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光電業標準公聽會(99年10月)by環保署
- 2. 內容大綱
壹、緣起
貳、歷年調查情形及管制現況
參、修正重點及必要性
一、水污法事業分類及定義 - 重點說明
二、放流水標準 - 重點說明
肆、可行性評估
伍、後續工作及結語
2
- 3. 壹、緣起
現行水污法係於「其他工業」管制光電業製程,其
放流水標準需符合 pH 、重金屬、陰離子、化學需氧
量等項目。
本次修法考量光電業產業廢水具有潛在危害健康及
污染特性,基於污染預防及風險管理,將光電業自
「其他工業」獨立管制,並增訂放流水標準特殊重
金屬及生物急毒性等項目,加強管制。
另科學工業園區污水下水道系統,收納區內高科技
產業各類廢水,其廢水特性複雜、總排放量較大,
對環境影響不容小覷,故放流水亦一併適用管制。
3
- 4. 貳、歷年調查情形與管制現況
光電業分布
光電業總家數為 159 家,多半
為納管廠商,集中於新竹、中
部與南部三座科學園區
自行排放之廠商計有 25 家,
主要集中於桃園縣
其他
(3
太陽能電池 家)
(2
家)
發光二極體
(2
偏光板 面板
家) 彩色濾光片
(3 (2 (13
家) 家) 家)
4 25 家自行排放廠商分類
- 5. 貳、歷年調查情形與管制現況
光電業放流水水質概況
項目 TFT-LCD 面板 發光二極體 太陽能電池 彩色濾光片 偏光板
氨氮 (mg/L) 0.1~17.1 0.99~78.6 15~18.6 0.05~6.52 0.05
正磷酸鹽 (mg/L) 0.118~35.3 0.112~0.334 0.021~0.142 0.008~0.442 0.189
銦 (mg/L) 0.00078~0.0213 0.00006~0.00012 0.0001~0.0024 0.0001~0.00022 0.00022
鎵 (mg/L) ND~0.0011 0.0209~0.059 0.0041~0.0189 0.00268~0.00742 0.00374
鉬 (mg/L) 0.0659~0.260 0.00108~0.018 非製程化學品 0.00133~0.00219 0.00094
總毒性有機物 (TTO) (mg/L) <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
PFOS (mg/L) ND ND 非製程化學品 ND ND
PFOA (mg/L) ND ND 非製程化學品 117×10-6 ND
~326×10-6 ~244×10-6
丙酮 0.290~1.46 4.9~7.18 0.153~0.159 0.052~0.057 ND
異丙醇 1.57~8.41 ND~5.46 ND~0.230 ND~0.426 ND
製程
化學品 氫氧化四甲基銨 ND~7.86 ND 非製程化學品 ND ND
(mg/L)
光阻劑 PGMEA 濃度數量級為 濃度數量級為 濃度數量級為
去光阻劑 DMSO 10 至 10 或低 10 至 10 或低 非製程化學品 10-3 至 10-2 或低
-3 -2 -3 -2
ND
等 於 MDL 於 MDL 於 MDL
鯉魚: <1
水蚤: 1.28 水蚤: <1 鯉魚: 水蚤: <1 ~1.25 水蚤: <1
生物急毒性 TUa ~7.14
米蝦: <1 ~ 米蝦: <1 <1~4.55 米蝦: <1 米蝦: <1
2.63
5
註:環保署水保處 2007 ~ 2010 年研究計畫調查
- 6. 貳、歷年調查情形與管制現況
產業廢水特性
污染特性 說明
氮主要來自二氧化矽蝕刻液的氟化銨、顯
含氮類污染物 影劑和氨水等,多為氨氮型式
( 濃度數量級為 0.01 至 100 mg/L)
包括銦、鉬、鎵、錫、鈦、鋁等元素 ( 濃
含微量的未管制重金屬
度數量級為 0.001 至 0.1 mg/L)
不易回收之製程化學品 包括異丙醇、丙酮和氫氧化四甲基銨
(TMAH) 等 ( 濃度數量級為 0.1 至 10 mg/
可能隨清洗進入放流水 L)
具輕微生物急毒性 生物急毒性 (TUa) 一般從 1 至 3 不等
