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クリーンルーム清掃

クリーンルーム清掃
目的:クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内
の清浄度の維持に務める。

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クリーンルーム清掃

  1. 1. 1 クリーンルーム清掃管理 目的:クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内 の清浄度の維持に務める。 作成:クレイン テクノ コンサルティング 作成日:2013年8月20日 URL: http://crane-techno.com/
  2. 2. 2 目次: 1.CR静電床の清掃 ・・・・・・・P2,3 2.CR天井の清掃 ・・・・・・・P4 3.CR壁の清掃 ・・・・・・・P5 4.CR設備・治工具の清掃 ・・・・・・・P6,7,8 5.CR清浄装置の清掃 ・・・・・・・・P9,10 6.CR清掃用具の管理 ・・・・・・・P11 7.CR清掃人員・教育 ・・・・・・・P12 8.各清掃方法の効果 ・・・・・・・P13 9.クリーンルーム清掃方法 ・・・・・・・P14
  3. 3. 3 1.CR静電床の清掃 1-1:日常清掃(頻度:毎日) ①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、 その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。 ②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用) 専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。 純水 CR用ワイパー 目的: ダストを吸引 目的: 汚れを拭き取る 目的: ダストを吸引 一方向拭きは一番効果的な清掃方法
  4. 4. 4 1-2:定期清掃(頻度:毎週) ①初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水+洗浄液使用) ②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用) 拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 純水 CR用ワイパー ①拭き取り用具を清掃用水溶液(専用洗剤+純水)浸し、絞って から清掃面を拭く CR用ワイパー純水+洗浄液 ポリシャーを使用した方が汚れが 綺麗に取れる 目的: 汚れを拭き取る 目的: 汚れを拭き取る 目的: 汚れを拭き取る 水拭きは良く絞ってから拭く
  5. 5. 5 2.CR天井の清掃 2-1:定期清掃(頻度:毎月) ①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用) 純水 天井 脚立等を使用して安全に注意して清掃のこと
  6. 6. 6 3.CR壁の清掃 3-1:定期清掃(頻度:毎月) ①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用) 純水 上から下へ拭く。 上から下へ拭く
  7. 7. 7 4.CR設備・治工具の清掃 4-1:日常清掃(頻度:毎日) ①設備・治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。 ②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。 (特に角部、内部) ③各設備毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。 設備の外側 両面テープ清掃 設備の内側、角部 両面テープ清掃 水拭きは良く絞ってから拭く
  8. 8. 8 4-2:定期清掃(頻度:毎月) ①CR専用ワイパー清掃用水溶液(専用洗剤+純水)浸し、絞って から設備・治工具 の外、内側を一方向拭きを行う。 ②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。 。 設備の外・内側 清掃用水溶液(専用洗剤+純水)による清掃 設備の外・内側 純水による清掃 (純水+洗浄液使用) (純水使用) 角部はゴミが残りやすので要注意
  9. 9. 9 4-2:定期清掃(頻度:毎月) ①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施(純水使用) 純水 ダクト上設備天井 水拭きは良く絞ってから拭く
  10. 10. 10 5.CR清浄装置の清掃 5-1:定期清掃(頻度:毎日) ①エアーシャワー内部(下部)のダストを掃除機で除去する。 ②エアーシャワー内部(下部、壁)を一方向水拭き清掃する。 (特に角部) エアーシャワー内部 水拭きは良く絞ってから拭く エアーシャワー内部
  11. 11. 11 5-2:定期清掃(頻度:毎月) ①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除 機で除去する。 ②次に一方向水拭き清掃する。 (特に角部) エアーシャワー下部 (取り付け板を外した状態) 水拭きは良く絞ってから拭く エアーシャワー壁部 (取り付け板を外した状態)
  12. 12. 12 6.清掃用具のクリーニング管理 OK限度 NG限度 1)掃除機: 使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。 (目的:使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く) 2)ワイパー: 限度基準以上になったら交換OK限度/NG限度サンプルにて判定 3)両面ローラー:汚れが限度基準以上になったら交換 4)粘着マット:汚れが限度基準以上になったら交換 クリーニング用具によるCR汚染がないように置き場所もCR外とする事
  13. 13. 13 7.CR清掃教育&清掃資格 1) 新人教育としCR内清掃についての意義、方法を 教育する。 2)CR内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育 を行う。 3)最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。 CR清掃の意義と方法を新人に教育すること
  14. 14. 14 8.各清掃方法の効果 一方向水拭きが一番効果あり
  15. 15. 15 9.クリーンルーム清掃方法 クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度 日本空気清浄協会・指針 毎日 毎週 毎月 クラス3 クラス4 上記以外 B清掃 A清掃 1回/日 クラス3 クラス4 上記以外 1回/2ヶ月 清掃方法A: 清掃方法B: ①次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 ①拭き取り用具を清掃用水溶液(専用洗剤+純水)浸し、絞って  から清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具 専用洗剤+純水 拭き取り用具 ③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。 ②次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具 ③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。 1回/日 天井 B清掃 1回/月 床 B清掃 A清掃 部屋の位置 レベル ふき取り方法とその頻度 真空掃除 一方向水拭きがBEST

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