Abt 55 Manual

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ABT-55 manual in Japanese

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Abt 55 Manual

  1. 1. AS 丁目 55AC >T
  2. 2. 目次1.真空系の操作 11 - 始動 12 - 鏡へ空導及排 体の気入び気 13 - 停止 14 - 停し時 電た 15 - 断し時 水た2 試料の交換 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 43 試料装置の取り扱い方 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 6 31 - 仕様 32 - 試 の 動 料 移 33 - 試電の定 料流測 34 - 試へ電印(プョ) 料の圧加オシン 35 - 試スークンのい 料テジラプ使方 36 - 試 室 観 料 外 37 - 試の動き範 料移でる囲4 電子銃カー . ト リ ッジの交換 ….....・ H ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1 75 画像の出し方 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ p ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1 9 51 - 装の期態 置初状 52 - 電ビム出方 子ーのし6 画像の調整 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 3 61 - ピトわ ン合せ 62 - 倍の択 率選 63 - 観 す 視 の 動 察 る 野 移 64 - スッサズ選 ポトイの択 65 - 加 電 の 択 速 圧 選 66 - 非収の正つて 点差補にい 67 - 画のる、ンラト調 像明さコトスの整 68 - 可 絞 の い 動 り 使 方 69 - 固絞のい 定り使方7 写真による画像の記録 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 9 71 フトタト - ォスー 72 撮時露 - 影の出 7 3 AB の 定 - C 設 74 手で出合せ写をる - 動 露 を わ て 真 撮 時汽 75 - デ タ リ ト つ て ー プ ン に い8 D N M CF C S. Y A I OU のい 使方
  3. 3. 9 反射電子像の観察 . ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 31 SA0 IL.G N 及 び S C AN M O DE の 切 換 ・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・ 3 41 フ1 ィ. ラ メ ン ト の 交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 61. 2 アー、リブスッ類交... ノドスー、リトの換..・ H ・...・ H ・....・ H ・-・;・ H ・ H ・...・ .….. H ・.. 3 71 可り換3 動の . 絞交 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 91. 4 電カリ、ークニ 子ーッアドリン 銃トジノのーグ15. Iシレ ンー チタ ( SE 検〉 出器 の 交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4 21 D A6. U LM G I A NFICATION の使い方〈オプション) ……………...・ H ・..… 4 4 1- 異 る 率 の 時 示 61 な倍で同表 1- 異 像 同 表 6 2 種の時示17. 半 体 射 子 出 の い 〈 プ ョ ) 導 反 電 検 器 使 方 オ シ ン ……...・ H ・ … ・ … … -………… 4 5 1- 反 電 像 観 71 射子の察 1- エ ク ロ ・ ャ リ グ タ ン 観 7 2 レトンチネンパーの察18. G M ACONTRO A M し 使 方 オ シ ン の い 〈 プ ョ )1 S G A POESN9 I N L RCSIG. のい〈プョ) 使方オシン ・… …… H ・ H ・.…… .…… 5 02 YDT0 -UI. MLO OAN のオ〉 使プ いシ 方ョ (ン …. …. …. …・ H ・…… .… .