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太陽光電供應鏈淺談( 1 )


            太陽光電產業製程與技術
               發展趨勢
                                                    ■劉佳怡 / 工研院 I E K 新興能源研究部產業分析師




           現階段太陽光電產業, 80-90% 主流產品為「結晶矽             多晶矽材透過 CZ 、 FZ 法成為單晶碇,而 CZ 法為普
      太陽電池」。依據製程及成本結構可將供應鏈區分為多晶                  遍的一種方式。其中,CZ法是目前較普遍被使用的方法,
      矽材(Polysilicon Material)、矽晶片(Wafer)、太陽電池   與半導體產業使用一樣,FZ方法利用驅融的方式,產生較
      (Solar Cell)、太陽電池模組(PV Module)與太陽光電系統      高純度且低含氧、成本較高的晶體,價錢也較貴,一般因
      (PV System)等五大項次產業,如圖 1 所示。                太陽電池用的矽晶圓品質要求較低,而較少使用。
           有鑑於太陽光電產業之發展,上下游供應鏈關係密                  多晶矽材的使用上,以半導體產業需求量為多,然自
      切,故本文將依序簡述各項次產業之製程與短期內技術發                  2004後半年,隨著太陽光電的急速發展,及半導體景氣回
      展趨勢,以便讀者能全面性、概括性的瞭解,短期內太陽                  升,導致原料供應不敷需求。然就太陽光電產業而言,普
      光電產業之技術發展趨勢。                               遍被使用之結晶矽太陽電池則包含多晶、單晶太陽電池,
                                                 由於單晶矽純度較高,製造成本較高,相對作為太陽矽晶

      矽原料技術發展                                    體電池所能轉換太陽光能之效率亦較多晶矽高。2004年由
                                                 於太陽光電產業發展剛起步,因此相較於半導體產業對於
           多晶矽材從二氧化矽(Silica)二度提純後的產品,首
                                                 晶圓片之需求較小,加上成本考量,太陽光電所用之晶圓
      先,將二氧化矽置於高溫電弧爐進行還原,成為98%純度
                                                 片多由半導體產業之廢次晶圓和頭尾料再處理所產生。
      之冶金級矽材(mg-Si),而後透過 Trichloro Silane 或
                                                   其中,太陽電池所用的基板 - 矽晶片(Silicon Wafer)
      Mono Silane 的方式,精鍊成為多晶矽,成為高純度之多
                                                 規格的要求是強調低成本,在矽原料取得及規格上與半導
      晶矽材。




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62   CompoTech Asia / 2007.08
圖 1 :「矽晶體」太陽光電產業供應鏈                                                                           體矽晶圓所用矽原料,相對可
                                                                                              接受較低的純度。於製程角度
                                                                                              觀之,以西門子製程所產出之
                                                                                              半導體的多晶矽材,成本約為
                                                                                              25-30 US$/kg ,太陽能級多晶
                                                                                              矽材則為 20-25 US$/kg 。
                                          「矽晶體太陽電池」供應鏈                                            隨著多晶矽材缺料情形日
Polysilicon Material Wafer                Solar Cell      PV Module          PV System        趨嚴重,太陽電池用的多晶矽
                                          各次產業之成本結構
                                                                                              來源,部分來自半導體矽晶圓
電力>40%              Poly-silicon 30-60%   Wafer 60-70%    Cells 60-70%       Model 80-90%
                                                                                              製程時所去除的規格外品及頭
                    Others 40-70%         Pastes 10-20%   EVA 10-15%         Inverter 5-10%
                                                                                              尾料。包括:純化過程的不合
                                          Chemicals <5%   Glass 10-15%       Mount 5-10%
                                          Other 5%        Frame 10-15%       Cables <5%       格品及矽晶拉成後所切下的頭
                                                          Cable, Other <5%                    尾料,利用這些規格外品及廢

圖 2 :太陽電池模組發展藍圖                                                                               料再重融結晶,得到太陽電池
                                                                                              所用的矽晶錠(Silicon Ingot)。
                                                                                              然而,由於矽原料仰賴半導體
                                                                                              產業供應不合格品(Off-Spec),
                                                                                              貨源不穩定,且數量也有限,
                                                                                              限制產業成長。
                                                                                                  因此,為了降低多晶矽材
                                                                                              製造成本,提升產量,多晶矽
                                                                                              材技術的發展上,由冶金開
                                                                                              始,可選擇直接提煉成為太陽
                                                                                              光電級可使用的矽材,稱其為
                                                                                              SOG,成為太陽光電級所需之
                                                                                              矽晶圓;另外,有部分來源,
                                                                                              可由半導體矽晶圓製程中所產
資料來源:The PV Roadmap and The PV Roadmap and Prospects for Silicon Prospects for
     Silicon Technology, Paul Paul Wyers Wyers, ECN Solar Energy               生的廢料,進一步投入於太陽
                                                                                              光電產業來使用。




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表 1 :太陽光電與半導體產業晶圓需求比較                                            1999年日本由川崎製鐵等七家廠
            產 業                 太 陽 光 電 產 業         半 導 體 產 業
                                                                   商聯合組成(SOG)技術發展協會,直接
       需求項目             單晶矽片         多晶矽片     單晶圓
                                                                   由冶金矽精製純化,發展 Solar-Grade
       單 晶 與 多 晶 差 異 P V 成本價格高 P V 成本價格低 普 通 使 用
                                                                   Silicon ,另外 GE Solar 也和 Elkem 策
                        P V 轉換效率高 P V 轉換效率低
       晶圓純度             晶圓純度>0.999999         晶圓純度>0.99999999999   略聯盟開發低成本的 S o l a r - G r a d e
       需求量比較            2004 年產業發展中,需求量小      2004 年產業發展成熟,相對需求大   Silicon ,成本為現有產品的 60-70% 。
                        2 0 0 5 年產業發展快速,需求成   2 0 0 5 年需求成長穩定          隨著技術的發展趨勢, 2005 年
                        長高                                         已有小幅產量出現,由PV Silicon資料
       成本價格             為與市電競爭,成本價格追求         限於晶圓純度需求,產業發展成
                                                                   顯示,針對太陽光電所研發之多晶矽
                        極小化,故來源由半導體產業         熟。追求「單位」成本價格極
                                                                   材(Solar-Grade Silicon),產量由
                        之廢次晶圓和頭尾料再處理,         小化,故不斷需求大尺寸晶圓。
                                                                   2 0 0 5 年起,預期將有顯著提升的趨
                        或太陽能專用矽材。
      圖 3 :太陽電池用矽原料來源                                              勢。預期至 2010 年,半導體產業供應
                                                                   不合格品(Off-Spec)仍維持穩定的比
                                                                   例,而Solar GradeSilicon儼然成為太
                                                                   陽光電主要矽材來源之一。


                                                                   矽晶片技術發展
                                                                       隨著晶體結構的差異,矽晶片可
                                                                   分為「單晶矽矽片」與「多晶矽矽片」
                                                                   兩類,矽晶片之製造過程如圖5所示。
                                                                       矽原料熔融後再利用矽晶種拉晶
                                                                   方式製作成單晶矽晶錠,經切割後就
                                                                   成為「單晶」(Mono-Crystalline)矽晶
                                                                   片。而「多晶」(Multi-Crystalline)矽晶
                                                                   片,則為矽原料熔融後緩慢冷卻凝固
      資料來源:工研院材料所                                                  製作成多晶矽晶錠,經切割後形成。

      圖 4:Solar-Grade Silicon 產量逐漸增加                               簡而言之,單晶棒以提拉方式成形,
                                                                   而多晶碇則以較低溫之鑄凝成形。
                                                                       然隨著矽晶片製造過程中,會有
                                                                   部分材料經由損耗而被浪費。由圖 6
                                                                   可知,以多晶矽片製造過程中,晶碇
                                                                   切塊時,約略損失 30% ,切片時,又
                                                                   將耗損 34% ,而後,進入太陽電池製
                                                                   程後,則進一步耗損4%;因此,整個
                                                                   製程下來,矽材損耗總和為 68% ,比
                                                                   例相當驚人。其中,又以晶棒切割為
                                                                   矽晶圓製成損失最巨。有鑑於此,矽
                                                                   晶片的技術發展趨勢如下所述:
                                                                   1. 良率提升
      資料來源:P V S i l i c o n;工研院材料所                                2. 降低線鋸損失


