本文件讨论辉光放电发射光谱分析的校准过程，包括建立校准工作曲线、标准化及最小校准。校准是确保分析准确性的关键，涉及多项气体和环境变量的控制。尽管再校准技术能减小仪器状态变化带来的漂移，但仍需注意其局限性与选样要求。

1. 关于辉光放电发射光谱分析校准的探讨 温州市工业科学研究院 张加民 蔡延奔

2. 校准的定义 所谓校准就是仪器在一定的工作条件下，对一系列已知成分的标准样品进行检测，测得元素特征谱线强度与其在样品中的浓度之间的对应关系，经过回归计算得到校准工作曲线，然后利用这条校准工作曲线，根据对待测样品所测得的元素谱线强度来确定其在样品中的浓度

3. 辉光放电发射光谱分析校准主要包括以下三个过程： 建立校准工作曲线 ; 校准工作曲线的标准化也称为再校准（ recalibration ） 最小校准 (minicalibration)

4. 建立校准工作曲线： 一、建立校准工作曲线 1 、选择标准样品

5. 标准样品选择原则： 2 、 标准样品的浓度覆盖范围要能满足实际待检测样品可能达到的范围要求 3 、 每个元素的数据点最少需六个以上 1 、选用有证标准物质，最好 CRM ；

6. 需要增加标准样品数量 ： 2 、 当元素含量覆盖范围很宽时； 3 、 当校准工作曲线线性不好时（如二次曲线或更高级次）； 1 、 当标准样品中含有较高的干扰谱线比较丰富的元素时（如 Co 、 Mo 、 W 等）；

7. RF 光源的辉光放电发射光谱仪主要有以下几个重要的光源参数： 氩气压力 RF 源设置功率 匹配器的两个初始值 Module 和 Phase 阳极直径 氩气吹扫时间 预积分时间 积分时间等

8. 光学系统工作条件 光电倍增管的灵敏度 光学系统填充的氮气纯度 透镜的清洁度

9. 环境条件： 室温 湿度 无强光照射 振动 无尘

10. 选择分析模式： 常规模式 (normal) 虚模式 (virtual) 100% 模式 溅射率模式 表面模式

11. 选择分析模式： 常规模式 (normal)

12. 选择分析模式： 虚模式 (Virtual)

13. 选择分析模式： 溅射率模式 (Sputtering rate)

14. 元素谱线的选择 要有较高的灵敏度（以提高检出限）； 信背比要高； 信噪比要高； 谱线干扰少； 自吸收要少； 所需元素成分范围的再现性要好； 痕量气体对光谱发射量的影响小。

15. 标准样品的表面处理 车 磨

16. 标准工作曲线的修正 离线特别远 标准样品的某些缺陷 谱线有干扰 VDC 修正 氢修正

17. 二、校准工作曲线的标准化 （ recalibration) （ 1 ） 光学系统内填充气体（一般是高纯氮气）的纯度出现波动； （ 2 ） 光电倍增管的响应能力减弱； （ 3 ） 透镜严重污染； （ 4 ） 阳极的磨损； （ 5 ） 工作气体氩气的纯度； （ 6 ） 环境温湿度的变化。 校准工作曲线的漂移

18. 校准工作曲线再校准原理：

19. 再校准修正关系式 ： （ 5 ）

20. 工作曲线再校准的优点 : 可以解决绝大部分由于仪器状态变化所造成的工作曲线漂移问题，一般情况经再校准后的工作曲线可以满足正常检测工作； 可以多次重复使用工作曲线，工作曲线出现漂移，也不必重新制作，节省大量工作量、时间和花费。

21. 再校准工作曲线的缺点 : 产生漂移的影响因素对谱线强度成非线性关系时（如氩气压力、光源功率等），使用再校准功能不能得到满意的效果 ； 当工作曲线考虑到强谱线干扰作用时，使用再校准功能可能导致严重错误，因为干扰谱线与分析线的漂移并不一致 ；

22. 再校准工作曲线的缺点 : 当工作曲线覆盖范围较宽时，在实际检测时，仍需控样检查曲线状况，再校准功能不能解决所有问题，尤其是基体比较复杂时 。

23. 再校准标样的选择 : 样品必须十分均匀； 样品要有足够的厚度 ； 数量不能太多。

24. 最小校准 (mini-calibration): 准确性更高，有利于提高检测质量。

25. 最小校准 (mini-calibration): 必须事先知道待检测样品的大致成分范围； 准备数量庞大的标准样品（或已知成分样品），检测成本高； 只能改善与标准样品浓度值附近小范围内数据的正确性； 不能改善测量精度。

26. 结 束 语 校准是辉光放电发射光谱分析最重要，技术含量最高，难度最大的环节 ； 到目前为止，辉光放电光谱分析方法标准仍不多，需要大量的实践积累以及广大用户的共同努力，为辉光事业做出贡献。

27. 谢 谢！