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  1. 1. 투명 전도성 전자파 차폐막에 대한 연구 참가자 : 홍준표, 이준식 (전기공학과) PEDAL Photoelectric & Energy Device Applications Lab 21년도 공과대학 EATED 프로그램
  2. 2. 1. 전자파 간섭현상 (EMI) 3. 연구 과정 및 분석 목차 4. 향후 연구 계획 2. 연구 계획
  3. 3. 1. 전자파 간섭현상 (EMI)
  4. 4. EMI : Electromagnetic Interference (전자파 간섭) ■ 전자파 : 전계와 자계가 90도로 이루어진 전파 ■ 전자기기간의 노이즈 발생 ■ 인간의 인체에 유해 (각종 질환 유발)
  5. 5. Shielding Effectiveness Good conductor approximation Thickness at less than skin depth (Z0 = 377ohm) Requirement of commercial EMI Shielding Application SE ≥ 20dB Sheet resistance (면저항)의 영향이 지배적 EMI SE (Shielding Effectiveness) Equation
  6. 6. 2. 연구 계획
  7. 7. 투명 전도성 전자파 차폐 필름 연구 내용 스마트폰 전면 디스플레이 TV 디스플레이 투명 태양전지의 전극 윈도 dielectric metal substrate dielectric metal substrate dielectric applicable
  8. 8. 사용 장비 증착 장비 ▶ PVD (Physical Vapor Deposition) <Sputtering> ▶ Plasma ion (Ar+)을 Target에 충돌시켜 분리된 Target atom을 Substrate에 증착시 키는 공정 ▶ CVD (chemical Vapor Depositon)보다 다양한 물질 증착 가능 ▶ 우수한 Step coverage, 고순도 증착 ▶ 대면적 공정 가능 → 상업적 강점
  9. 9. 측정 장비 <UV-vis spectrophotometer> <4-point probe> <Hall effect measurement> ▶ 광학적 투과도/반사도/굴절률 측정 ▶ 박막의 면저항 (Sheet resistance) 측정 ▶ 재료의 전기전도도/캐리어농도/ 전자이동도 등 전기적 특성 측정
  10. 10. 3. 연구 과정 및 분석
  11. 11. ITO Ag glass DC 55W Ar 30sccm Pressure 3mtorr Temp RT Pre-sputtering 3min DC 300W Ar 30sccm Pressure 5mtorr Temp 300℃ Pre-sputtering 3min ITO Ag EMI Shielding film Fabrication (1)
  12. 12. Transmittance measurement (Glass/ITO/Ag) 같은 ITO조건에서 Ag를 변화시켰을 때 ITO Ag glass
  13. 13. 같은 Ag조건에서 ITO를 변화시켰을 때 Transmittance measurement (Glass/ITO/Ag) ITO Ag glass ITO가 두꺼워 질수록 Peak point 가 장파장쪽으로 가지만 225nm부 터는 투과율이 저하됨
  14. 14. ITO single film 실험 Structure Rs(Ω/□) SE(dB) T%(at550nm) Glass/ITO90nm 59.6 12.38761009 71.412 Glass/ITO135nm 28.82 17.5481144 79.97 Glass/ITO180nm 22.85 19.32232096 80.536 Glass/ITO225nm 21.3 19.86851761 75.54 ITO가 두꺼워 질수록 Peak point 가 장파장쪽으로 가지만 225nm부 터는 투과율이 저하됨 ITO single layer의 Trend와 동일