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圖5                                                   方式,上方擺置鑄造框(Casting frame),當矽材藉由傳輸
                                                     捲軸通過,藉由 Gassing 及 Annealing ,則會成為 300 μ
                                                     m 的矽晶片,排除切塊與切片的程序,如此一來,矽材使
                                                     用率則會提升至 90% 左右。
                                                           在SR的製程方面,為了避免矽材耗損,其則運用設
                                                     備(String Ribbon Production Furnaces),使矽材於融化
                                                     爐中成為液態,藉由 Solid-Melt Interface 介面,直接由熔
                                                     融矽原料拉出帶狀的多晶矽晶片。而 E F G 則運用 E F G
                                                     Custom Equipment ,將矽材製作成八方體空心型態,再
                                                     切割成為一片片的矽晶片。而上述三種技術之速度、生產
                                                     力及熔爐等特性如表 2 所示。
                                                           總結上文所述,多晶矽材目前發展方向,主要提升其
3. Wafer 變薄•(300 μ m 至 150 μ m)                      生產效益。現階段,有鑑於多晶矽材價格昂貴,矽晶片的
4. Slurry 用量減少,及提升再利用效率                              製造技術發展上,則以強化多晶矽材的使用效率為主。
5. 量產大尺寸晶片                                                 下篇,則將進一步簡述「太陽電池」、「太陽電池模
6. 降低缺陷密度                                            組」與「太陽光電系統」之製程與技術發展趨勢。
7. 提高載子壽命                                            表 2:矽 ribbon 生產技術
     技術發展上,將朝向(1)矽晶片薄化、(2)減少矽材消                      Material   Pull Speed   Throughput      Furnacess
耗損失、(3)回收再利用技術,及(4)低製造成本、高效率技                                   (cm/min)     (Cm2/min)       (per 100MW)
術。為減少矽材消耗的損失,製程技術上則發展出 S R                           EFG         1.7         165             100

(String Ribbon)、EFG(Edge defined Film-fed Growth),   SR         1-2          5-16            1175
                                                     RGS        600          7500            2-3
及 Ribbon-Growth-on-Substrate Silicon Wafer casting
                                                     資料來源:The PV Roadmap and The PV Roadmap and
Technology (RGS)三種方式。其中,RGS由於切塊/切片                        Prospects for Silicon Prospects for Silicon
耗損的比例很高,因此, RGS 則運用 Ribbon 捲軸傳遞的                          Technology, Paul Paul Wyers Wyers, ECN Solar
                                                          Energy

圖 6 :太陽電池用矽晶片製造過程與製造設備




資料來源:工研院材料所;工研院 I E K


                                                                                         2007.08/ 電子與電腦    65
太陽光電供應鏈淺談( 2 )


                          太陽電池技術發展
      劉佳怡 / 工研院 I E K 新興能源研究部產業分析師




           接續上篇對於太陽電池所需之上游矽材、矽晶片製程   多數太陽電池主要原料為矽(Silicon , Si),其中又以單晶
      與技術發展趨勢說明後,後續則淺述「太陽電池」之製程      矽(Monocrystalline)、多晶矽(Multicrystalline)及非晶矽
      與短期內之技術發展趨勢。                   (Amorphous)為最多。
                                         單晶矽及多晶矽基本上是以矽晶圓為基礎製作p-n型

      太陽電池的種類                        的太陽電池,屬於結晶矽太陽電池,由於材料缺陷較少,
                                     光電能轉換效率較高,但成本也相對的較高;然就其轉換
           太陽電池的種類,乃藉由不同材料、基板型態與元件
                                     效率而論,結晶矽太陽電池商業化平均轉換效率達16%,
      之交叉搭配而成,如圖 1 所示。
                                     而實驗室之轉換效率則接近25%,簡而言之,就目前太陽
           而大部分歸類上,多以不同材料區隔,如圖2所示,

      圖 1 :太陽電池種類的形成




      資料來源:工研院 I E K


66   CompoTech Asia / 2007.08
電池商業化技術發展,當太陽光被太陽電池所吸收,僅有                                    其中,非晶矽太陽電池,其於便宜的基板上( 如玻
約 16% 轉化成為電能,另外的 84% 則成為毫無用處的熱                          璃、不銹鋼等)沈積一層厚度小於 1 μ m 的非晶矽 p-i-n 型
能。                                                      太陽電池。由於非晶矽具有較廣的光譜吸收能力,在 i 層
     與結晶矽太陽電池不同的元件,則為薄膜型太陽電                             只需要 0.2~0.5 μ的厚度,即可達到 1.1~1.7eV 的吸光頻
池。薄膜型太陽電池相較於結晶矽太陽電池,其僅需要一                               率範圍,比結晶矽 1.1eV 要高出許多;然材料缺陷較多,
層極薄的光電材料,因此其所使用材料量也相對較低;另                               光電能轉換效率較低,但成本也較低,目前除轉換效率不
外,薄膜的基板可使用軟性或硬性的基材,可選擇的應用                               高外,戶外使用仍有穩定度不佳的缺點。為了解決上述問
彈性高,雖說目前製作成本仍高於結晶矽太陽電池約 30-                             題,近期技術發展上,為能提高光電轉換效率,則增加成
40%,不過,矽材短缺議題,卻促進其技術發展的速度,                              本,於非晶矽太陽電池上,再疊層其他材料,目前商業用
未來待技術發展成熟,應用的領域則將更為寬廣。                                  轉換效率約4-10%,實驗室轉換效率則為13%,故面對矽
     於薄膜的元件之上,依其使用的材料不同,而有不同                            晶體太陽電池之成本效益而言,其應用領域上則略有不
種類的太陽電池。其材料包含:非晶矽( A m o r p h o u s                    同。
Cells)、銅銦鎵二硒(Copper Indium Gallium Diselenide                就各項技術之應用市場來看, 2004 年全球單晶矽太
Solar Cells, CIGS)、鎘碲薄膜(Cadmium Telluride Thin          陽電池生產量約 250 百萬瓦,佔太陽電池總生產量之
                                                                250
Film Photovoltaics, CdTe)、矽薄膜(Thin Film Silicon Solar   36% ,多晶矽太陽電池之生產為 330 百萬瓦,佔總生產量
Cells)、染料敏化(Dye-Sensitized Solar Cells, DSSC)           之44%,以日本為最主要生產國,而非晶矽太陽電池之生
等...太陽電池。                                               產量佔總生產量之 4% ,其中一半以上屬於消費性用太陽
                                                        電池。而2005年,基於成本考量,多晶太陽電池之應用微
圖 2 :太陽能電池種類                                            幅壓縮單晶太陽電池而成長;有鑑於太陽電池之需求旺盛
                                                        與矽材短缺議題持續發燒,非矽晶太陽電池於2005年,佔
                                                        總生產量的比例,由 2004 年的 4% 提升至 5% 。
                                                             而化合物半導體材料中,以GaAs之轉換效率最高,
                                                        唯因基板、材料及其製作成本高,僅適用於太空應用及特
                                                        殊用途。CdTe太陽電池屬於II-VI族化合物半導體,其結構
                                                        主體由2μm層的P-type CdTe層與後僅0.1μm的N-type
                                                        CdS 形成,光子吸收層主要發生於 CdTe 層,吸光效率係
                                                        數>105cm-1 ,故厚度相當薄,並可吸收 90% 以上的光;
                                                        CdS 層的上沿先接合 TCO ,再連接基材, CdTe 上沿則接
                                                        合背板,形成一個電池架構。目前轉換效率>10% ,然仍
                                                        具有以下限制:(1)模組與基材成本太高, CdTe 佔材料總
                                                        成本的 53% ,半導體材料則為 5.5%;(2)碲天然蘊藏量有
                                                        限,未來若成為主流,材料仍為嚴重問題;(3)鎘具有毒
                                                        性,故雖其對太陽光譜具有最適合的吸收係數,且為直接
                                                        遷移型半導體,在物性上具有優越的地位;然與另一
                                                        CuInSe2(CIS)為三元素化合物太陽電池,雖其特性具有較
                                                        佳的光吸收係數,但是這兩種薄膜太陽電池分別由於環保
  單結晶矽太陽電池         多結晶矽太陽電池          非結晶矽太陽電池           問題及大量生產不易問題,一直無法商業化;因此,基本
 SINGLECRYSTAL     POLYCRYSTAL        AMORPHOUS
                                                        上低價格、高可靠度、可商業化的太陽電池確是以薄膜型
資料來源:http://www.solar-i.com/know.html ,「認識太陽
      能電池」,查丁壬,中華太陽能聯誼會;h t t p : /                     晶矽材料被視為未來可期待之太陽電池材料。
      /www.reink.com                                         由於薄膜太陽電池具備低價、可大面積化的特徵,因


