1. Phân loại cấu trúc tinh thể vật rắn
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 1/ 12
Cấu trúc tinh thể 1
SOLID MATERIALS
CRYSTALLINE
TINH THỂ
Single Crystal
Đơn tinh thể
POLYCRYSTALLINE
ĐA TINH THỂ
AMORPHOUS
(Non-crystalline)
VÔ ĐỊNH HÌNH
2. Phân loại cấu trúc tinh thể vật rắn
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 2/ 12
Polycrystal
Polycrystalline
Pyrite form
(Grain)
3. Tế bào đơn vị (Unit Cell)
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 3/ 12
• Tế bào đơn vị (Unit cell) không phải là duy nhất
• Tính chất (property) của một tế bào định nghĩa tính chất của tinh thể
4. Tế bào đơn vị (Unit Cell)
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 4/ 12
Tại sao tam giác xanh không phải là 1 tế bào đơn vị?
5. Các mạng tinh thể lập phương
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 5/ 12
Simple Cubic Body Centered Face Centered
(SC) Cubic (BCC) Cubic (FCC)
6. Các mạng tinh thể
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 6/ 12
7. Mạng tinh thể kim cương
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 7/ 12
9. Tại sao mặt phẳng lại quan trọng?
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 9/ 12
• Real crystals are eventually terminate at a surface
• Semiconductor devices are fabricated at or near a surface
• Many of a single crystal's structural and electronic properties are highly anisotropic
10. Quy trình sản xuất Silicon Wafer
LINH TRAN (HCMUT) SEMICONDUCTOR PHYSICS Chương 2-1 10/ 12
Raw material ― Polysilicon
nuggets purified from sand
Crystal pulling
Si crystal ingot
Slicing into Si wafers using a
diamond saw
Final wafer product after polishing,
cleaning and inspection
A silicon wafer fabricated with
microelectronic circuits
