‬ ‫به‬ ‫ی‬‫ژ‬‫انر‬ ‫پر‬‫ها‬ ‫الکترون‬ ‫د‬‫ر‬‫برخو‬‫باال‬ ‫اعث‬
‫شود‬ ‫می‬ ‫سطح‬ ‫دمای‬‫فتن‬‫ر‬
.4‫الکتریک‬ ‫قوس‬:‫باال‬‫خال‬‫ر‬‫د‬ ‫و‬‫است‬‫باال‬ ‫وجریان‬ ‫پایین‬ ‫ولتاژ‬‫نوع‬‫از‬ ‫قوس‬‫منبع‬(3-10*5)‫می‬ ‫انجام‬
‫شود‬.
.5‫لیزری‬:‫است‬‫مایشگاهی‬‫ز‬‫آ‬ ‫های‬ ‫کار‬ ‫ای‬‫ر‬‫ب‬‫بیشتر‬‫لیزر‬‫از‬‫استفاده‬

5. ‫پاش‬ ‫و‬ ‫کند‬‫ش‬‫و‬‫ر‬:
‫در‬‫این‬‫ش‬‫و‬‫ر‬‫یک‬‫نمونه‬‫از‬‫ماده‬‫پوشش‬‫و‬‫یر‬‫ز‬‫الیه‬‫در‬‫محفظه‬‫خالء‬‫ار‬‫ر‬‫ق‬‫می‬‫گیرد‬.‫محفظه‬‫تا‬
‫فشار‬Torr 10e-5‫و‬‫یا‬‫کمتر‬‫تخلیه‬‫شده‬‫و‬‫سپس‬‫یک‬‫گاز‬‫خنثی‬
‫ا‬
‫معموال‬‫ن‬‫آرگو‬‫به‬‫داخل‬
‫آن‬‫به‬‫ی‬‫نحو‬‫فرستاده‬‫می‬‫شود‬‫که‬‫فشار‬‫تا‬‫حد‬10e-2‫ر‬‫تو‬‫و‬‫یا‬‫بیشتر‬‫ایش‬‫ز‬‫اف‬‫یابد‬.‫نمونه‬
‫پوشش‬‫که‬‫در‬‫بوته‬‫است‬‫از‬‫مین‬‫ز‬‫عایق‬‫شده‬‫است‬‫به‬‫یک‬‫منبع‬‫الکتریکی‬‫با‬1000‫ولت‬‫منفی‬DC
‫وصل‬‫می‬‫شود‬‫اعمال‬‫این‬‫ولتاژ‬‫تخلیه‬‫شدیدالکتریکی‬‫ا‬‫ر‬‫موجب‬‫می‬‫شود‬.‫این‬‫ر‬‫بناب‬‫هاله‬‫ای‬‫از‬‫ن‬‫یو‬
‫های‬‫ن‬‫آرگو‬‫به‬‫وجود‬‫می‬‫آید‬.‫ن‬‫یو‬‫های‬‫ن‬‫آرگو‬‫تولید‬‫شده‬‫با‬‫ی‬‫ژ‬‫انر‬‫یاد‬‫ز‬‫جذب‬‫نمونه‬‫پوشش‬‫یا‬‫هدف‬
‫شده‬‫و‬‫این‬‫ر‬‫بناب‬‫توسط‬‫یک‬‫آیند‬‫ر‬‫ف‬‫انتقال‬‫،اتم‬‫ر‬‫گشتاو‬‫های‬‫نمونه‬‫پوشش‬‫از‬‫آن‬‫جدا‬‫میش‬‫ود‬.‫اتم‬
‫های‬‫خارج‬‫شده‬‫به‬‫سمت‬‫یر‬‫ز‬‫الیه‬‫حرکت‬‫کرده‬‫و‬‫بر‬‫ی‬‫و‬‫ر‬‫آن‬‫کندانس‬‫شده‬‫تشکیل‬‫پوشش‬‫م‬‫یدهند‬.