                                                                               2007.08/ 電子與電腦   67
此,一直扮演著未來可商業化希望的太陽電池的角色,雖                                 圓的晶矽太陽電池相比較。然實驗室最高轉換效率已達
      然技術的發展與矽晶圓晶矽太陽電池同步,但是,至今在                                 21% ,而商業化市場中,僅 Astropower 以昂貴的石墨為
      性能及可靠度方面仍然無法與矽晶圓晶矽太陽電池相比                                  基材,轉換效率方為13.4%。其雖為未來具潛力之太陽電
      擬,最主要的原因乃在於很難在便宜的基板上(若使用矽晶                                池種類之一,然目前尚須持續鑽研的方向:(1)使用玻璃基
      圓為基板就喪失了以低價為取向的薄膜技術之原意)成長出                                材、(2)使用耐高溫基材、(3)將單晶矽層半成品轉植至玻璃
      與矽晶圓相同品質及可靠度的薄膜矽材料。在這長期的發                                 矽材。而日本三菱則成功製備 1 0 0 c m 2 ,轉換效率達
      展時日裡,薄膜矽太陽電池(Thin Film Silicon Solar Cells)               16% 。
      的轉換效率,目前商業化技術上,比Wafer Based晶矽太                                而染料敏化太陽電池,則以奈米結構電極與染料結
      陽電池低約 7-8% ,主要的理由為:(1)非晶矽薄膜太陽電                            合,成為高轉換效率電子轉移介面技術;基本架構為透明
      池因成長在便宜的基板上,因此無磊晶的效應,材料的特                                 導電基片、多孔奈米晶體二氧化鈦半導體的導電層,然激
      性與穩定度就無法與矽晶圓晶矽太陽電池相比;(2)低溫多                               發態是於一個不穩定的狀態下,因此,電子必需以最快的
      晶矽薄膜太陽電池為低溫成長,材料的缺陷問題無法與晶                                 速度注入到緊鄰的TiO2導帶,使染料分子所失去電子能在


      表 1 :各類太陽電池之特性
       材料             單晶矽           多晶矽           非晶矽              薄膜太陽電池
                                                                   III-V 族(GaAs, InP 等)   II-VI 族((CdS, CdTe,CuInSe2 等)
       理論轉換效率         25-30%        20%           15%              35%                    17-18%
                      34%(集光型)
       電池轉換效率         17-21%        15-17%        10-12%           18-30%                 10-13%
       厚度             200-300 μ m   200-300 μ m   0.5-0.7 μ m      --                     --
       模組轉換效率         12-16%        10-12%        6-9%             --                     --
       實際轉換效率         24%(實驗)       17.7%(實驗)     13.5%(實驗)        27.8%(實驗)              15.8%(實驗)
                      14-17%(商業)    12-14%(商業)    5-7%(商業)
       耐用性            佳             佳             普通               佳                      佳
       材料成本           高             中             低                極高                     低
       用途             太空電力
                      中央發電系統        獨立電源          獨立電源                                    獨立電源
                      獨立電源          少數民生消費        少數民生消費           太空電力                   少數民生消費用品
                      少數民生消費        用品            用品
                      用品
       優點             材料缺陷少,        製成步驟簡單        目 前 成 本 最 低 的 G a A s 太陽電池轉換頻率最高,材料及製作成本高,
                      光電轉換效率        ,成本較單晶        商業化太陽電池 僅用於太空應用及特殊用途。
                      高。發電力與        矽太陽電池便        , 無 須 封 裝 , 生 C d Te 太陽電池對太陽光譜具有最適的吸收係數,且
                      電壓費為廣,        宜,可用於低        產 最 快 , 常 用 於 為直接遷移型半導體, C u I n S e 2 ( C I S ) 太陽電池具有較
                      轉圜效率高,        功率的電力應        消 費 性 電 子 產 品 佳的光吸收係數,其膜厚僅屬 m m 。
                      發電特性安定, 用系統。
                      具耐久性。
       缺點             製作成本高。        效率較單晶矽太 戶外設置後輸出 基板、材料及其製                              環保問題及大量生產不易,
                      製作時間長。        陽電池低。         功率減少的光劣 作成本高,僅是用                        故一直無法商業化。
                                                  化現象 ( 戶外使        於特殊用途,較少
                                                  用穩定度不佳) , 大量生產之商業化
                                                  轉換效率較結晶 產品。
                                                  矽太陽電池低。
      資料來源:工研院材化所;工研院 I E K


68   CompoTech Asia / 2007.08
第一時間從電解質中得到回饋作用,於TiO2導帶中的電子             美國則多朝向其他新興太陽電池的發展前進。
能夠併入導電膜中,最終經由電極引至外部迴路產生光電                  Sharp 估計, 2000-2040 年各類型太陽電池之發展
流作用;雖 DSSC 被預期為第三代太陽電池技術,然由於            趨勢。有鑑於太陽光電需求急遽上升,引發矽材短缺的問
(1)目前商品化時程尚未能夠印證產品的耐久性、(2)整體電           題,亦間接促進各種太陽電池技術之發展,而各類型技術
池模組的細部研究尚待加強、(3)大面積製程技術,目前研             之發展狀態,薄膜矽太陽電池被稱之為第二代太陽電池,
究投入不足;因此,於邁向未來低成本太陽電池的路途                尤其是具優勢性的微晶矽(mC-Si)薄膜太陽電池,其轉換效
上,仍需伏枕以待。                               率可達 12% ,雖目前仍無大量商品推出,然預期 10-15 年
   截至目前為止,單晶矽與多晶矽太陽電池仍為太陽電              後將逐漸於市場具影響力。另外,近年來各研究單位積極
池之主流技術,預期至2010年,單多晶太陽電池佔領市場             著手於第三代太陽電池研發,例如:先進薄膜材料、奈米/
約 85% ,而 Ribbon-/Sheet c-Si 之應用比例將成長至   量子材料及技術、有機無機混成太陽電池。其中奈米太陽
8%。另外,由於日本與德國市場應用政策充分導引產業發              電池研究很少且水準不佳,而目前奈米應用於太陽電池領
展,故單多晶矽太陽電池技術由美國主力發展轉移至以日               域之技術發展步調緩慢;因此,整體而言,預期未來至
本與歐洲發展最為成熟。為了區隔技術發展之方向,近期               2010年前,太陽電池技術發展仍以結晶矽太陽電池為生產
圖 3 :至 2 0 4 0 年各種材料的太陽電池發展趨勢                        及研發重點。
                                                          細觀主流太陽電池結晶矽太
                                                     陽電池之製造流程,如圖 4 所示。
                                                     而其短期未來極具潛力的兩項產
                                                     品 - - 結晶矽( B u l k - S i ) 與薄膜矽
                                                     (Thin Film Tandem-Si)太陽電池,
                                                     其全球技術之發展趨勢如圖 5 所
                                                     示。
                                                          目前結晶矽太陽電池量產設
                                                     備進步很快,而 Cell 效率與產能對
                                                     製程設備的依賴度越來越高, Cell
                                                     效率與成本除了技術與 Know-how
                                                     以外,與設備、材料(Wafer)之品
                                                     質亦有很大關係。近 2 年產品效率
                                                     提升很快,而主要改進之處為:(1)
                                                     Wafer品質、厚度與成本;(2)製程
                                                     設備;(3)製程方法與元件結構之調
資料來源:S h a r p ;工研院材化所                               整。而未來技術發展重點有二:
圖 4 :太陽電池製造過程與相關設備




資料來源:工研院材化所;工研院 I E K


                                                                  2007.08/ 電子與電腦       69
圖 5 :全球太陽電池技術發展趨勢                                       (Spherical Silicon Solar Cell)、背接式太陽電池(Cross
                                                              Section Cell)...等技術。此類新興太陽電池之技術發展,
                                                              亦為太陽光電產業未來發展之重要關鍵因素。




