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2014年 量子デバイス工学研究室紹介
- 1. １ 量子デバイス工学研究室 （教員 花尻達郎） 次世代を担うエレクトロニクスには何が必要か？ Density of Electronsconfined in Top Si Layer e e at G G So u nt ro de F i Ox To er ay L Si p rce d rie e Bu xi d O Dr ai n Su Si at e str b 花尻 中島（准教授） 東（ＰＤ研究員） 山田（Ｄ３） 吉原（Ｄ１） 趙（Ｄ１） 西澤・内田・清水・安藤（Ｍ１）
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- 3. ●何をしている研究室？？ ３ ●エレクトロニクスを軸足に、ナノからバイオまで たとえば・・・ 実験 Ｃ60 ＣＮＴ Ｓｉ表面の原子像 Al electrode Poly-Si electrode マイクロ流路デバイス GateOxide Buried Oxide (BOX) ＤＮＡ Si substrate ＣＮＴとＤＮＡとの複合体 4nm ナノＳｉ超薄膜のＴｒ．の断面写真 バイオ シミュレーション ナノ
- 4. ●たとえば 何ができるの？ （例１） ４ はかる 設計する Density of Electronsconfined in Top Si Layer e at G So u t on Fr i de Ox To Dr ai n r ye La i pS d rie Bu xi de O rce ナノ ータ メ ー級の 超薄膜シリ ン層 コ 多結晶シリ ン電極 コ ゲート 酸化膜 ト ー内の電⼦子の t e ランジスタ tra bs ふるまいをシミ ュレーショ ン Su Si 最先端のトランジスターを、 つく る アルミニウム電極 埋込み酸化膜 シリ ン基板 コ ト ランジスタ 断⾯面の電⼦子顕微鏡写真 ー ・考え（設計）、・シミュレーションで動作を確かめ、 ・必要があればシミュレーターも作り、 ・実際にクリーンルームで試作し、・特性を評価する・・・ これらを全て、自分たちの手で行なっています。
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- 6. ● 先輩たちの活躍ぶり（１） ６ ほんの一例です。 ＳＯＱ(Silicon On Quartz)基板上のＭＯＳＦＥＴ 佐々木健次氏（当時、Ｍ１） ベストペーパーアワード受賞 （薄膜デバイス研究会） 松本善哉氏の名前入りで 海外のエレクトロニクスの 教科書に成果が引用 非対称トンネル障壁を用いた 単電子トランジスタ
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- 9. ● 大切なのはAgeではない。Experience！ ▲ ホンモノのExperienceをどれだけ体験してきたか？ ▲ ホンモノに触れる。 ▲仲間を持つ。 ▲ 一度は、自分の手を動かしてトライしてみる。 ● その格好な場所の第一候補が、“研究室” “研究室”は、“道場”である。 それぞれ自分の夢を持って、 お互いに励まし合い教えあう場所。 ● 世界トップレベルは当たり前。 それを、スタッフ（教職員、若手研究者）と 学生との２人３脚でやっています。 先輩たちの活躍ぶりが何よりの証拠。 ８
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