6. .1‫قطبی‬ ‫دو‬ ‫پراکنش‬(‫الکترودی‬ ‫دو‬)
.2‫قطبی‬ ‫سه‬ ‫پراکنش‬(‫الکترودی‬ ‫سه‬)
.3‫ماگنترونی‬ ‫پراکنش‬(Magnetron sputtering)
20
‫پاش‬ ‫و‬ ‫کند‬‫های‬‫ش‬‫و‬‫ر‬ ‫انواع‬:

7. ‫در‬‫واقع‬‫این‬‫ش‬‫و‬‫ر‬‫ی‬ ‫ش‬‫و‬‫ر‬‫اصالح‬‫شده‬‫یا‬‫توسعه‬
‫یافته‬‫دو‬‫ش‬‫و‬‫ر‬‫قبلی‬‫می‬‫باشد‬‫و‬‫به‬‫عنوان‬‫یک‬
‫آیند‬‫ر‬‫ف‬‫ا‬‫ز‬‫مج‬‫و‬‫مستقل‬‫تعریف‬‫نمی‬‫شود‬.‫اگر‬
‫در‬‫ضمن‬‫ایند‬‫ر‬‫ف‬‫های‬‫ی‬‫تبخیر‬‫در‬‫خال‬‫و‬‫یا‬
‫سوب‬‫ر‬‫ی،پتانسیل‬ ‫اکنش‬‫ر‬‫پ‬‫منفی‬‫یادی‬‫ز‬‫بر‬‫ی‬‫و‬‫ر‬
‫یر‬‫ز‬‫الیه‬‫اعمال‬‫گردد،به‬‫ی‬‫نحو‬‫که‬‫توسط‬
‫یونهای‬‫مثبت‬‫موجود‬‫در‬‫پالسما‬‫ان‬‫ر‬‫بمبا‬‫شود‬
‫ایندبه‬‫ر‬‫ف‬‫پوشش‬‫دهی‬‫یونی‬‫مرسوم‬‫میشود‬.
22
‫یونی‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬(Ion Plating)

8. ‫یونی‬ ‫دهی‬‫پوشش‬ ‫با‬ ‫پاش‬ ‫و‬ ‫کند‬ ‫ش‬‫و‬‫ر‬ ‫تفاوت‬
‫تفاوت‬‫آیند‬‫ر‬‫ف‬‫پوشش‬‫دهی‬‫یونی‬‫با‬‫آیند‬‫ر‬‫ف‬‫کند‬‫و‬‫پاش‬‫در‬‫این‬‫است‬‫که‬‫در‬‫این‬‫آیند‬‫ر‬‫ف‬‫پوشش‬‫در‬‫حین‬
‫تشکیل‬‫شدن‬‫و‬‫سوب‬‫ر‬‫دهی‬‫توسط‬‫یونهای‬‫ن‬‫آرگو‬‫ان‬‫ر‬‫بمبا‬‫می‬‫شود‬‫که‬‫باعث‬‫می‬‫شود‬‫تا‬‫پوش‬‫ش‬‫یز‬‫ر‬
‫دانه‬‫تر‬‫باشد‬‫و‬‫یک‬‫تنش‬‫ی‬‫فشار‬‫در‬‫پوشش‬‫ایجاد‬‫می‬‫کند‬‫که‬‫چسبندگی‬‫ا‬‫ر‬‫باال‬‫می‬‫برد‬‫در‬‫ف‬‫ایند‬‫ر‬
‫پوشش‬‫دهی‬‫یونی‬‫می‬‫توان‬‫شدت‬‫ان‬‫ر‬‫بمبا‬‫شدن‬‫سطح‬‫ا‬‫ر‬‫به‬‫کمک‬‫تغییر‬‫در‬‫ولتاژ‬‫آند‬‫ل‬‫کنتر‬‫کرد‬.‫آیند‬‫ر‬‫ف‬
‫پوشش‬‫دهی‬‫یونی‬‫نسبت‬‫به‬‫ایند‬‫ر‬‫ف‬‫های‬‫دیگر‬pvd‫از‬‫برد‬‫ر‬‫کا‬‫باالتر‬‫دار‬‫ر‬‫برخو‬‫است‬‫و‬‫پوشش‬‫حاصله‬
‫از‬‫کیفیت‬‫ی‬‫بیشتر‬‫دار‬‫ر‬‫برخو‬‫خواهد‬‫بود‬.