      資料來源:工研院材化所



           1.開發使用薄晶片以提昇效率之製程技術;
           2.新結構與新製程結晶矽太陽電池技術開發,包括:
      (1)網印技術製作 selective emitter 結構,(2) Impurity
      gettering 技術,使 lifetime 提昇,(3)以 Laser 製作 Local
      BSF 結構技術,(4)Surface passivation 技術,(5)使用                 綠能科技與應用材料在台簽約
      RTP or belt furnace 降低製程溫度,(6)多晶矽晶片表面                           合作建置薄膜太陽能生產線
      Texturization技術...等。
                                                                   繼即將成為全球前五大太陽能矽晶圓廠後,台灣
           R.M. Swanson 則於 A Vision for Crystalline Siliocn
                                                               最大的太陽能晶圓製造商綠能科技今 ( 2 6 ) 日正式宣布,
      Solar Cells 說明, 2002-2012 年太陽電池關鍵技術發展趨
                                                               與美商應用材料公司在桃園合作建置一條 8 . 5 世代薄膜
      勢有幾項特點:                                                  ( t h i n f i l m ) 太陽能生產線,成為台灣第一家生產 5 . 7 平方
      1.效率由 17% 增至 21%                                         米超大尺寸的太陽能模組廠。
        --Heterostructure contacts                                 綠能科技股份有限公司(Green Energy Technology

        --Advanced cell designs                                Inc. GET)是大同(Tatung)透過子公司尚志半導體股份有限
                                                               公司(Sanchih Semiconductor)於 2004 年 7 月投資成立的
        --High lifetime silicon
                                                               能源科技公司,現為專業太陽能用電池晶片製造廠。
      2.矽晶圓厚度由 280 μ m 降至 120 μ m
                                                                   綠能科技總經理林和龍表示:綠能科技長期供應
      3.太陽電池尺寸由 5 吋增至 8 吋
                                                               太陽能電池製造所需的矽晶片,深刻了解太陽能電池製
      4.結晶成長技術改良                                               造廠及半導體廠皆對矽晶片需求殷切,矽晶片物料供應
      5.切割技術的精進:降低 Kerf Loss 由 200 μ m 至 130 μ m               相對吃緊。因此,將薄膜科技運用在玻璃基板上發展太
      6.工廠產能由200MW/yr增至500MW/yr                                陽能電池之可行性大增,全球太陽光電產業對符合成本

      7.工廠高度的自動化                                               效益的太陽能模組需求也日益強烈。發展大尺寸薄膜太
                                                               陽能科技有顯著的經濟優勢,應用材料多年來深耕大尺
           成本降低部分,由於Solar Grade矽晶原料之研發,
                                                               寸平面顯示器製造,專業技術有目共睹,我們信賴應用
      目前 IC Grade 成本約為 US$40-60/kg , Solar Grade 可降
                                                               材料公司能提供相關的技術與經驗,襄助綠能科技這項
      至US$30/kg以下,加上Wire Saw技術改進,並強化原先
                                                               新投資計畫邁向成功。
      20 年之使用年限至 30 年,及製程材料與設備低價化,因                                綠能此次向應材訂製一條全套整合型的太陽能模
      此單矽晶太陽電池有機會降低一半的成本。藉由高品質矽                                組生產線,估計每年產能將可達 4 0 百萬瓦,整套系統
      晶片,及結構 / 製程之提升,使得量產效率得以提升。                               將於 2 0 0 8 年上半年出貨裝機,預期 2 0 0 8 下半年開始上

           另外,面對上游矽材短缺,各種新興太陽電池技術則                             線生產。綠能科技計劃發展各種快速成長的應用,將之
                                                               運用在一些需考量成本效益的大面積模組,例如發電廠
      有更大的誘因促進開發,諸如:聚光型太陽電池
                                                               以及建築用穿透式太陽能模組。
      (Concentrating Photovoltaic Cell)、球狀太陽電池


70   CompoTech Asia / 2007.08
太陽光電供應鏈淺談( 3 )


      太陽電池模組技術發展
劉佳怡




   接續上 / 中篇對於太陽電池所需之上游矽材、矽晶    程如圖 1 所示。
片,及太陽電池製程與技術發展趨勢說明後,本文則接續         以全球太陽光電之領導廠商,日本Sharp公司為例,
淺述「太陽電池模組」與「太陽光電系統」之製程與短期      其訂定歷年發展目標,主要以高效率、大尺寸,及建材一
內之技術發展趨勢。                      體為主軸。由於結晶矽太陽電池模組技術發展較為成熟,
                               因此,相較結晶矽太陽電池模組,薄膜太陽電池模組技術

太陽電池模組技術發展                     發展所需較長的研發時程。
                                  隨著太陽電池薄型化,自動化模組封裝技術的發展。
   承續上述矽晶體太陽電池之下游產品 -- 太陽電池模
                               模組技術障礙較低,故現階段大部分廠商仍多以人工替代
組,其主要將太陽電池依據其轉換效率,為極大化模組之
                               機械設備,面對極具規模的市場,如何運用自動化技術替
整體轉換效率的設計,經併聯與串聯後之產品,其製造過
                                       代人工,提升良率與規模經濟、整體配置效
圖 1 :太陽電池模組製造過程與相關設備
                                       率。另外,為提升未來應用上的市場,結合
                                       建材與太陽光電模板的應用(BIPV),為太陽
                                       光電模組短期內發展的方向。


                                       太陽光電系統產品技術發
資料來源:工研院材化所;工研院 I E K
                                       展
圖 2 :全球太陽光電模組產品發展                          呼應上述模組之發展方向,為強化太
                                       陽光電系統於都市城鎮上的使用,德國於
                                       2004 年,其 BIPV 系統裝置量雖僅佔 1% ,
                                       不過,預期未來5-8年將會提升BIPV之使用
                                       率。雖說 Mega Pack System 全球裝置量
                                       少,不過,德國已完成多項大型系統裝置,
                                       如表 2 所示,其包含:H e m a u 、
                                       Untergriesbach 、 Markstetten 及 Sonnen
                                       等計畫,總計約 16.34MWp 。
                                           整體歐盟於太陽光電系統技術發展優
                                       先順序,則如表2所示。而日本近年來,主
                                       要發展小型居家系統(Small Home System,
                                       SHS),主攻居家使用,未來將逐漸朝向產
資料來源:S h a r p ;工研院材化所


                                                           2007.08/ 電子與電腦      71
表 1 :全球太陽光電系統發展                                                                        於大型之社區內各戶裝置 SHS ,且併聯至電網
       項目                     研究與發展                               產業發展                       時,使線路末端之電壓升高。
       年 度 2005               2008          2010           2005 2008             2010
                                                                                             3.Megawatt System
       產 品 Solar Home Micro-grid            Large scale    BIPV   Solar Home Micro-grid
                                                                                             ■區域電網電力變動偵測與控制技術:由電力公
       項 目 SYS                System        storage with          SYS            system
             MW SYS                         Hydrogen                                         司進行區域電網電力變動之偵測,若區域電力輸
                                            Fuel Cell                                        出變動劇烈時,可主動偵測與調節。
      資料來源:工研院材化所


      業用大型發電系統使用。
                                                                                             結論
                                                                                        前文將太陽光電供應鏈製程與技術發展作一簡述。目
            最後,就太陽光電系統關鍵技術之短期發展趨勢,可
                                                                                  前矽晶體太陽電池供應鏈之技術發展,上游主要提升多晶
      區分為 BIPV 、 Solar Home System 及 Megawatt System
                                                                                  矽材(Poly-silicon) 之生產效益,而矽晶片次產業則強化
                                                                                    (Poly-silicon)
      三部分:
                                                                                  Silicon使用效率,而太陽電池次產業技術發展目的,則為
      1.BIPV
                                                                                  提升發電之成本效益,而系統與模組應用等終端次產業,
      ■半透光模組技術:雙面使用玻璃,並需配合建築需要運
                                                                                  則以擴大潛在應用市場為主。於此主軸之下,相關目的延
        用各種厚度之玻璃。
                                                                                  伸作法與技術發展,如圖 3 所示。
      ■Inverter小型化及美化設計技術:配合建築型式,使用小

        數量之模組串接,故需使用多量但小型化
                                                           圖 3 :太陽光電供應鏈上下游技術發展趨勢魚骨圖
        之 inverter ,並可配合建物,加強外觀之
        美化。
      ■模組支撐設計及安裝技術:因應建築多樣

