クリーンルーム清掃 目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内 の清浄度の維持に務める。

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クリーンルーム清掃管理
目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内
の清浄度の維持に務める。
作成：クレイン テクノ コンサルティング
作成日：２０１３年８月２０日
URL： http://crane-techno.com/

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目次：
１．ＣＲ静電床の清掃 ・・・・・・・P2,3
２．ＣＲ天井の清掃 ・・・・・・・P4
３．ＣＲ壁の清掃 ・・・・・・・P5
４．ＣＲ設備・治工具の清掃 ・・・・・・・P6,7,8
５．ＣＲ清浄装置の清掃 ・・・・・・・・P9,10
６．ＣＲ清掃用具の管理 ・・・・・・・P１１
７．ＣＲ清掃人員・教育 ・・・・・・・P12
８．各清掃方法の効果 ・・・・・・・P13
９．クリーンルーム清掃方法 ・・・・・・・P14

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１．ＣＲ静電床の清掃
１－１：日常清掃（頻度：毎日）
①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、
その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。
②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）
専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く
良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。
純水 CR用ワイパー
目的：
ダストを吸引
目的：
汚れを拭き取る
目的：
ダストを吸引
一方向拭きは一番効果的な清掃方法

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１－２：定期清掃（頻度：毎週）
①初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水＋洗浄液使用）
②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）
拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。
純水 CR用ワイパー
①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って
から清掃面を拭く
CR用ワイパー純水+洗浄液
ポリシャーを使用した方が汚れが
綺麗に取れる
目的：
汚れを拭き取る
目的：
汚れを拭き取る
目的：
汚れを拭き取る
水拭きは良く絞ってから拭く

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２．CR天井の清掃
２－１：定期清掃（頻度：毎月）
①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）
純水
天井
脚立等を使用して安全に注意して清掃のこと

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３．ＣＲ壁の清掃
３－１：定期清掃（頻度：毎月）
①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）
純水
上から下へ拭く。
上から下へ拭く

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４．ＣＲ設備・治工具の清掃
４－１：日常清掃（頻度：毎日）
①設備・治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。
②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。
（特に角部、内部）
③各設備毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。
設備の外側
両面テープ清掃
設備の内側、角部
両面テープ清掃
水拭きは良く絞ってから拭く

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４－２：定期清掃（頻度：毎月）
①ＣＲ専用ワイパー清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から設備・治工具
の外、内側を一方向拭きを行う。
②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く
良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。
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設備の外・内側
清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）による清掃
設備の外・内側
純水による清掃
（純水＋洗浄液使用） （純水使用）
角部はゴミが残りやすので要注意

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４－２：定期清掃（頻度：毎月）
①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）
純水
ダクト上設備天井
水拭きは良く絞ってから拭く

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５．ＣＲ清浄装置の清掃
５－１：定期清掃（頻度：毎日）
①エアーシャワー内部（下部）のダストを掃除機で除去する。
②エアーシャワー内部（下部、壁）を一方向水拭き清掃する。
（特に角部）
エアーシャワー内部
水拭きは良く絞ってから拭く
エアーシャワー内部

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５－２：定期清掃（頻度：毎月）
①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除
機で除去する。
②次に一方向水拭き清掃する。
（特に角部）
エアーシャワー下部
（取り付け板を外した状態）
水拭きは良く絞ってから拭く
エアーシャワー壁部
（取り付け板を外した状態）

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６．清掃用具のクリーニング管理
ＯＫ限度 ＮＧ限度
１）掃除機：
使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。
（目的：使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く）
２）ワイパー：
限度基準以上になったら交換ＯＫ限度/NG限度サンプルにて判定
３）両面ローラー：汚れが限度基準以上になったら交換
４）粘着マット：汚れが限度基準以上になったら交換
クリーニング用具によるCR汚染がないように置き場所もCR外とする事

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７．ＣＲ清掃教育＆清掃資格
1) 新人教育としＣＲ内清掃についての意義、方法を
教育する。
2)ＣＲ内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育
を行う。
３）最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。
CR清掃の意義と方法を新人に教育すること

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８．各清掃方法の効果
一方向水拭きが一番効果あり

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９．クリーンルーム清掃方法
クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度
日本空気清浄協会・指針
毎日 毎週 毎月
クラス３
クラス４
上記以外 B清掃 A清掃 1回/日
クラス３
クラス４
上記以外 1回/2ヶ月
清掃方法A: 清掃方法B:
①次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。
①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って
から清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具
専用洗剤＋純水 拭き取り用具
③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。
②次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。
純水 拭き取り用具
③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。
1回/日
天井
B清掃 1回/月
床
B清掃 A清掃
部屋の位置 レベル
ふき取り方法とその頻度
真空掃除
一方向水拭きがBEST