9. ‫ات‬‫ر‬‫نیت‬ ‫تیتانیم‬ ‫ساختار‬((TIN
‫اا‬‫ق‬‫م‬ ‫باال‬ ‫دماهای‬ ‫در‬ ‫دهد‬ ‫نمی‬ ‫واکنش‬ ‫شیمیایی‬ ‫نظر‬ ‫از‬ ‫است‬ ‫عالی‬ ‫چسپندگی‬ ‫ای‬‫ر‬‫دا‬ ‫کلرید‬ ‫تیتانیم‬‫ای‬‫ر‬‫دا‬ ‫ات‬‫س‬‫ا‬ ‫وم‬
‫سطح‬ ‫سفتی‬2400‫چگالی‬ ‫ای‬‫ر‬‫دا‬ ‫است‬ ‫ی‬‫و‬ ‫اچ‬5.22‫ذوب‬ ‫ی‬ ‫نقطه‬ ‫و‬2930‫باشد‬ ‫می‬ ‫اد‬‫ر‬‫گ‬ ‫سانتی‬.
‫د‬ ‫ی‬‫و‬ ‫ای‬‫ی‬ ‫ش‬‫و‬‫ر‬ ‫در‬ ‫اه‬‫ک‬ ‫است‬ ‫متر‬‫و‬‫میکر‬ ‫ده‬ ‫تا‬ ‫دو‬ ‫بین‬ ‫کلی‬ ‫ر‬‫طو‬ ‫به‬ ‫ات‬‫ر‬‫نیت‬ ‫تیتانیم‬ ‫پوشش‬ ‫ضخامت‬‫اخامت‬‫ض‬ ‫ان‬‫ی‬‫ا‬ ‫ی‬
‫اترین‬‫ش‬‫بی‬ ‫متر‬‫و‬‫میکر‬ ‫پنج‬ ‫تا‬ ‫سه‬ ‫ضخامت‬ ‫سطحی‬ ‫های‬ ‫تست‬ ‫در‬ ‫باشد‬ ‫می‬ ‫متر‬‫و‬‫میکر‬ ‫پنج‬ ‫تا‬ ‫سه‬ ‫از‬‫در‬ ‫و‬ ‫ار‬‫م‬‫ع‬ ‫ل‬‫او‬‫ط‬
‫پ‬ ‫اخامت‬‫ض‬ ‫این‬‫ر‬‫ااب‬‫ن‬‫ب‬ ‫اد‬‫ه‬‫د‬ ‫می‬ ‫نتیجه‬ ‫ا‬‫ر‬ ‫ی‬‫بیشتر‬ ‫عمر‬‫ل‬‫طو‬ ‫بیشتر‬ ‫های‬ ‫ضخامت‬ ‫ی‬ ‫چرخش‬ ‫های‬ ‫تست‬‫اوع‬‫ن‬ ‫و‬ ‫اش‬‫ش‬‫و‬
‫موثرند‬ ‫ار‬‫ز‬‫اب‬ ‫عمر‬ ‫ل‬‫طو‬ ‫در‬ ‫عملیات‬.
‫ا‬‫ا‬‫ص‬ ‫اه‬‫ا‬‫ب‬ ‫اش‬‫ا‬‫ش‬‫پو‬ ‫اای‬‫ا‬‫ه‬ ‫اه‬‫ا‬‫ن‬‫دا‬ ‫اه‬‫ا‬‫ک‬ ‫اد‬‫ا‬‫ه‬‫د‬ ‫ای‬‫ا‬‫م‬ ‫اان‬‫ا‬‫ش‬‫ن‬ ‫ات‬‫ر‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬ ‫اانیم‬‫ا‬‫ت‬‫تی‬ ‫اش‬‫ا‬‫ش‬‫پو‬ ‫ااختار‬‫ا‬‫س‬ ‫اکای‬‫ا‬‫س‬‫و‬‫میکر‬ ‫ی‬ ‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ر‬‫بر‬‫اطونی‬‫ا‬‫س‬ ‫ت‬‫ر‬‫و‬
‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ر‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬ ‫ار‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫م‬‫و‬‫میکر‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫س‬ ‫اا‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬ ‫اک‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬ ‫اا‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫دا‬ ‫ان‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫ا‬ ‫ل‬‫او‬‫ا‬‫ا‬‫ط‬ ‫اولن‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫مع‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬ ‫اد‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫کن‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬ ‫اد‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫ر‬ ‫اش‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫پو‬ ‫ااع‬‫ا‬‫ا‬‫ف‬‫ت‬‫ر‬‫ا‬ ‫اتای‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ا‬‫ر‬‫د‬.‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬
‫د‬‫ر‬‫دا‬ ‫یادی‬‫ز‬ ‫بسیار‬ ‫تاثیر‬ ‫پوشش‬ ‫کیفیت‬ ‫در‬ ‫آنها‬ ‫ی‬ ‫ه‬‫ز‬‫اندا‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫دانه‬ ‫این‬ ‫ساختار‬.