        化之要求,需設計選用適當之支撐設計,
        及特殊之安裝方式。
      ■電力系統設計模擬技術:為使BIPV能發揮

        最大效用,運用電腦模擬規劃系統架構,
        可獲得最大電力。
      ■結構設計模擬技術:由於BIPV模組亦為建

        材之一部份,故需符合建築法規對結構安
        全之要求,故需運用電腦模擬技術設計支
        撐結構。
      2.Solar Home System
      ■ Inverter-電池一體型電力調節器:可避免 資料來源:工研院 I E K


      表 2 :歐盟太陽光電系統技術發展優先順序
                          Short term                                    Medium term                          Long term
       Highest Priority   ■   Inverter lifetime                         ■   Grid-control and power quality   ■   Large-scale storage, integration
                          ■   High Performance>20 year                  ■   PV as buikling element           with Fuel cells/Hydrogen
                          ■   System designs                                                                 infrastructure
                          ■   Module integrated electronics+stonage
       Medium Priority    ■   Energy rating                             ■   Small-scale storage
                                                                        ■   (module-integrated)
      資料來源:PVNET European Roadmap for PV R&D, European Commison (2004);工研院材化所


72   CompoTech Asia / 2007.08

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太陽光電產業製程與技術

  • 1. 太陽光電供應鏈淺談( 1 ) 太陽光電產業製程與技術 發展趨勢 ■劉佳怡 / 工研院 I E K 新興能源研究部產業分析師 現階段太陽光電產業, 80-90% 主流產品為「結晶矽 多晶矽材透過 CZ 、 FZ 法成為單晶碇,而 CZ 法為普 太陽電池」。依據製程及成本結構可將供應鏈區分為多晶 遍的一種方式。其中,CZ法是目前較普遍被使用的方法, 矽材(Polysilicon Material)、矽晶片(Wafer)、太陽電池 與半導體產業使用一樣,FZ方法利用驅融的方式,產生較 (Solar Cell)、太陽電池模組(PV Module)與太陽光電系統 高純度且低含氧、成本較高的晶體,價錢也較貴,一般因 (PV System)等五大項次產業,如圖 1 所示。 太陽電池用的矽晶圓品質要求較低,而較少使用。 有鑑於太陽光電產業之發展,上下游供應鏈關係密 多晶矽材的使用上,以半導體產業需求量為多,然自 切,故本文將依序簡述各項次產業之製程與短期內技術發 2004後半年,隨著太陽光電的急速發展,及半導體景氣回 展趨勢,以便讀者能全面性、概括性的瞭解,短期內太陽 升,導致原料供應不敷需求。然就太陽光電產業而言,普 光電產業之技術發展趨勢。 遍被使用之結晶矽太陽電池則包含多晶、單晶太陽電池, 由於單晶矽純度較高,製造成本較高,相對作為太陽矽晶 矽原料技術發展 體電池所能轉換太陽光能之效率亦較多晶矽高。2004年由 於太陽光電產業發展剛起步,因此相較於半導體產業對於 多晶矽材從二氧化矽(Silica)二度提純後的產品,首 晶圓片之需求較小,加上成本考量,太陽光電所用之晶圓 先,將二氧化矽置於高溫電弧爐進行還原,成為98%純度 片多由半導體產業之廢次晶圓和頭尾料再處理所產生。 之冶金級矽材(mg-Si),而後透過 Trichloro Silane 或 其中,太陽電池所用的基板 - 矽晶片(Silicon Wafer) Mono Silane 的方式,精鍊成為多晶矽,成為高純度之多 規格的要求是強調低成本,在矽原料取得及規格上與半導 晶矽材。 Actel 廣告 62 CompoTech Asia / 2007.08
  • 2. 圖 1 :「矽晶體」太陽光電產業供應鏈 體矽晶圓所用矽原料,相對可 接受較低的純度。於製程角度 觀之,以西門子製程所產出之 半導體的多晶矽材,成本約為 25-30 US$/kg ,太陽能級多晶 矽材則為 20-25 US$/kg 。 「矽晶體太陽電池」供應鏈 隨著多晶矽材缺料情形日 Polysilicon Material Wafer Solar Cell PV Module PV System 趨嚴重,太陽電池用的多晶矽 各次產業之成本結構 來源,部分來自半導體矽晶圓 電力>40% Poly-silicon 30-60% Wafer 60-70% Cells 60-70% Model 80-90% 製程時所去除的規格外品及頭 Others 40-70% Pastes 10-20% EVA 10-15% Inverter 5-10% 尾料。包括:純化過程的不合 Chemicals <5% Glass 10-15% Mount 5-10% Other 5% Frame 10-15% Cables <5% 格品及矽晶拉成後所切下的頭 Cable, Other <5% 尾料,利用這些規格外品及廢 圖 2 :太陽電池模組發展藍圖 料再重融結晶,得到太陽電池 所用的矽晶錠(Silicon Ingot)。 然而,由於矽原料仰賴半導體 產業供應不合格品(Off-Spec), 貨源不穩定,且數量也有限, 限制產業成長。 因此,為了降低多晶矽材 製造成本,提升產量,多晶矽 材技術的發展上,由冶金開 始,可選擇直接提煉成為太陽 光電級可使用的矽材,稱其為 SOG,成為太陽光電級所需之 矽晶圓;另外,有部分來源, 可由半導體矽晶圓製程中所產 資料來源:The PV Roadmap and The PV Roadmap and Prospects for Silicon Prospects for Silicon Technology, Paul Paul Wyers Wyers, ECN Solar Energy 生的廢料,進一步投入於太陽 光電產業來使用。 Actel 廣告 2007.08/ 電子與電腦 63
