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什么是 SECSGEM.pdf
- 2. SECS（SEMI 设备通信标准）/GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和晶圆厂主机 之间通信的通信接口协议。Fab 主机是一个使用SECS/GEM 协议控制和监控设备处理 的软件应用程序。符合 SECS/GEM 的设备可以使用 TCP/IP（使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 – HSMS）或RS-232（使用SEMI 标准E4 – SECS-I）与晶圆厂主机通信。 SECS/GEM 标准接口用于启动和停止设备处 理、收集测量数据、选择产品配方和更改变 量。使用SECS/GEM，所有这些都可以以标准 方式执行。SECS/GEM 协议已由非营利协会 SEMI（国际半导体设备和材料）标准化。查看 www.SEMI.org 了解更多关于SEMI 标准和 SECS/GEM 协议的信息。
- 3. 简而言之，SECS/GEM 标准定 义了消息、状态机和场景，以 使工厂主机应用程序能够控制 和监控制造设备。GEM 标准正 式指定为SEMI 标准E30，但通 常称为GEM 或SECS/GEM 标 准。GEM 对设备制造商和设备 供应商都有好处，因为它定义 了一组通用的设备行为和通信 能力，以提供功能以及支持制 造的灵活性。由于GEM 标准只 有少数半导体特有的特性，它 也被其他制造业采用，例如光 伏。
- 4. 半標準： 半標準： 半標準： E30 : 製造設備 E30 : 製造設備 E30 : 製造設備 GEM 通信和控 GEM 通信和控 GEM 通信和控 制通用模型規 制通用模型規 制通用模型規 範 範 範 E5 : SEMI 設備 E5 : SEMI 設備 E5 : SEMI 設備 通信標準2 消 通信標準2 消 通信標準2 消 息內容規範 息內容規範 息內容規範 (SECS-II) (SECS-II) (SECS-II) E37: 高速SECS E37: 高速SECS E37: 高速SECS 消息服務 消息服務 消息服務 (HSMS) 通用服 (HSMS) 通用服 (HSMS) 通用服 務規範 務規範 務規範 E37: 高速SECS E37: 高速SECS E37: 高速SECS 消息服務 消息服務 消息服務 (HSMS) 通用服 (HSMS) 通用服 (HSMS) 通用服 務規範 務規範 務規範
- 6. 由於SECS/GEM 是一種通信協議，它獨立於平台和技術以及編程語言。 連接的主機端在工廠提供的計算機系統上執行，連接的設備端在設備製 造商提供的控制器計算機上運行。這為工廠和設備製造商提供了互操作 性、靈活性和平台獨立性。晶圓廠和OEM 都可以開發他們的軟件應用 程序，而不必擔心通信兼容性，只要他們都遵守SECS/GEM 標準。 SECS/GEM 軟件解決方案的最佳報價 EIGEMEquipment EIGEMEquipment EIGEMEquipment EIGEM300Equipment EIGEM300Equipment EIGEM300Equipment EIGEMBox EIGEMBox EIGEMBox EIGEMHost EIGEMHost EIGEMHost EIGEMSim EIGEMSim EIGEMSim
- 7. eInnoSys 為設備製造商(OEM) 和工廠（FAB 或ATM）提供SECS/GEM 軟件解決方 案。通過將eInnoSys 的EIGEMEquipment 即插即用軟件與設備的設備控制器軟件 集成，OEM 可以顯著降低使其設備具備SECS/GEM 能力所需的成本和時間。同 樣，EIGEMHost 是一個SECS/GEM 軟件，用於FAB 和ATM（裝配和測試製造）與 工廠中的各種設備進行通信。EIGEMSim 是一款用於SECS/GEM 測試的模擬器軟 件。它是可以配置為主機或設備來測試對方的SECS/GEM通信的軟件。 SECS 描述了主機和設備之間使用單一連接的通信。在最初的概念中，甚至在今天 最常見的場景中，設備都提供了一個SECS 接口，供單個主機獨享。SECS 定義的消 息類型是部分不對稱的——一些消息類型僅定義為主機使用，其他消息類型僅定義 為設備，但也有許多定義為任何一方的相同用途。