‫ا‬‫ا‬ ‫عن‬ ‫دو‬ ‫ان‬‫ا‬‫ی‬‫ا‬ ‫انش‬‫ا‬‫ک‬‫وا‬ ‫ال‬‫ا‬‫ی‬‫تما‬ ‫و‬ ‫ن‬‫ژ‬‫ارو‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬ ‫اق‬‫ا‬‫ی‬‫ر‬‫تز‬ ‫ارو‬‫ا‬‫ن‬ ‫اه‬‫ا‬‫ب‬ ‫ات‬‫ر‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬ ‫و‬ ‫اانیم‬‫ا‬‫ت‬‫تی‬ ‫ی‬‫اتوکیومتر‬‫ا‬‫س‬‫ا‬ ‫ابت‬‫ا‬‫س‬‫ن‬‫اه‬‫ا‬‫ب‬ ‫ات‬‫ا‬‫س‬‫ا‬ ‫اته‬‫ا‬‫س‬‫واب‬ ‫ر‬
‫اش‬‫ش‬‫پو‬ ‫اب‬‫ن‬‫ر‬ ‫آن‬ ‫اردن‬‫ک‬ ‫ام‬‫ک‬ ‫اا‬‫ب‬ ‫و‬ ‫ی‬ ‫ا‬‫م‬‫م‬ ‫اب‬‫ن‬‫ر‬ ‫اه‬‫ب‬ ‫اش‬‫ش‬‫پو‬ ‫اب‬‫ن‬‫ر‬ ‫ن‬‫ژ‬‫ارو‬‫ت‬‫نی‬ ‫اق‬‫ی‬‫ر‬‫تز‬ ‫ارو‬‫ن‬ ‫ایش‬‫ز‬‫ا‬‫ف‬‫ا‬ ‫اا‬‫ب‬ ‫ای‬‫ل‬‫ک‬ ‫ر‬‫طو‬‫اره‬‫ق‬‫ن‬ ‫اب‬‫ن‬‫ر‬ ‫اه‬‫ب‬
‫و‬ ‫اانیم‬‫ت‬‫تی‬ ‫نسبت‬ ‫که‬ ‫است‬ ‫این‬ ‫ات‬‫ر‬‫نیت‬ ‫تیتانیم‬ ‫پوشش‬ ‫ای‬‫ر‬‫ب‬ ‫صحیح‬ ‫ساختار‬ ‫ولی‬ ‫آید‬ ‫می‬ ‫در‬ ‫ای‬‫اک‬‫ی‬ ‫اه‬‫ب‬ ‫اک‬‫ی‬ ‫ات‬‫ر‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬
‫است‬ ‫کلرید‬ ‫سدیم‬ ‫تمند‬‫ر‬‫قد‬ ‫بسیار‬ ‫کریستالی‬ ‫ساختار‬ ‫به‬ ‫شبیه‬ ‫ساختار‬ ‫این‬ ‫که‬ ‫باشد‬.

