薄膜製程與實務 Introduction 2007

薄膜製程與實務張銀祐 [email_address] 2007/02

教學目標 ,[object Object],[object Object]

課程大綱 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

上課教材 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

薄膜科技與應用（全華書局） ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

課程進度工廠參觀第一週表面工程技術與薄膜製程簡介第二週物質表面特性與真空技術第三週真空系統與真空量測第四週真空計與真空量測 / 真空洩漏量測與實務第五週什麼是電漿 ? 電漿物理化學第六週電漿光譜量測實務第七週電漿光譜量測實務 – 如何解析光譜第八週薄膜怎麼長出來 ? 薄膜生長機制與薄膜製程第九週期中考第十週化學氣相沈積第十一週物理氣相沈積與濺射鍍膜技術第十二週陰極電弧沈積技術與實務 -1- 原理與系統第十三週陰極電弧沈積技術與實務 -2- 硬質鍍膜第十四週陰極電弧沈積技術與實務 -3- 鍍膜設計第十五週薄膜性質檢測與實務 - 工廠實務第十六週薄膜性質檢測與實務 - 進階量測分析第十七週應用分析案例討論第十八週期末考教學進度

分組報告與討論 ,[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

硬質薄膜材料在機械工業之應用 ,[object Object]

薄膜技術與材料在民生工業之應用 ,[object Object]

薄膜技術與材料在能源工業之應用 ,[object Object],燃料電池太陽能電池

薄膜技術與材料在光電工業之應用 ,[object Object],Metal cathode ITO Organic emitter ITO anode Substrate ITO Light 2-10V DC

薄膜技術與材料在生醫領域之應用 ,[object Object],Bioreceptors Transducers Amplifiers Microelectronics

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