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el SILICIO
Su majestad
ALGUNOS DATOS sobre el Silicio
• No se encuentra en
la naturaleza como
sustancia pura
• Existe en forma de
cuarzo (SiO2 )
• Es el mineral más
abundante en la
corteza terrestre –
presenta unos 14% Temp. fusión 1410° C
Temp. Evapor. 2355° C
Densidad 2.33 g/cm3
Descubrimiento del Si
• 1824 el químico
sueco Jons Jacob
Berzelius descubre e
y describe las
propiedades del Si.
• 1811 se obtiene en
forma impura
• 1854 se obtiene el
Si en forma cristalina
mediante electrólisis
A partir de los años
1899 - 1905 el Si se
obtiene en hornos
de arco voltaico
Los primeros
ordenadores
EDVAC
ENIAC
ENIAC
El Si para la microelectónica
1. Se obtiene como resultado de la reacción
SiO2 + C  Si + CO2
(grado metalúrgico de la pureza 98% )
2. Para eliminar el resto de las impurezas
SiC + SiO2  3 Si + 2 CO
3. Se calienta hasta unos
1400 ° C, en una cámara de vacío
4. Se enfria con una velocidad
determinada y se obtiene una forma
cilíndrica de 3,8 a 10,2 cm diámetro
5. Se calienta una vez más mediante un
horno de calentación zonal - de tal
manera todas otas impurezas se eliminan
El Si para la microelectónica
Se trabaja en condiciones especiales
Etapas tecnológicas
• Se corta el cilindro en placas de 0.004 a 0.01
cm
• La superficie se cubre con SiO2 para eliminar la
oxidación posterior
• La superficie se cubre con una placa resistente
a la luz (photoresist)
• Se obtienen los pasos p-n (0.0001 cm) y las
zonas de diferente conductividad
• Se controla a cada paso la concentración de
impurezas
Etapas
tecnológicas
Se trabaja en condiciones especiales
Los métodos utilizados
La difusión (816-1205°C) la sustancia
dopante, en estado gaseoso, se
transporta sobre la superficie de la placa
mediante un gas inerte (Ar) - largas áreas
La implantación de iones - en tubo de
vacío, dos electrodos y iones acelerados
en un campo eléctrico - muy preciso, más
lento que la difusión
Etapas tecnológicas
Se trabaja en condiciones especiales
Лили Самуркова
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El silicio y los circuitos integrados

  • 2.
  • 3.
  • 4. ALGUNOS DATOS sobre el Silicio • No se encuentra en la naturaleza como sustancia pura • Existe en forma de cuarzo (SiO2 ) • Es el mineral más abundante en la corteza terrestre – presenta unos 14% Temp. fusión 1410° C Temp. Evapor. 2355° C Densidad 2.33 g/cm3
  • 5. Descubrimiento del Si • 1824 el químico sueco Jons Jacob Berzelius descubre e y describe las propiedades del Si. • 1811 se obtiene en forma impura • 1854 se obtiene el Si en forma cristalina mediante electrólisis A partir de los años 1899 - 1905 el Si se obtiene en hornos de arco voltaico
  • 9. El Si para la microelectónica 1. Se obtiene como resultado de la reacción SiO2 + C  Si + CO2 (grado metalúrgico de la pureza 98% ) 2. Para eliminar el resto de las impurezas SiC + SiO2  3 Si + 2 CO
  • 10. 3. Se calienta hasta unos 1400 ° C, en una cámara de vacío 4. Se enfria con una velocidad determinada y se obtiene una forma cilíndrica de 3,8 a 10,2 cm diámetro 5. Se calienta una vez más mediante un horno de calentación zonal - de tal manera todas otas impurezas se eliminan El Si para la microelectónica
  • 11. Se trabaja en condiciones especiales
  • 12. Etapas tecnológicas • Se corta el cilindro en placas de 0.004 a 0.01 cm • La superficie se cubre con SiO2 para eliminar la oxidación posterior • La superficie se cubre con una placa resistente a la luz (photoresist) • Se obtienen los pasos p-n (0.0001 cm) y las zonas de diferente conductividad • Se controla a cada paso la concentración de impurezas
  • 14. Se trabaja en condiciones especiales
  • 15. Los métodos utilizados La difusión (816-1205°C) la sustancia dopante, en estado gaseoso, se transporta sobre la superficie de la placa mediante un gas inerte (Ar) - largas áreas La implantación de iones - en tubo de vacío, dos electrodos y iones acelerados en un campo eléctrico - muy preciso, más lento que la difusión
  • 16.
  • 17.
  • 19. Se trabaja en condiciones especiales
  • 20.
  • 21.
  • 22.
  • 23.
  • 24.
  • 25.
  • 26.
  • 27.
  • 28. Лили Самуркова 164 ГПИЕ “М. де Сервантес”, София 2011