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SIMS
Se c o n d a r y Io n Ma s s Sp e c t r o m e t r y
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SIMS Mo d e l
• CAMECA ims-6 f
• AT O MI K A sims-4 5 0 0

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C A ME C A i m s -6 f
High Transmission and High Mass Resolution

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A T O MIK A s i m s 4 5 0 0
High D ep th Resolution, U ltra-S hallow J unc tion

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+
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P rimary I on B eam
S ec ondary I ons
S amp le
S p uttered P artic les
Fundamental Principle
( O 2
+, O -, C s+, A r+)
To Mass S p ec trometer

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I o n S o urce S electio n
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O p t i m a l a n a l y s i s b y O 2
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( p o s i t i v e i o n s d e t e c t e d )
O p t i m a l a n a l y s i s b y C s +
( n e g a t i v e i o n s d e t e c t e d )
C s +
c l u s t e r i o n s

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Strengths:
Excellent detection limit (p p m to
p p b )
C a n detect a ll elements a nd
is otop es , inclu ding H
G ener a l dep th r es olu tion 1 0 ~ 2 0
nm, 1 nm is p os s ib le
Q u a ntif ica tion b y s ta nda r d
r ef er ence
I ns u la tor ca n b e mea s u r ed.