… …… 5 12 C NR T T O T L CRETO1 A O A I N/ I T ORCIN.S のい〈プョ) 使方オシン… 5 2 2 -1 SCANROTATION 1 機能 2- T L CRETO 1 2 I T ORCIN 機能22. キラタ表装のい〈プョ〉 ャクー示置使方オシン23. 防ネ整 振の バ調 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5 62 主4 な. 規格 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5 72 標属5 準品 . 付 .・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ … 6 0
  4. 4. 操作部パネル外観 反射電子像観察装置シグナノレフ。ロセシング yーモジュレイション デュアノレ・マグ オプション用パネル外観
  5. 5. ABT-55 外観
  6. 6. g~) 1I間関聞開閉民滅蕊 鏡体部外観
  7. 7. -・
  8. 8. 1.真窒菜の操作1 ・1. 始動 -冷却水の水道栓を開け、水を毎分2£ 程度〈水温20°C ±5°C) 流します。 ・電源配電盤ACI00V のスイッチを投入、鏡体部前パネルの POWER スイッチ①を 押します。 POWER スイッチ①が緑色に点灯し、 START UP の LED (オレンジ色) ③が点灯します。 ・規定のシーケンスに従い、油拡散ポンプの加熱、鏡体内の排気等を経て、約 20 分後 に、操作パネル上の LED メータ③がオレンジ色の領域まで点灯し、更に l 分経っと、 HV スイッチ⑫の上半分(緑色〉が点灯します。この時には、 START UPLED ③は消えています。 ( ) 動 後 油 散 ン 加 開 前 、 旦 体 を 田 ポ プ よ 排 注 始 直 、 拡 ポ プ 熱 始 に 一 鏡 内 油 転 ン に り 気しますが、この時一定時間内に、真空度が規定通り上がらない場合には、 鏡 に 空 れ あ か 油 転 ン が 作 て な と な 次 よ 体 真 漏 が る 、 回 ポ プ 動 し い い み し の う な警報を発します。 ・鏡体部前パネルの START UPLED ③が点滅し、 AIR スイッチ②が点灯 して鏡体内に空気が導入されます。 ・操作部コンソール内のブザーが約 0.5 秒周期で断続的に鳴ります。 ただし、装置の設置直後や、長期間装置を稼動させなかった後に、始動さ せた場合、油回転ポンプによる排気に時間がかかり、この警報が発せられる 場合があります。必要な処置を行なった後、 AIR スイッチ②を LED が消え るまで押すと、警報が止み、通常のシーケンスに戻ります。くりかえし警報 が発せられるようであれば、 POWER スイッチ①を押し、装置を停止させ、 サービスコールして下さい。 ·HV スイッチ⑫の上半分が点灯した状態から同スイッチを押すと、その下半分(オ レンジ色)が点灯し、ブラウン管に画像が表示されます。このとき LED メータ③ は真空度の表示から、ビームエミッションの表示に切り換わります。又、メータの 機能を示す LED も VACUUM ①から EMISSION ⑪に切り換わります。1 ・2. 鏡体への空気導入及び排気 -鏡体部前パネルの AIR スイッチ②を同スイッチの LED (オレンジ色)が点灯する まで押します。(このとき、ブラウン管に画像が表示されていても画像を消す必要 はありません〉 ・約 10 秒後に、鏡体内への空気導入が始まり、その後約 40 秒で鏡体内は大気圧になり ます。 ・必要な作業を行ってください。 ・作業が終わったら、 AIR スイッチ②を同スイッチの LED が消えるまで押します。 規定のシーケンスに従って鏡体内の排気が始まります。 ・約 3 分後に、操作パネル上の LED メーター③がオレンジ色の領域まで点灯し、更に 1 分経っと、 HV スイッチ⑫の上半分が点灯します。この時 HV スイッチ⑫の下半分
  9. 9. 唖 が点灯したままの状態であった場合は、上半分が点灯すると、自動的にブラウン管 に画像が表示されます。 (注)排気シーケンスの各段階が規定時間内に進まない場合、又は一旦排気が完了 した後、真空度が異常に悪くなった場合には次の警報が発せられます。 ・鏡体部前パネルの AIR スイッチ②が点滅します。 ・操作部コンソール内のブザーが約 0.5 秒周期で断続的に鳴ります。 この場合には、 AIR スイッチ②を、点滅から点灯に切り換わるまで押し、 鏡体内に空気を導入します。異常箇所(真空漏れ等)が見つかり、補修が出来 たら 2-4 の操作を行い、鏡体内を排気します。直らない場合は、 POWER スイッチ①を押してSHUT DOWN にし、サービスコールをして下さい。ト3. 停比 • SHUTDO iVN の LED (オレンジ色)⑤が点灯するまで POVER ス ッ ① 押 イ チ を し す こ と ま 。 