1. 潔淨室外氣空調箱水洗加濕器 對系統加濕及氣體污染物去除效率之技術探討與研究 主講人：胡石政 博士 日期： 95/11/20 The Investigations Of Humidification And Removal Efficiency For Gas Contamination By Air-washer In Make-up Air Unit

2. 大 綱 一、摘要 二、前言 三、研究背景動機 四、探討氣態分子污染物 (AMC) 之影響 五、實驗設計 六、實驗項目與內容 七、量測結果分析 八、結論與建議 九、未來研究內容

6. 三、研究背景動機 本次研究結合各種最可行分析方法，為重新探討潔淨室外氣空調箱水洗加濕器的構型與去除外氣化學污染物及加濕飽和效率之定量分析，以尋求其合理的設計方式，由實驗分析結果，可以掌握潔淨室外氣品質的控制方式，快速提升產品之良率並降低化學濾網運轉成本，進而增加產業未來之競爭能力。

7. 四、探討氣態分子污染物 (AMC) 之影響 圖 1 近十年半導體製程間距的演進

8. 製程演進與汙染控制的方向 採樣實驗室分析 ; 濾材分析 ; 總胺分析 化學過濾 光阻分解 ; 光學污染 ; 晶圓腐蝕 光學腐蝕 NH 3 , 胺 凝結性有機物 酸性物質 193 nm (ArF) 157 nm (F 2 ) 130 nm 到 90 nm 採樣實驗室分析 ; 濾材分析 ; 總胺分析 化學過濾 光阻分解 ; 光學污染 NH 3 , 胺 凝結性有機物 248 nm (KrF) 193 nm (ArF) 180 nm 到 130 nm 採樣實驗室分析 ; 濾材分析 ; 總胺分析 化學過濾 光阻分解 T-topping, CD shift NH 3 , 胺 248 nm (KrF) 250 nm 到 180 nm 分析技術 控制方法 影響 AMC 曝光波長 製程

9. 五、 實驗設計與方法 單元設備排列順序 1. Combine Filter 2. Electric Heater 3. Cooling Coil 1 st 4.Air Washer + Hydrophilic Eliminator 5. Cooling Coil 2 nd 6. Eliminator 7. Round a Round Coil 8. Fan & Motor Section

11. 外氣空調箱相關構造圖示 外氣空調箱外觀ㄧ覽圖

12. 電子加熱器 進風口與袋式濾網

13. Hydrophilic Eliminator 離水片

14. 離子層析儀 PLC 電盤

15. 六、 實驗項目與內容 實驗項目 實驗內容 實驗 1 探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響 實驗 2 噴嘴配置探討對於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響 實驗 3 Hydrophilic Eliminator 應用 , 探討對於於空氣飽和度及氣態分子污染物之影響 實驗 4 風車段再熱之影響 噴嘴配置 雙排逆噴 雙排對噴 雙排逆噴 雙排對噴 氣水比 0.06 0.06 0.06 0.06 氣水比 0.08 0.08 0.08 0.08 Hydrophilic Eliminator enable enable

16. 實驗現場錄影狀態

17. 七、量測結果分析 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable) ) 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(enable ) Hydrophilic Eliminator 對系統加濕影響分析

18. 1. 由上兩圖中，發現到在氣水比 0.08 、雙排 逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable) 應用時，經過 8 小時量測分析，得知進風相對濕度 RH% 值由 67.5% 至 80.5% 變化，平均值為 71.9% ，出風相對濕度 RH% 值由 93% 至 95% 變化，平均值為 94.8% ，可穩定保持出風相對濕度在 93% 。 2. 在氣水比 0.08 、雙排逆噴、有 Hydrophilic-Eliminator(enable) 應用時，得知進風相對濕度 RH% 值由 59.4% 至 90.7% 變化，平均值為 78.4% ，出風相對濕度 RH% 值由 97% 至 98.6% 變化，平均值為 98.3% ，可穩定保持出風相對濕度在 98% ，經 8 小時運轉測試，平均值增加幅度為 3.6% 。 Hydrophilic Eliminator 對系統加濕影響分析

19. 氣水比對系統加濕影響分析 氣水比 0.0.6 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable) 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator( disable )

21. 風車段再熱性能分析 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(enable) 風車段再熱分析 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator(disable) 風車段再熱分析

23. Hydrophilic Eliminator 對 AMC 影響分析 氣水比 0.08 、雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator (enable 與 disable) 去除效率分析

25. 氣水比對 AMC 去除效率影響分析 雙排逆噴、 Hydrophilic-Eliminator (disable) 氣水比 0.08 與 0.06 去除效率分析

27. 噴管佈置對系統加濕影響分析 氣水比 0.08 、 Hydrophilic-Eliminator (enable) 、雙排逆噴與對噴去除效率分析

31. 報告完畢 敬請指教