  • 3. 表 1 :太陽光電與半導體產業晶圓需求比較 1999年日本由川崎製鐵等七家廠 產 業 太 陽 光 電 產 業 半 導 體 產 業 商聯合組成(SOG)技術發展協會,直接 需求項目 單晶矽片 多晶矽片 單晶圓 由冶金矽精製純化,發展 Solar-Grade 單 晶 與 多 晶 差 異 P V 成本價格高 P V 成本價格低 普 通 使 用 Silicon ,另外 GE Solar 也和 Elkem 策 P V 轉換效率高 P V 轉換效率低 晶圓純度 晶圓純度>0.999999 晶圓純度>0.99999999999 略聯盟開發低成本的 S o l a r - G r a d e 需求量比較 2004 年產業發展中,需求量小 2004 年產業發展成熟,相對需求大 Silicon ,成本為現有產品的 60-70% 。 2 0 0 5 年產業發展快速,需求成 2 0 0 5 年需求成長穩定 隨著技術的發展趨勢, 2005 年 長高 已有小幅產量出現,由PV Silicon資料 成本價格 為與市電競爭,成本價格追求 限於晶圓純度需求,產業發展成 顯示,針對太陽光電所研發之多晶矽 極小化,故來源由半導體產業 熟。追求「單位」成本價格極 材(Solar-Grade Silicon),產量由 之廢次晶圓和頭尾料再處理, 小化,故不斷需求大尺寸晶圓。 2 0 0 5 年起,預期將有顯著提升的趨 或太陽能專用矽材。 圖 3 :太陽電池用矽原料來源 勢。預期至 2010 年,半導體產業供應 不合格品(Off-Spec)仍維持穩定的比 例,而Solar GradeSilicon儼然成為太 陽光電主要矽材來源之一。 矽晶片技術發展 隨著晶體結構的差異,矽晶片可 分為「單晶矽矽片」與「多晶矽矽片」 兩類,矽晶片之製造過程如圖5所示。 矽原料熔融後再利用矽晶種拉晶 方式製作成單晶矽晶錠,經切割後就 成為「單晶」(Mono-Crystalline)矽晶 片。而「多晶」(Multi-Crystalline)矽晶 片,則為矽原料熔融後緩慢冷卻凝固 資料來源:工研院材料所 製作成多晶矽晶錠,經切割後形成。 圖 4:Solar-Grade Silicon 產量逐漸增加 簡而言之,單晶棒以提拉方式成形, 而多晶碇則以較低溫之鑄凝成形。 然隨著矽晶片製造過程中,會有 部分材料經由損耗而被浪費。由圖 6 可知,以多晶矽片製造過程中,晶碇 切塊時,約略損失 30% ,切片時,又 將耗損 34% ,而後,進入太陽電池製 程後,則進一步耗損4%;因此,整個 製程下來,矽材損耗總和為 68% ,比 例相當驚人。其中,又以晶棒切割為 矽晶圓製成損失最巨。有鑑於此,矽 晶片的技術發展趨勢如下所述: 1. 良率提升 資料來源:P V S i l i c o n;工研院材料所 2. 降低線鋸損失 64 CompoTech Asia / 2007.08
  • 4. 圖5 方式,上方擺置鑄造框(Casting frame),當矽材藉由傳輸 捲軸通過,藉由 Gassing 及 Annealing ,則會成為 300 μ m 的矽晶片,排除切塊與切片的程序,如此一來,矽材使 用率則會提升至 90% 左右。 在SR的製程方面,為了避免矽材耗損,其則運用設 備(String Ribbon Production Furnaces),使矽材於融化 爐中成為液態,藉由 Solid-Melt Interface 介面,直接由熔 融矽原料拉出帶狀的多晶矽晶片。而 E F G 則運用 E F G Custom Equipment ,將矽材製作成八方體空心型態,再 切割成為一片片的矽晶片。而上述三種技術之速度、生產 力及熔爐等特性如表 2 所示。 總結上文所述,多晶矽材目前發展方向,主要提升其 3. Wafer 變薄•(300 μ m 至 150 μ m) 生產效益。現階段,有鑑於多晶矽材價格昂貴,矽晶片的 4. Slurry 用量減少,及提升再利用效率 製造技術發展上,則以強化多晶矽材的使用效率為主。 5. 量產大尺寸晶片 下篇,則將進一步簡述「太陽電池」、「太陽電池模 6. 降低缺陷密度 組」與「太陽光電系統」之製程與技術發展趨勢。 7. 提高載子壽命 表 2:矽 ribbon 生產技術 技術發展上,將朝向(1)矽晶片薄化、(2)減少矽材消 Material Pull Speed Throughput Furnacess 耗損失、(3)回收再利用技術,及(4)低製造成本、高效率技 (cm/min) (Cm2/min) (per 100MW) 術。為減少矽材消耗的損失,製程技術上則發展出 S R EFG 1.7 165 100 (String Ribbon)、EFG(Edge defined Film-fed Growth), SR 1-2 5-16 1175 RGS 600 7500 2-3 及 Ribbon-Growth-on-Substrate Silicon Wafer casting 資料來源:The PV Roadmap and The PV Roadmap and Technology (RGS)三種方式。其中,RGS由於切塊/切片 Prospects for Silicon Prospects for Silicon 耗損的比例很高,因此, RGS 則運用 Ribbon 捲軸傳遞的 Technology, Paul Paul Wyers Wyers, ECN Solar Energy 圖 6 :太陽電池用矽晶片製造過程與製造設備 資料來源:工研院材料所;工研院 I E K 2007.08/ 電子與電腦 65
  • 5. 太陽光電供應鏈淺談( 2 ) 太陽電池技術發展 劉佳怡 / 工研院 I E K 新興能源研究部產業分析師 接續上篇對於太陽電池所需之上游矽材、矽晶片製程 多數太陽電池主要原料為矽(Silicon , Si),其中又以單晶 與技術發展趨勢說明後,後續則淺述「太陽電池」之製程 矽(Monocrystalline)、多晶矽(Multicrystalline)及非晶矽 與短期內之技術發展趨勢。 (Amorphous)為最多。 單晶矽及多晶矽基本上是以矽晶圓為基礎製作p-n型 太陽電池的種類 的太陽電池,屬於結晶矽太陽電池,由於材料缺陷較少, 光電能轉換效率較高,但成本也相對的較高;然就其轉換 太陽電池的種類,乃藉由不同材料、基板型態與元件 效率而論,結晶矽太陽電池商業化平均轉換效率達16%, 之交叉搭配而成,如圖 1 所示。 而實驗室之轉換效率則接近25%,簡而言之,就目前太陽 而大部分歸類上,多以不同材料區隔,如圖2所示, 圖 1 :太陽電池種類的形成 資料來源:工研院 I E K 66 CompoTech Asia / 2007.08
  • 6. 電池商業化技術發展,當太陽光被太陽電池所吸收,僅有 其中,非晶矽太陽電池,其於便宜的基板上( 如玻 約 16% 轉化成為電能,另外的 84% 則成為毫無用處的熱 璃、不銹鋼等)沈積一層厚度小於 1 μ m 的非晶矽 p-i-n 型 能。 太陽電池。由於非晶矽具有較廣的光譜吸收能力,在 i 層 與結晶矽太陽電池不同的元件,則為薄膜型太陽電 只需要 0.2~0.5 μ的厚度,即可達到 1.1~1.7eV 的吸光頻 池。薄膜型太陽電池相較於結晶矽太陽電池,其僅需要一 率範圍,比結晶矽 1.1eV 要高出許多;然材料缺陷較多, 層極薄的光電材料,因此其所使用材料量也相對較低;另 光電能轉換效率較低,但成本也較低,目前除轉換效率不 外,薄膜的基板可使用軟性或硬性的基材,可選擇的應用 高外,戶外使用仍有穩定度不佳的缺點。為了解決上述問 彈性高,雖說目前製作成本仍高於結晶矽太陽電池約 30- 題,近期技術發展上,為能提高光電轉換效率,則增加成 40%,不過,矽材短缺議題,卻促進其技術發展的速度, 本,於非晶矽太陽電池上,再疊層其他材料,目前商業用 未來待技術發展成熟,應用的領域則將更為寬廣。 轉換效率約4-10%,實驗室轉換效率則為13%,故面對矽 於薄膜的元件之上,依其使用的材料不同,而有不同 晶體太陽電池之成本效益而言,其應用領域上則略有不 種類的太陽電池。其材料包含:非晶矽( A m o r p h o u s 同。 Cells)、銅銦鎵二硒(Copper Indium Gallium Diselenide 就各項技術之應用市場來看, 2004 年全球單晶矽太 Solar Cells, CIGS)、鎘碲薄膜(Cadmium Telluride Thin 陽電池生產量約 250 百萬瓦,佔太陽電池總生產量之 250 Film Photovoltaics, CdTe)、矽薄膜(Thin Film Silicon Solar 36% ,多晶矽太陽電池之生產為 330 百萬瓦,佔總生產量 Cells)、染料敏化(Dye-Sensitized Solar Cells, DSSC) 之44%,以日本為最主要生產國,而非晶矽太陽電池之生 等...太陽電池。 產量佔總生產量之 4% ,其中一半以上屬於消費性用太陽 電池。而2005年,基於成本考量,多晶太陽電池之應用微 圖 2 :太陽能電池種類 幅壓縮單晶太陽電池而成長;有鑑於太陽電池之需求旺盛 與矽材短缺議題持續發燒,非矽晶太陽電池於2005年,佔 總生產量的比例,由 2004 年的 4% 提升至 5% 。 而化合物半導體材料中,以GaAs之轉換效率最高, 唯因基板、材料及其製作成本高,僅適用於太空應用及特 殊用途。CdTe太陽電池屬於II-VI族化合物半導體,其結構 主體由2μm層的P-type CdTe層與後僅0.1μm的N-type CdS 形成,光子吸收層主要發生於 CdTe 層,吸光效率係 數>105cm-1 ,故厚度相當薄,並可吸收 90% 以上的光; CdS 層的上沿先接合 TCO ,再連接基材, CdTe 上沿則接 合背板,形成一個電池架構。目前轉換效率>10% ,然仍 具有以下限制:(1)模組與基材成本太高, CdTe 佔材料總 成本的 53% ,半導體材料則為 5.5%;(2)碲天然蘊藏量有 限,未來若成為主流,材料仍為嚴重問題;(3)鎘具有毒 性,故雖其對太陽光譜具有最適合的吸收係數,且為直接 遷移型半導體,在物性上具有優越的地位;然與另一 CuInSe2(CIS)為三元素化合物太陽電池,雖其特性具有較 佳的光吸收係數,但是這兩種薄膜太陽電池分別由於環保 單結晶矽太陽電池 多結晶矽太陽電池 非結晶矽太陽電池 問題及大量生產不易問題,一直無法商業化;因此,基本 SINGLECRYSTAL POLYCRYSTAL AMORPHOUS 上低價格、高可靠度、可商業化的太陽電池確是以薄膜型 資料來源:http://www.solar-i.com/know.html ,「認識太陽 能電池」,查丁壬,中華太陽能聯誼會;h t t p : / 晶矽材料被視為未來可期待之太陽電池材料。 /www.reink.com 由於薄膜太陽電池具備低價、可大面積化的特徵,因 2007.08/ 電子與電腦 67