6
- 7. 貳、歷年調查情形與管制現況
國外相關管制現況
國家 管制方式 相關管制項目
水污染防治法之放流水標準規範 pH 、重金屬、陰離子
依事業別管制
、化學需氧量等項目
台灣 (光電業目前歸屬
環評針對大型開發案已進行氮、磷、特殊污染物 ( 銦、
於「其他工業」)
鎵、鉬和總毒性有機物 ) 和生物急毒性加嚴管理
一般管制項目包含砷、銅、鉻等 13 種重金屬,及總氮
中華
、總磷、氨氮和氟離子等,並有單位產品基準排水量管
人民
依事業別管制 制
共和
註:已擬定「平板顯示器、電真空和光電子器件」徵求意見稿
國
( 尚未施行)
訂於排放許可中,要求生物全毒性,包括慢毒性及急毒
性,測試生物如魚、蝦、水蚤等。
美國 依事業別管制
電子晶體與半導體元件製造業訂有總有毒有機物 (TTO)
限值。
日本 不分事業別管制 98 年起開始評估全放流水毒性管制的可行性,尚未施行
100 年起施行放流水水蚤急毒性測試,限値為 1 或 2 ,
韓國 不分事業別管制
工業區污水下水道系統限值為 1 。
7
- 8. 參、修正重點及必要性
針對事業廢水特性、國內歷年調查成果、環評管制
現況及國際管制趨勢及管制現況,獨立管制並訂定
管制項目與限值。
自排事業及園區高科技重鎮均予管制。
管制項目及限值考量
無機污染物 有機污染物
銦、鎵、鉬、鈦、錫、 丙酮、異丙醇、 TMAH 、
鋁、氯離子、硫酸根 DMSO 和 PGMEA 等
產業特有物種 其他衍生物或微量物質 預防管理
管制銦、鎵和鉬 管制總毒性有機物
(TTO)
管制生物急毒性
8
- 9. 參、修正重點及必要性
管制項目及限值考量
項目 限值 管制限值訂定之考量
參考既有環評規範、美國管制限值及歷年水質檢
測結果
總毒性有機物
1.37 美國「電子晶體與半導體元件製造業」之 TTO
TTO
管制值為 1.37 mg/L ( 為 30 種毒性有機物之濃度
總和 )
銦 0.1
屬於事業特殊重金屬,目前國外未有管制值
鉬 0.6 參考既有環評規範、歷年水質檢測結果和廢水處
理效能
鎵 0.1
參考國外管制限值、承受水體稀釋能力、歷年水
質檢測結果和廠家廢水處理效能
生物急毒性 韓國: 一般水體為 2 ( 水蚤 ) ,乾淨水體為 1
1.43
TUa ( 水蚤 ) ,工業區污水下水道為 1 ( 水蚤 )
德國: 2 ( 魚卵 )
美國加州: 1.43 ( 最敏感物種 )
9
- 10. 一、 水污法事業分類及定義 - 重點說明
將「其他工業」的光電材料及元件製造業獨立出來,增訂
為「光電材料及元件製造業」
修正規定 現行規定
業別 定義 業別 定義
51. 其他工 (11)……. 51. 其他工 (11)…….
業 (12) 其他電子零組件製造業: 業 (12) 其他電子零組件製造
從事晶圓製造及半導體製造業 業:從事晶圓製造及半導
、印刷電路板製造業、被動電 體製造業、印刷電路板製
子元件製造業、光電材料及元 造業、被動電子元件製造
件製造業以外,電子零組件製 業、以外,電子零組件製
造之事業。 造之事業。
(13)… (13)…
58. 光電材 (1) 從事液晶面板及其組件製造
料及元件 (2) 其他光電材料及元件製造業
製造業
10
- 11. 一、 水污法事業分類及定義 - 重點說明
58. 光電材料及元件製造業
定義 管制範疇 非管制範疇
偏光板、彩色濾光片、背光模組
(1) 從事液晶 液晶顯示器 (TFT-LCD) 、真空螢光顯 玻璃基板、氧化銦錫、液晶、驅動
示器 (VFD) 、場發射顯示器 IC 、產品組裝、影視、資訊、通
面板及其
(FED) 、發光二極體顯示幕 (LED 信、儀表、消費等應用
組件製造 Display) 、電漿顯示器 (PDP) 、有機
電激發光顯示器 (OLED)
(2) 其他光電
發光二極體晶粒製造、太陽能電池製 磊晶片、 LED 模組與應用
材料及元 造
矽晶圓、太陽能模組與應用
件製造業
液晶面板及組件 光電材料及元件
玻璃基板、氧化銦錫、液晶、 驅動 IC 發光二極體 太陽能電池
材料 、背光模組、偏光板、彩色濾光片
磊晶片 矽晶圓
液晶顯示器 (TFT-LCD) 、真空螢光
