產品介紹-SG-O CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試儀 原文連結：https://enlitechnology.com/zh-hant/home/products/image-sensor/sg-o/ *關於 Enlitech Enlitech 成立於 2009 年 3 月。 核心技術包括人造光源和光譜分析技術。Enlitech 的四大主要產品市場包括圖像傳感器測試解決方案、先進光電探測器測試系統、量子效率測試解決方案和各種光模擬器。 我們的熱門產品有QER 和 SS-X 太陽光模擬器，有興趣歡迎至官網深入了解! https://enlitechnology.com/zh-hant/

1. Enli Technology Co. Ltd.
January 7, 2022
1
產品介紹SG-O：CIS / ALS / 光傳感器晶圓測
試儀
提供您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓級測試中所需的一切。

2. 2
基本介紹
• SG-O 是一款 CIS / ALS / Light-
Sensor 晶圓測試儀，它結合了高度均
勻的光源和半自動晶圓探測器。高度
均勻光源可以提供從 400nm 到
1700nm 的連續白光光譜，以及在許多
不同波長下具有一定 FWHM 的單色光
輸出。探測器可以處理最大。200mm
晶圓尺寸和尺寸大於 1cm x 1cm 的單
芯片。
• SG-O 集成了超低噪音熱卡盤，可提供
-60°C 至 180°C 的溫度範圍，具有快
速的升溫速度和穩定性。SG-O 提供您
在 CIS / ALS / 光傳感器設計驗證或工
藝良率檢查中所需的一切。

3. 3
目錄
 特色
 應用
 系統設計
 規格
 主要表現

4. 可編程自動探測器
• 200mm ~ 10mm 晶圓或芯
片處理能力
• 用於最準確可靠的 DC /
CV、RF 測量
• 穩定的功能顯微鏡系統
• 整合硬件控制面板
• 自動晶圓裝載機
• 智能晶圓映射
寬溫及低噪音卡盤
• 模塊化卡盤
• -80°C 至 180°C 的寬溫度
範圍
• 先進的 CDA 熱控制技術，
高斜坡率和高溫穩定性
• 用於精確 CIS / ALS / 光傳
感器晶圓測試的超低噪聲
4
特色
高度均勻的光源
• 從 UV 到 SWIR 的寬光譜
範圍。
• 超過 50mm x 50mm 區域
的高度均勻性超過 98%
• 超穩定光強度，可維持不
穩定性 < 0.2% 長達 10 小
時以上
• 高光強動態範圍，高達
140dB

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應用
• CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試
• CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查
• ToF 傳感器測試
• 激光雷達傳感器測試
• InGaAs PD 測試
• SPAD 傳感器測試
• 光傳感器模擬參數測試：
1. 量子效率
2. 光譜響應
3. 系統增益
4. 靈敏度
5. 動態範圍
6. 暗電流/噪聲
7. 信噪比
8. 飽和容量
9. 線性誤差（LE）
10. DCNU（暗電流非均勻性）
11. PRNU（光響應非均勻性）

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系統設計
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測試儀（晶圓級）系統圖。
高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導到光學均化器以產生均勻的光束。顯微鏡和均質器由
PC-1 的自動平移台控制，以切換位置和功能。
Prober 系統為 MPI TS2000，由 PC-2 控制。卡盤台的位置也由 PC-2 控制。
熱卡盤溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵蓋了大部分 IC 測試溫度範圍。光強度由一個 Si 光電探測器
和一個 InGaAs 光電探測器通過皮安電流表檢測和校準。