  • 7. 此,一直扮演著未來可商業化希望的太陽電池的角色,雖 圓的晶矽太陽電池相比較。然實驗室最高轉換效率已達 然技術的發展與矽晶圓晶矽太陽電池同步,但是,至今在 21% ,而商業化市場中,僅 Astropower 以昂貴的石墨為 性能及可靠度方面仍然無法與矽晶圓晶矽太陽電池相比 基材,轉換效率方為13.4%。其雖為未來具潛力之太陽電 擬,最主要的原因乃在於很難在便宜的基板上(若使用矽晶 池種類之一,然目前尚須持續鑽研的方向:(1)使用玻璃基 圓為基板就喪失了以低價為取向的薄膜技術之原意)成長出 材、(2)使用耐高溫基材、(3)將單晶矽層半成品轉植至玻璃 與矽晶圓相同品質及可靠度的薄膜矽材料。在這長期的發 矽材。而日本三菱則成功製備 1 0 0 c m 2 ,轉換效率達 展時日裡,薄膜矽太陽電池(Thin Film Silicon Solar Cells) 16% 。 的轉換效率,目前商業化技術上,比Wafer Based晶矽太 而染料敏化太陽電池,則以奈米結構電極與染料結 陽電池低約 7-8% ,主要的理由為:(1)非晶矽薄膜太陽電 合,成為高轉換效率電子轉移介面技術;基本架構為透明 池因成長在便宜的基板上,因此無磊晶的效應,材料的特 導電基片、多孔奈米晶體二氧化鈦半導體的導電層,然激 性與穩定度就無法與矽晶圓晶矽太陽電池相比;(2)低溫多 發態是於一個不穩定的狀態下,因此,電子必需以最快的 晶矽薄膜太陽電池為低溫成長,材料的缺陷問題無法與晶 速度注入到緊鄰的TiO2導帶,使染料分子所失去電子能在 表 1 :各類太陽電池之特性 材料 單晶矽 多晶矽 非晶矽 薄膜太陽電池 III-V 族(GaAs, InP 等) II-VI 族((CdS, CdTe,CuInSe2 等) 理論轉換效率 25-30% 20% 15% 35% 17-18% 34%(集光型) 電池轉換效率 17-21% 15-17% 10-12% 18-30% 10-13% 厚度 200-300 μ m 200-300 μ m 0.5-0.7 μ m -- -- 模組轉換效率 12-16% 10-12% 6-9% -- -- 實際轉換效率 24%(實驗) 17.7%(實驗) 13.5%(實驗) 27.8%(實驗) 15.8%(實驗) 14-17%(商業) 12-14%(商業) 5-7%(商業) 耐用性 佳 佳 普通 佳 佳 材料成本 高 中 低 極高 低 用途 太空電力 中央發電系統 獨立電源 獨立電源 獨立電源 獨立電源 少數民生消費 少數民生消費 太空電力 少數民生消費用品 少數民生消費 用品 用品 用品 優點 材料缺陷少, 製成步驟簡單 目 前 成 本 最 低 的 G a A s 太陽電池轉換頻率最高,材料及製作成本高, 光電轉換效率 ,成本較單晶 商業化太陽電池 僅用於太空應用及特殊用途。 高。發電力與 矽太陽電池便 , 無 須 封 裝 , 生 C d Te 太陽電池對太陽光譜具有最適的吸收係數,且 電壓費為廣, 宜,可用於低 產 最 快 , 常 用 於 為直接遷移型半導體, C u I n S e 2 ( C I S ) 太陽電池具有較 轉圜效率高, 功率的電力應 消 費 性 電 子 產 品 佳的光吸收係數,其膜厚僅屬 m m 。 發電特性安定, 用系統。 具耐久性。 缺點 製作成本高。 效率較單晶矽太 戶外設置後輸出 基板、材料及其製 環保問題及大量生產不易, 製作時間長。 陽電池低。 功率減少的光劣 作成本高,僅是用 故一直無法商業化。 化現象 ( 戶外使 於特殊用途,較少 用穩定度不佳) , 大量生產之商業化 轉換效率較結晶 產品。 矽太陽電池低。 資料來源:工研院材化所;工研院 I E K 68 CompoTech Asia / 2007.08
  • 8. 第一時間從電解質中得到回饋作用,於TiO2導帶中的電子 美國則多朝向其他新興太陽電池的發展前進。 能夠併入導電膜中,最終經由電極引至外部迴路產生光電 Sharp 估計, 2000-2040 年各類型太陽電池之發展 流作用;雖 DSSC 被預期為第三代太陽電池技術,然由於 趨勢。有鑑於太陽光電需求急遽上升,引發矽材短缺的問 (1)目前商品化時程尚未能夠印證產品的耐久性、(2)整體電 題,亦間接促進各種太陽電池技術之發展,而各類型技術 池模組的細部研究尚待加強、(3)大面積製程技術,目前研 之發展狀態,薄膜矽太陽電池被稱之為第二代太陽電池, 究投入不足;因此,於邁向未來低成本太陽電池的路途 尤其是具優勢性的微晶矽(mC-Si)薄膜太陽電池,其轉換效 上,仍需伏枕以待。 率可達 12% ,雖目前仍無大量商品推出,然預期 10-15 年 截至目前為止,單晶矽與多晶矽太陽電池仍為太陽電 後將逐漸於市場具影響力。另外,近年來各研究單位積極 池之主流技術,預期至2010年,單多晶太陽電池佔領市場 著手於第三代太陽電池研發,例如:先進薄膜材料、奈米/ 約 85% ,而 Ribbon-/Sheet c-Si 之應用比例將成長至 量子材料及技術、有機無機混成太陽電池。其中奈米太陽 8%。另外,由於日本與德國市場應用政策充分導引產業發 電池研究很少且水準不佳,而目前奈米應用於太陽電池領 展,故單多晶矽太陽電池技術由美國主力發展轉移至以日 域之技術發展步調緩慢;因此,整體而言,預期未來至 本與歐洲發展最為成熟。為了區隔技術發展之方向,近期 2010年前,太陽電池技術發展仍以結晶矽太陽電池為生產 圖 3 :至 2 0 4 0 年各種材料的太陽電池發展趨勢 及研發重點。 細觀主流太陽電池結晶矽太 陽電池之製造流程,如圖 4 所示。 而其短期未來極具潛力的兩項產 品 - - 結晶矽( B u l k - S i ) 與薄膜矽 (Thin Film Tandem-Si)太陽電池, 其全球技術之發展趨勢如圖 5 所 示。 目前結晶矽太陽電池量產設 備進步很快,而 Cell 效率與產能對 製程設備的依賴度越來越高, Cell 效率與成本除了技術與 Know-how 以外,與設備、材料(Wafer)之品 質亦有很大關係。近 2 年產品效率 提升很快,而主要改進之處為:(1) Wafer品質、厚度與成本;(2)製程 設備;(3)製程方法與元件結構之調 資料來源:S h a r p ;工研院材化所 整。而未來技術發展重點有二: 圖 4 :太陽電池製造過程與相關設備 資料來源:工研院材化所;工研院 I E K 2007.08/ 電子與電腦 69