顯示器 (VFD) 、場發射顯示器
面板 (FED) 、發光二極體顯示幕 (LED
Display) 、電漿顯示器 (PDP) 、有機 晶粒
太陽能電池
電激發光顯示器 (OLED)
應用 LED 模組 太陽能模組 /
產品組裝、影視、資訊、通信、儀表 與應用
11 、消費等應用 應用
- 12. 二、放流水標準 - 重點說明
管制項目與限值
「石油化學專區以
類別
光電材料及元 外之工業區」內
管制項目
件製造業 之
科學工業園區
生化需氧量 30 平均值及最大限值,
化學需氧量 100 依原規定期程辦理。
懸浮固體 30
真色色度 550
總毒性有機物 1.37 1.37
TTO
銦 0.1 0.1 新增項目,給
予因應緩衝期
鎵 0.1 0.1 ,自 101 年 1
鉬 0.6 0.6 月 1 日起施行
。
生物急毒性 TUa 1.43 (監視值) 1.43 (監視值)
註: [1] 真色色度和生物急毒性 TUa 無單位
[2] 生物急毒性 TUa 高於管制限值時,業者須加強監測
12
- 13. 二、放流水標準 - 重點說明
生物急毒性 TUa 為「半數致死濃度 」 ( 造成一半測試物種死亡的水樣
濃度, Lethal Concentration 50% ,簡稱 LC50) 之倒數
測試
方法 測試物種 評估指標
時間
半數致死濃度 (LC50)
水蚤第二觸角、胸腳及後
水蚤靜水式法 水蚤 48 小
(NIEA B901.12B) Daphnia similis 時 腹部等器官或部位,有明
顯不活動,並經過輕敲燒
杯亦無反應
半數致死濃度 (LC50)
米蝦靜水式法 多齒新米蝦 48 小 觸、鬚及鰓的活動停止;
(NIEA B905.11B) Neocaridina denticulata 時 蝦體已翻倒,經細玻璃棒
輕觸沒反應
羅漢魚靜水式法 羅漢魚
(NIEA B902.11B) (Pseudorasbora parva 半數致死濃度 (LC50)
96 小
時 鰭及鰓的活動停止;玻璃
鯉魚靜水式法 鯉魚
棒輕觸沒反應
(NIEA 904.11B) Cyprinus carpio
13
- 14. 二、放流水標準 - 重點說明
增訂「放流水標準」第 4 條之 1
環保機關稽查 環保機關執行稽查時,得選定鯉魚、
羅漢魚擇一及水蚤、米蝦擇一進行兩
任一測試結果 TUa 大於 1.43 種生物檢測
是
業者應就鯉魚、羅漢魚擇一及水蚤、
米蝦擇一進行兩種生物檢測
第一階段
加強監測 業者加強監測 (2 週 1 次,持續 12
( 業者舉證 週 ) ,並提送檢測報告
)
指水樣之兩物種測試結果 TUa 均大於
3 次水樣 TUa 大於 1.43
1.43
是
第二階段
裁罰並要求業者限期改善
依水污法第 ( 辦理毒性鑑定評估 TIE 和毒性減量評估
40 條裁罰 TRE ,並提送改善評估報告 )
,並給予限
期改善期限 是否改善完成
是
14 解除列管
- 15. 二、放流水標準 - 重點說明 TUa 範例說明
環保主管機關稽查
範例 鯉魚或羅漢魚擇一 水蚤或米蝦擇一 判定
狀況 1 鯉魚 <1 水蚤 1.1 符合
狀況 2 羅漢魚 1.43 水蚤 <1 符合
狀況 3 鯉魚 <1 米蝦 1.44 要求業者加強監測
狀況 4 羅漢魚 2.5 米蝦 8 要求業者加強監測
業者加強監測 狀況一 狀況二
時間 鯉魚 水蚤 判定 時間 鯉魚 水蚤 判定
0~2 週 1.6 8 超標 0~2 週 <1 8 符合
2~4 週 1.44 2 超標 2~4 週 1.1 1.43 符合
4~6 週 1.1 1.4 符合 4~6 週 1.4 1.2 符合
6~8 週 1.1 1.43 符合 6~8 週 1.3 3 符合
8~10 週 4 1.45 超標 8~10 週 1.0 2 符合
10~12 週 1.5 <1 符合 10~12 週 <1 1.5 符合
狀況二雖然不處分,但是業者仍應改
15
狀況一 將予處分,並要求限期改善 善水質,降低對水蚤影響
- 16. 二、放流水標準 - 重點說明
總毒性有機物 TTO (30 項 )
類 英文名稱 中文名稱 CAS 類 英文名稱 中文名稱 CAS
別 No. 別 No.