10. ‫پوشش‬‫خواص‬ ‫بر‬ ‫دما‬ ‫امتر‬‫ر‬‫پا‬ ‫تاثیر‬:
‫اج‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫ر‬ ‫در‬ ‫اوال‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫مع‬ ‫دی‬ ‫ی‬‫و‬‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫ادی‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫آی‬‫ر‬‫ف‬200‫اا‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬700‫اایی‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫د‬ ‫اج‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫ر‬ ‫در‬ ‫اود‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬ ‫اام‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫ان‬‫اد‬‫ر‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫گ‬ ‫اانتی‬‫ا‬‫ا‬‫س‬ ‫ی‬‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫ر‬‫د‬
200‫اای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫د‬ ‫در‬ ‫و‬‫اد‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫آ‬‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬ ‫در‬ ‫ایده‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫ک‬ ‫اایی‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫دا‬ ‫ت‬‫ر‬‫او‬‫ا‬‫ا‬‫ص‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬‫ات‬‫ر‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬‫اانیم‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫تی‬‫ااختار‬‫ا‬‫ا‬‫س‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫ر‬‫د‬400‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫ر‬‫د‬
‫اایی‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫د‬ ‫اج‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫ر‬ ‫در‬ ‫و‬‫ات‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ا‬‫ات‬‫ا‬‫ا‬‫خ‬‫یکنوا‬‫و‬‫اتالی‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫کری‬ ‫اامال‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬‫ت‬‫ر‬‫او‬‫ا‬‫ا‬‫ص‬ ‫به‬‫ر‬‫ااختا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬700‫ت‬‫ر‬‫او‬‫ا‬‫ا‬‫ص‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬‫اددا‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫م‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ج‬‫ر‬‫د‬
‫ا‬‫م‬‫ه‬ ‫دی‬ ‫ی‬‫و‬‫ای‬‫ی‬‫اد‬‫ن‬‫ای‬‫ر‬‫ف‬‫اام‬‫ج‬‫ان‬‫ای‬‫ر‬‫ا‬‫ب‬‫دما‬ ‫بهترین‬‫این‬‫ر‬‫بناب‬‫اید‬‫می‬ ‫در‬ ‫یکنواخت‬ ‫وغیر‬ ‫سطونی‬‫اای‬‫م‬‫د‬ ‫ان‬400
‫میباشد‬ ‫جه‬‫ر‬‫د‬.
‫اانیک‬‫ا‬‫ک‬‫م‬ ‫اواص‬‫ا‬‫خ‬‫در‬ ‫ی‬‫ااثیر‬‫ا‬‫ت‬‫اود‬‫ا‬‫ش‬ ‫ای‬‫ا‬‫م‬ ‫اام‬‫ا‬‫ج‬‫ان‬‫اایین‬‫ا‬‫پ‬‫اایی‬‫ا‬‫م‬‫د‬ ‫اج‬‫ا‬‫ن‬‫ر‬ ‫در‬ ‫دی‬ ‫ی‬‫و‬‫ای‬‫ا‬‫ی‬‫اد‬‫ا‬‫ن‬‫آی‬‫ر‬‫ف‬‫اه‬‫ا‬‫ک‬ ‫اا‬‫ا‬‫ج‬‫آن‬‫از‬‫اه‬‫ا‬‫ی‬‫ال‬ ‫ار‬‫ا‬‫ی‬‫ز‬ ‫ی‬
‫گردد‬ ‫اعمال‬ ‫ار‬‫ز‬‫اب‬ ‫ی‬‫و‬‫ر‬ ‫مجددا‬ ‫ی‬‫کار‬‫سخت‬ ‫عملیات‬ ‫نیست‬ ‫م‬‫ز‬‫ال‬ ‫و‬ ‫کند‬ ‫نمی‬‫ایجاد‬.

11. ‫پوشش‬‫خواص‬ ‫بر‬ ‫ن‬‫ژ‬‫نیترو‬ ‫یق‬‫ر‬‫تز‬ ‫نرو‬ ‫تاثیر‬
1-‫دهی‬ ‫سوب‬‫ر‬ ‫نرخ‬ ‫در‬ ‫تاثیر‬
‫د‬ ‫اوب‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ر‬ ‫ارو‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬ ‫اود‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫م‬ ‫ااهده‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫م‬ ‫اک‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬ ‫اکل‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫در‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬ ‫ر‬‫اانطو‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫ه‬ ،‫ن‬‫ژ‬‫ارو‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬ ‫ااز‬‫ا‬‫ا‬‫گ‬ ‫اق‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫ر‬‫تز‬ ‫اف‬‫ا‬‫ا‬‫ل‬‫مخت‬ ‫اای‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬‫د‬ ‫در‬‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬
‫شد‬ ‫نخواهد‬ ‫بیشتر‬ ‫دهی‬ ‫سوب‬‫ر‬ ‫ن‬‫ژ‬‫نیترو‬ ‫دبی‬ ‫کردن‬ ‫یاد‬‫ز‬ ‫با‬ ‫اما‬‫ز‬‫ال‬ ‫و‬ ‫بود‬ ‫خواهد‬ ‫مختلف‬.