  • 9. 圖 5 :全球太陽電池技術發展趨勢 (Spherical Silicon Solar Cell)、背接式太陽電池(Cross Section Cell)...等技術。此類新興太陽電池之技術發展, 亦為太陽光電產業未來發展之重要關鍵因素。 資料來源:工研院材化所 1.開發使用薄晶片以提昇效率之製程技術; 2.新結構與新製程結晶矽太陽電池技術開發,包括: (1)網印技術製作 selective emitter 結構,(2) Impurity gettering 技術,使 lifetime 提昇,(3)以 Laser 製作 Local BSF 結構技術,(4)Surface passivation 技術,(5)使用 綠能科技與應用材料在台簽約 RTP or belt furnace 降低製程溫度,(6)多晶矽晶片表面 合作建置薄膜太陽能生產線 Texturization技術...等。 繼即將成為全球前五大太陽能矽晶圓廠後,台灣 R.M. Swanson 則於 A Vision for Crystalline Siliocn 最大的太陽能晶圓製造商綠能科技今 ( 2 6 ) 日正式宣布, Solar Cells 說明, 2002-2012 年太陽電池關鍵技術發展趨 與美商應用材料公司在桃園合作建置一條 8 . 5 世代薄膜 勢有幾項特點: ( t h i n f i l m ) 太陽能生產線,成為台灣第一家生產 5 . 7 平方 1.效率由 17% 增至 21% 米超大尺寸的太陽能模組廠。 --Heterostructure contacts 綠能科技股份有限公司(Green Energy Technology --Advanced cell designs Inc. GET)是大同(Tatung)透過子公司尚志半導體股份有限 公司(Sanchih Semiconductor)於 2004 年 7 月投資成立的 --High lifetime silicon 能源科技公司,現為專業太陽能用電池晶片製造廠。 2.矽晶圓厚度由 280 μ m 降至 120 μ m 綠能科技總經理林和龍表示:綠能科技長期供應 3.太陽電池尺寸由 5 吋增至 8 吋 太陽能電池製造所需的矽晶片,深刻了解太陽能電池製 4.結晶成長技術改良 造廠及半導體廠皆對矽晶片需求殷切,矽晶片物料供應 5.切割技術的精進:降低 Kerf Loss 由 200 μ m 至 130 μ m 相對吃緊。因此,將薄膜科技運用在玻璃基板上發展太 6.工廠產能由200MW/yr增至500MW/yr 陽能電池之可行性大增,全球太陽光電產業對符合成本 7.工廠高度的自動化 效益的太陽能模組需求也日益強烈。發展大尺寸薄膜太 陽能科技有顯著的經濟優勢,應用材料多年來深耕大尺 成本降低部分,由於Solar Grade矽晶原料之研發, 寸平面顯示器製造,專業技術有目共睹,我們信賴應用 目前 IC Grade 成本約為 US$40-60/kg , Solar Grade 可降 材料公司能提供相關的技術與經驗,襄助綠能科技這項 至US$30/kg以下,加上Wire Saw技術改進,並強化原先 新投資計畫邁向成功。 20 年之使用年限至 30 年,及製程材料與設備低價化,因 綠能此次向應材訂製一條全套整合型的太陽能模 此單矽晶太陽電池有機會降低一半的成本。藉由高品質矽 組生產線,估計每年產能將可達 4 0 百萬瓦,整套系統 晶片,及結構 / 製程之提升,使得量產效率得以提升。 將於 2 0 0 8 年上半年出貨裝機,預期 2 0 0 8 下半年開始上 另外,面對上游矽材短缺,各種新興太陽電池技術則 線生產。綠能科技計劃發展各種快速成長的應用,將之 運用在一些需考量成本效益的大面積模組,例如發電廠 有更大的誘因促進開發,諸如:聚光型太陽電池 以及建築用穿透式太陽能模組。 (Concentrating Photovoltaic Cell)、球狀太陽電池 70 CompoTech Asia / 2007.08
  • 10. 太陽光電供應鏈淺談( 3 ) 太陽電池模組技術發展 劉佳怡 接續上 / 中篇對於太陽電池所需之上游矽材、矽晶 程如圖 1 所示。 片,及太陽電池製程與技術發展趨勢說明後,本文則接續 以全球太陽光電之領導廠商,日本Sharp公司為例, 淺述「太陽電池模組」與「太陽光電系統」之製程與短期 其訂定歷年發展目標,主要以高效率、大尺寸,及建材一 內之技術發展趨勢。 體為主軸。由於結晶矽太陽電池模組技術發展較為成熟, 因此,相較結晶矽太陽電池模組,薄膜太陽電池模組技術 太陽電池模組技術發展 發展所需較長的研發時程。 隨著太陽電池薄型化,自動化模組封裝技術的發展。 承續上述矽晶體太陽電池之下游產品 -- 太陽電池模 模組技術障礙較低,故現階段大部分廠商仍多以人工替代 組,其主要將太陽電池依據其轉換效率,為極大化模組之 機械設備,面對極具規模的市場,如何運用自動化技術替 整體轉換效率的設計,經併聯與串聯後之產品,其製造過 代人工,提升良率與規模經濟、整體配置效 圖 1 :太陽電池模組製造過程與相關設備 率。另外,為提升未來應用上的市場,結合 建材與太陽光電模板的應用(BIPV),為太陽 光電模組短期內發展的方向。 太陽光電系統產品技術發 資料來源:工研院材化所;工研院 I E K 展 圖 2 :全球太陽光電模組產品發展 呼應上述模組之發展方向,為強化太 陽光電系統於都市城鎮上的使用,德國於 2004 年,其 BIPV 系統裝置量雖僅佔 1% , 不過,預期未來5-8年將會提升BIPV之使用 率。雖說 Mega Pack System 全球裝置量 少,不過,德國已完成多項大型系統裝置, 如表 2 所示,其包含:H e m a u 、 Untergriesbach 、 Markstetten 及 Sonnen 等計畫,總計約 16.34MWp 。 整體歐盟於太陽光電系統技術發展優 先順序,則如表2所示。而日本近年來,主 要發展小型居家系統(Small Home System, SHS),主攻居家使用,未來將逐漸朝向產 資料來源:S h a r p ;工研院材化所 2007.08/ 電子與電腦 71
  • 11. 表 1 :全球太陽光電系統發展 於大型之社區內各戶裝置 SHS ,且併聯至電網 項目 研究與發展 產業發展 時,使線路末端之電壓升高。 年 度 2005 2008 2010 2005 2008 2010 3.Megawatt System 產 品 Solar Home Micro-grid Large scale BIPV Solar Home Micro-grid ■區域電網電力變動偵測與控制技術:由電力公 項 目 SYS System storage with SYS system MW SYS Hydrogen 司進行區域電網電力變動之偵測,若區域電力輸 Fuel Cell 出變動劇烈時,可主動偵測與調節。 資料來源:工研院材化所 業用大型發電系統使用。 結論 前文將太陽光電供應鏈製程與技術發展作一簡述。目 最後,就太陽光電系統關鍵技術之短期發展趨勢,可 前矽晶體太陽電池供應鏈之技術發展,上游主要提升多晶 區分為 BIPV 、 Solar Home System 及 Megawatt System 矽材(Poly-silicon) 之生產效益,而矽晶片次產業則強化 (Poly-silicon) 三部分: Silicon使用效率,而太陽電池次產業技術發展目的,則為 1.BIPV 提升發電之成本效益,而系統與模組應用等終端次產業, ■半透光模組技術:雙面使用玻璃,並需配合建築需要運 則以擴大潛在應用市場為主。於此主軸之下,相關目的延 用各種厚度之玻璃。 伸作法與技術發展,如圖 3 所示。 ■Inverter小型化及美化設計技術:配合建築型式,使用小 數量之模組串接,故需使用多量但小型化 圖 3 :太陽光電供應鏈上下游技術發展趨勢魚骨圖 之 inverter ,並可配合建物,加強外觀之 美化。 ■模組支撐設計及安裝技術:因應建築多樣 化之要求,需設計選用適當之支撐設計, 及特殊之安裝方式。 ■電力系統設計模擬技術:為使BIPV能發揮 最大效用,運用電腦模擬規劃系統架構, 可獲得最大電力。 ■結構設計模擬技術:由於BIPV模組亦為建 材之一部份,故需符合建築法規對結構安 全之要求,故需運用電腦模擬技術設計支 撐結構。 2.Solar Home System ■ Inverter-電池一體型電力調節器:可避免 資料來源:工研院 I E K 表 2 :歐盟太陽光電系統技術發展優先順序 Short term Medium term Long term Highest Priority ■ Inverter lifetime ■ Grid-control and power quality ■ Large-scale storage, integration ■ High Performance>20 year ■ PV as buikling element with Fuel cells/Hydrogen ■ System designs infrastructure ■ Module integrated electronics+stonage Medium Priority ■ Energy rating ■ Small-scale storage ■ (module-integrated) 資料來源:PVNET European Roadmap for PV R&D, European Commison (2004);工研院材化所 72 CompoTech Asia / 2007.08