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規格
 高度均勻的光源
 光譜範圍：400nm 至 1700nm
 色溫：3000K 至 5200K
 均勻照明面積：42mm x 25mm，工作距離 >200mm
 照度均勻度：優於98%
 短期光不穩定性：≤ 1% 超過 1 小時
 長期光不穩定性：≤ 1% 超過 10 小時
 DUT與最後一個光學元件之間的工作距離：≥200mm 工作距離
 單色光生成：
 可變衰減器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步
1. 10nm FWHM 中心波長： 420nm, 450nm,
490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm,
670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm
2. 25nm FWHM 中心波長： 1010nm,
1450nm
3. 45±5nm FWHM 中心波長： 815nm
4. 50nm FWHM 的中心波長： 1600nm
5. 60±5nm FWHM 中心波長： 650nm
6. 70±5nm FWHM 的中心波長： 485nm, 555nm
7. 100±5nm FWHM 的中心波長： 1600nm
• 帶外透光率 ≤ 0.01%
• 帶通區峰值傳輸 ≥ 80%
• 中心波長容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤
• FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm

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規格
 半自動晶圓探針
 晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大於 1cm x 1cm 的單芯片
 晶圓處理：單晶圓，手動進料型
 半自動化：一步手動對準教和自動模步進
 XYZ 平台
 卡盤 XY 載物台行程：210mm x 300mm
 卡盤 XY平台分辨率：優於 0.5um
 夾頭 XY 平台精度：優於 2.0um
 卡盤 XY 平台速度：最慢：10 微米/秒，最快：50 毫米/秒
 Chuck Z 載物台行程：50mm
 Chuck Z 載物台行程：50mm
 Chuck Z 平台分辨率：0.2um
 Theta 平台
 Theta 載物台行程：± 5 度運動範圍
 Theta 分辨率：優於 0.01 度
 Theta 精度：0.1 度

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規格
 半自動晶圓探針
 卡盤
 卡盤平整度 ≤ 10um
 卡盤熱操作：-60°C 至 200°C
 25°C 時的卡盤洩漏： 25°C 時在 10V 偏壓下每個電壓 ≤ 20fA
 卡盤剩餘電容 ≤ 95fF
 探針卡
 探針卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸長
 探針卡座與壓板之間的間隙：≥ 7.5mm
 微型腔室
 EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 範圍內 ≥ 30dB
 系統交流噪聲：≤ 5 mVp –p
 微型定位器
 顯微鏡
 隔振台

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規格
 光譜輻照度計
 光譜範圍：400nm 至 1600nm
 波長分辨率：400nm 到 1000nm 增加步長 < 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步長
< 3.5nm
 校準：NIST 可追溯校准證書
 更多規格
• SG-O 集成了 Enlitech 的高級光模擬器技術和 MPI 自動探針系統。Enlitech 提供
多種光學選項以滿足用戶對 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試的要求，包括波長范圍
、光強度和均勻光束尺寸。我們擁有數十年的經驗，可以幫助客戶解決 CIS / ALS
/ 光傳感器晶圓測試和設計變化的挑戰。請隨時與我們聯繫以獲取更多詳細資訊。
我們的專業團隊將為您提供幫助！

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主要表現
SG-O 系統的操作軟件。對於高度均勻光源控制軟件，SG-O 提供光源系統控制和光強測量
。提供了各個光學組件的 Labview 功能調色板、驅動程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移
台以促進照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發送 / 接收命令，例如芯片步進、芯
片對齊 / 探測等。

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主要表現
來自 SG-O 顯微鏡系統的 CIS / ALS / 光傳感器晶片
圖像
CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝
圖

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主要表現
SG-O 的高度均勻光源具有一個超穩定的光引擎, 在整個波長范圍內，短期或長期的
光強不穩定性均優於 0.2%。
圖示在 420nm 單色光輸出下測試光強度短
期不穩定性, 光不穩定性由 Si 輻照度計監測
60 分鐘, 1小時的不穩定性為 0.12%
圖示在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期
不穩定性, 光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計
監測 60 分鐘, 1 小時的不穩定性為 0.09%
圖示在 420nm 單色光輸出下測試光強度短
期不穩定性, 光不穩定性由 Si 輻照度計監測
10 小時, 10 小時的不穩定性為 0.1%
圖示在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期
不穩定性, 光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計
監測 10小時, 10小時不穩定性為 0.06%

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欲了解更多SG-O 的主要表現與下載相關資料，歡迎點擊以下連結：
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