1,2-dichlorobenzene 1,2- 二氯苯 95-50-1 2-Chlorophenol 鄰氯酚 95-57-8
1,3-dichlorobenzene 1,3- 二氯苯 541-73-1 2,4-Dichlorophenol 2,4- 二氯酚 120-83-2
苯 1,4-dichlorobenzene 1,4- 二氯苯 106-46-7 4-Nitrophenol 4- 硝基苯酚 100-02-7
類 1,2,4-trichlorobenzene 1,2,4- 三氯苯 120-82-1
酚 Pentachlorophenol 五氯酚 87-86-5
類
Toluene 甲苯 108-88-3 2-Nitrophenol 2- 硝基酚 88-75-5
Ethylbenzene 乙苯 100-41-4 Phenol 酚 108-95-2
Chloroform 三氯甲烷 67-66-3 2,4,6-Trichlorophenol 2,4,6- 三氯酚 88-06-2
1,2-dichloroethane 1,2- 二氯乙烷 107-06-2 Bis(2- 鄰苯二甲酸二 (2- 乙己 117-81-7
ethylhexyl)phthalate 基) 酯
酯
烷 Methylene chloride 二氯甲烷 75-09-2 類 Di-n-butylphthalate 鄰苯二甲酸二正丁酯 84-74-2
類 1,1,1-trichloroethane
1,1,1- 三氯乙
烷 71-55-6 Butylbenzylphthalate 鄰苯二甲酸丁基苯甲 85-68-7
酯
1,1,2-trichloroethane 1,1,2- 三氯乙 79-00-5 Anthracene 蒽 120-12-7
烷
Dichlorobromomethane 二氯溴甲烷 75-27-4 1,2-Diphenylhydrazine 1,2- 二苯基聯胺 122-66-7
其
四氯乙烯 異佛樂酮
Tetrachloroethylene 127-18-4
他 Isophorone 78-59-1
烯 Trichloroethylene 三氯乙烯 79-01-6 Carbon tetrachloride 四氯化碳 56-23-5
類
16 1,1-dichloroethylene 1,1- 二氯乙烯 75-35-4 Naphthalene 萘 91-20-3
- 17. 肆、可行性評估
草案限値之達成率評估
可行性 重金屬 (mg/L) 總毒性有機物
生物急毒性
評估 ( 銦、鎵、鉬 ) (mg/L)
銦: 0.1
草案限值 鎵: 0.1 1.37 1.43
鉬: 0.6
銦:
鯉魚: <1 ~ 4.55
本署歷年研究計 0.00006~0.0213
畫調查結果 < 0.1 水蚤: <1 ~ 7.14
鎵: ND~0.059
米蝦: <1 ~ 2.63
鉬: 0.00094~0.260
銦: ND~0.0147 鯉魚: <1
99 年度示範
鎵: ND~0.00228 ND~0.00246 水蚤: <1 ~ 3.82
計畫調查結果
鉬: 0.0217~0.597 米蝦: <1
17
- 18. 肆、可行性評估
檢測及廢水改善技術可行評估
可行性 重金屬
總毒性有機物 生物急毒性
評估 ( 銦、鎵、鉬 )
檢測方法 公告方法 公告方法 [1]
公告方法
及認證 認證 認證 ?認證[2]
回收製程高濃度蝕 加強高濃度有機溶 加強高濃度有機溶劑
刻液中之重金屬 劑回收及源頭減量 回收及源頭減量
改善作法 分流含重金屬廢水 增加生物處理停留 釐清廢水毒性來源,
,增設化學混凝 - 時間或於末端增設 進行毒性鑑定和減量
沉澱 - 過濾單元處 有機物吸附單元 評估
理
註: [1] 本署環檢所已規劃將 1,2-diphenylhydrazine(1,2- 二苯基
聯胺 ) 增列於半揮發性有機物 (SVOC) 標準檢測方法
目標化合物。
[2] 本署環檢所已於 10 月 5 日行文各檢測機構公告急毒性
18 許可證申請事宜。
- 21. 化學品使用情形
毒性減量評估 廠內管理狀況
製程單元程序
廢水進出流監測數據
確認毒性減量評估目標
蒐集資料與數據
改善廠內管理 替代化學品使用 調整製程程序
毒性是否降低
是 否
追蹤並確認 毒性鑑定評估
毒性減量方法評估
選擇方案與執行
21