  15. 15. Result (Glass/ITO/Ag) Structure Rs(Ω/□) SE(dB) T%(at550nm) Glass/ITO90nm/Ag2.5nm 24.66 18.73425 58.986 Glass/ITO90nm/Ag5nm 6.728 29.25312 49.257 Glass/ITO90nm/Ag10nm 2.489 37.69967 27.306 Glass/ITO135nm/Ag2.5nm 26.9 18.06987 59.685 Glass/ITO135nm/Ag5nm 8.491 27.30975 47.235 Glass/ITO135nm/Ag10nm 2.429 37.90889 23.517 Glass/ITO180nm/Ag2.5nm 18.12 21.14028 66.341 Glass/ITO180nm/Ag5nm 8.005 27.80025 54.88 Glass/ITO180nm/Ag10nm 2.471 37.76189 31.234 Glass/ITO225nm/Ag2.5nm 14.97 22.66557 43.785 Glass/ITO225nm/Ag5nm 6.27 29.84509 42.393 Glass/ITO225nm/Ag10nm 2.346 38.2071 26.565
  16. 16. EMI Shielding film Fabrication (2) DC 55W Ar 30sccm Pressure 3mtorr Temp RT Pre-sputtering 3min DC 300W Ar 30sccm Pressure 5mtorr Temp 300℃ Pre-sputtering 3min ITO Ag ITO Ag glass ITO
  17. 17. ITO Ag glass ITO Transmittance measurement (Glass/ITO/Ag/ITO)
  18. 18. Result (Glass/ITO/Ag/ITO) Structure Rs(Ω/□) SE(dB) T%(at550nm) Glass/ITO90nm/Ag2.5nm/ITO90nm 18.92 20.79859 43.316 Glass/ITO135nm/Ag2.5nm/ITO135nm 12.52 24.1127 25.421 Glass/ITO180nm/Ag2.5nm/ITO180nm 10.75 25.3598 27.105 Glass/ITO225nm/Ag2.5nm/ITO225nm 10.84 25.2913 32.564 Glass/ITO90nm/Ag5nm/ITO90nm 9.954 25.99324 38.355 Glass/ITO135nm/Ag5nm/ITO135nm 8.29 27.50897 23.802 Glass/ITO180nm/Ag5nm/ITO180nm 4.527 32.59615 23.198 Glass/ITO225nm/Ag5nm/ITO225nm 7.814 28.00156 34.155 Glass/ITO90nm/Ag10nm/ITO90nm 1.891 40.0591 29.51 Glass/ITO135nm/Ag10nm/ITO135nm 2.151 38.95197 14.674 Glass/ITO180nm/Ag10nm/ITO180nm 1.564 41.69326 19.313 Glass/ITO225nm/Ag10nm/ITO225nm 1.662 41.16985 28.88
  19. 19. Comparison ITO/Ag vs ITO/Ag/ITO Structure Rs(Ω/□) SE(dB) T%(at550nm) Glass/ITO90nm/Ag2.5nm 24.66 18.73425 58.986 Glass/ITO90nm/Ag5nm 6.728 29.25312 49.257 Glass/ITO90nm/Ag10nm 2.489 37.69967 27.306 Structure Rs(Ω/□) SE(dB) T%(at550nm) Glass/ITO90nm/Ag2.5nm/ITO90nm 18.92 20.79859 43.316 Glass/ITO90nm/Ag5nm/ITO90nm 9.954 25.99324 38.355 Glass/ITO90nm/Ag10nm/ITO90nm 1.891 40.0591 29.51 다른 대조군들도 Ag 5 nm에서 SE 하락세를 보임 ITO/Ag ITO/Ag/ITO
  20. 20. Hall Effect Measurement Ag Variation (fixed ITO) ITO Varation (fixed Ag)
  21. 21. EMI Shielding 시연
  22. 22. 4. 향후 연구 계획
  23. 23. ITO ITO/Ag/ITO Quantum dot issue glass ITO Ag Ag Ag Ag Ag ITO Ag glass ITO 300℃
  24. 24. ITO_RT Ag glass ITO_RT ITO_300℃ Ag glass ITO_RT_RTP Next plan – 투과율과 EMI SE 최적화 ITO Ag PET ITO ITO Ag PET Flexible Device
  25. 25. Thank you  PEDAL Photoelectric & Energy Device Applications Lab

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