ขั้นตอนการประกอบพิธีกรรมแซนโฎนตา มีดังนี้ 1. การเตรียมอุปกรณ์เครื่องเซ่นไหว้ 2. การเซ่นไหว้ศาลปู่ตาประจำหมู่บ้าน 3. การเซ่นไหว้ศาลพระภูมิประจำบ้าน 4. การประกอบพิธีกรรมแซนโฏนตาที่บ้าน 5. การประกอบพิธีกรรมบายเบ็น 6. การประกอบพิธีกรรมที่วัด (ประกอบพิธีการแซนโฏนตา บางท้องถิ่นอาจมีความแตกต่างกันบ้างเล็กน้อย) * เบ็นตุ้ย หมายถึง สารทเล็ก * เบ็นทม หมายถึง สารทใหญ่ อุปกรณ์และเครื่องเซ่นที่ใช้ในพิธีกรรมได้ ดังนี้ 1. ข้าวต้ม ข้าวสุก กล้วย อ้อย เหล้า อาหารคาว และพวกแกงต่างๆ 2. ขนมหวานต่างๆ เช่น ขนมชั้น ขนมกง ทองหยิบ ฝอยทอง เป็นต้น 3. หมากพลู ยาสูบ หรือบุหรี่ 4. กระเชอ 1 สำรับ หรือภาชนะอย่างอื่น 5. ธูป 1 ดอก เทียน 1 เล่ม 6. บายเบ็น (บายข้าว บายเบ็นทำจากข้าวเหนียวที่สุกแล ้วผสมกับงาคลุกเคล้าให้เข้ากัน แล้วปั้นเป็นก้อนๆ วางบนถาด หรือจาน) 7. เงิน 8. ใบตอง 9. จาน หรือถาด 10. เรือ หรือกระทง (ที่ทำจากกาบกล้วยหรือกาบหมากก็ ได้) 11. อาจมีกระดูกของผู้ล่วงลับไปแล้วใส่โกศมาวางร่วม 12. อื่นๆ (แล้วแต่บางหมู่บ้านอาจมีสิ่งของใช้ต่างๆ กันไป ) 6. พิธีกรรม