‫شکل‬1

12. 2-‫چسپندگی‬ ‫در‬ ‫تاثیر‬
‫در‬ ‫و‬ ‫ن‬‫ژ‬‫ارو‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫نی‬ ‫اق‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫ر‬‫تز‬ ‫اف‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ل‬‫مخت‬‫اای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬ ‫ارو‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬ ‫در‬ ‫اود‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫ااهده‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫م‬‫اک‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬ ‫اکل‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫در‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬‫ر‬‫اانطو‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫ه‬
‫د‬ ‫از‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬‫ات‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ا‬ ‫اده‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬ ‫ال‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ص‬‫حا‬ ‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ف‬‫مختل‬ ‫اپندگی‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫چ‬ ‫ان‬‫ز‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ی‬‫م‬ ‫اف‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ل‬‫مخت‬‫اای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬ ‫ااژ‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ت‬‫ول‬ ‫اتالف‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫خ‬‫ا‬‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬
‫چسبندگ‬ ‫در‬ ‫ی‬‫تاثیر‬ ‫دبی‬ ‫نغییر‬ ‫دیگر‬ ‫بیشتر‬ ‫دقیقه‬ ‫بر‬ ‫لیتر‬ ‫میلی‬‫هشتاد‬‫د‬‫ر‬‫ندا‬ ‫ی‬.
‫یک‬ ‫شکل‬

13. 3-‫پوشش‬ ‫سختی‬ ‫در‬ ‫تاثیر‬
‫و‬‫ر‬ ‫بر‬ ‫ا‬‫ر‬ ‫دبی‬‫ات‬‫ر‬‫تغیی‬ ‫تاثیر‬ ‫یک‬ ‫شکل‬‫اختی‬‫س‬ ‫ی‬
‫ااهده‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫م‬‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬‫ر‬‫اانطو‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫ه‬‫اد‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ه‬‫د‬‫ای‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫م‬‫اان‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ش‬‫ن‬
‫د‬ ‫ایی‬‫ز‬‫ا‬‫س‬ ‫اه‬‫ب‬ ‫ااثیر‬‫ت‬ ‫ن‬‫ژ‬‫ارو‬‫ت‬‫نی‬ ‫ااز‬‫گ‬ ‫میشود‬‫ان‬‫ز‬‫ا‬‫ی‬‫م‬ ‫ر‬
‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ل‬‫می‬‫ی‬ ‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫اج‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ن‬‫ر‬ ‫از‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ک‬‫ی‬‫ر‬‫او‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ط‬ ‫اه‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫ب‬ ‫د‬‫ر‬‫دا‬‫اختی‬‫ا‬‫ا‬‫ا‬‫س‬‫ی‬
‫بس‬ ‫تغییر‬ ‫یک‬ ‫بعد‬ ‫به‬ ‫دقیقه‬ ‫بر‬ ‫لیتر‬‫اادی‬‫ی‬‫ز‬‫یار‬
‫شود‬ ‫می‬ ‫ایجاد‬ ‫پوشش‬ ‫سختی‬ ‫در‬.
‫شکل‬1

14. 4-‫تیتانیم‬ ‫و‬ ‫ن‬‫ژ‬‫نیترو‬ ‫نسبت‬ ‫بر‬ ‫ن‬‫ژ‬‫نیترو‬ ‫دبی‬ ‫تاثیر‬
‫شود‬ ‫می‬ ‫مالحظه‬ ‫شکل‬‫در‬ ‫که‬‫ر‬‫همانطو‬
‫ای‬‫ز‬‫اف‬‫با‬ ‫تیتانیم‬ ‫به‬ ‫ن‬‫ژ‬‫نیترو‬ ‫نسبت‬‫دبی‬ ‫ش‬
‫شود‬ ‫می‬ ‫بیشتر‬ ‫ن‬‫ژ‬‫تیترو‬.