の き PO tVER ス ッ ① 緑 に 灯 た ま あ 、 定 シ イ チ は 色 点 し ま で り 規 の ー ケ ス 従 て 置 体 、 動 に 止 る 消 ま 。 ン に っ 装 全 が 自 的 停 す と え す (注) SHUTDOWN の LED ⑧が点灯してから装置全体が停止するまでの時間は、 装 始 後 分 内 ら 十 で 。 イ ポ プ 標 仕 は 拡 ポ 置 動 数 以 な 数 秒 す メ ン ン ( 準 様 油 散 ン プ の 動 に ) 起 後 SHUT DOWN に た 合 約 し 場 は 15 分 装 全 が 止 ま で 置 体 停 し す 0 . 却 を め す 冷 水 止 ま 。 ・ 電 の イ チ 切 ま 。 配 盤 ス ッ を り す1 ・4. 停電した時 停 時 処 は に 要 り せ 。 電 よ 機 が 止 た 再 電 の 置 特 必 あ ま ん 停 に り 械 停 し ら び AC100V が 通 す の 待 、 電 確 し ら 電 る を ち 通 を 認 た PO tVER ス ッ ① 押 ま 。 の の イ チ を し す こ 後 取 扱 は 常 始 の 法 同 で 。 い 通 の 動 方 と じ す ( ) 時 電 場 は そ 度 に っ 、 置 完 に 止 る 合 、 全 注 瞬 停 の 合 、 の 合 よ て 装 が 全 停 す 場 と 完 に は停止せず、 START UP 状 に ど 場 と あ ま 。 態 も る 合 が り すト5. 断水した時 断 に り 拡 ポ プ 過 す と 同 ン 。 の 源 切 、 の う 警 水 よ 油 散 ン が 熱 る 、 ポ フ へ 電 が れ 次 よ な 報 を し す ( ) 発 ま 。 注 ・鏡体部前ノミネルの START UPLED ③及び AIR スイッチ②が点滅します 0 .操作部コンソール内のブザーが約 0.5 秒周期で断続的に鳴ります。 この場合、冷却水が再び流れ出し、油拡散ポンプの温度が正常にもどってから、 AIR スイッチ②を LED の点滅が止むまで押すと、同ポンプに電源が入り、約 16 分後 -2-
  10. 10. に画像観察が可能となります。復旧に時間がかかる場合は POVER スイッチ①を押してSHUT DOWN にします。(注)この警報は、油拡散ポンプの過熱だけでなく、同ポンプ電源ヒューズの溶断又 はヒータの断線の場合も発せられます。 ヒューズ溶断の場合は、操作部テーブル下のパネルをはずし、 F 3 (IDA) を 交換します。 -3-
  11. 11. 2. 試料の変旗21 - r 真系操」項参し鏡内空をれす 空の作のを照て体に気入ま。22 - 試装のテジラプまを計向まし 料置スークンつみ時方にわて UCAP NLM にま。に しす更 T (斜つみ 傾〉まを まし零にま。 わて度しす23 試室体側つてるチ錠はい料扉手にく試スー全がえす - 料本左にいいパンをず試室を前引と料テジ体見ま。 注:料内を時、気ささい下い 意試室部長間大にらなでさ。24- 試ホダめジ緩て料ルをヘ 料ル止ネをめ試ホダ上引 試料 ききす( 抜ま。図 1参 ) 照 ネのき悪ドイがりく時 ジ向がくラバ入にいは R (回 転つみ回て置調しす )まをし位を整ま。 M2 試料止ネジ25- 試 台 止 て る 料 を め い 2本 試 止 ネ を め の 料 め ジ 緩 、 J試 料台 試 ホ ダ り 料 を り し す ( 図 照 料 ル よ 試 台 取 出 ま 。 右 参 ) ノ 試料ホルダ26 - あかめ料固しあ試台試ホ らじ試を定でる料を料ル 6 棚ゆ ダ固しす に定ま。 ホダの定 ルへ固は 2本 試 止 ネ で め け の料めジ締つま 6 TTl1TL¢ 穴 す。 ネがんいと動原にるで意て ジ緩でる振の因なの注し 下い さ。 注意 1 : (ワーキングディスタンス)つまみを Z ----ウォーム 3mm にして使用する時は試料が試料ホル ホイーノレ ダ上面より飛び出ていると試料傾斜、試 料移動により試料が試料室内で〆ぶつかり M3 試料を損傷することがあります。試料上 試料ホル夕、.止ネジ 面は試料ホルダ上面より飛び出さないよ 図 2-1 うに試料台を試料ホルダに固定して下さ 注意 2 :料試台固すに、れれ 試を料に定るはそぞ の料従て夫必で。間 試にっ工が要す瞬接 着と、面ーと、導塗 剤か両テプか電性料 (ぺスな)ど用てさ。 銀ートどなをい下い 但、導のい料試台と し電性悪試を料にり つたき、ーン蒸しそ けとはカボを着、の 上金蒸すと,るはに にを着るかあい単金 を着てさ。し、料な 蒸し下いそて試でい 部でれ電性料銀ート 分あば導塗(ぺスな どをる要あま。 )ぬ必がりす -4-
  12. 12. 27 - 試が定れ試ホダ試ホダ付のにしみ試ホダめジ締つ、定 料固さた料ルを料ル取台穴押込、料ル止ネをめけ固し ま。 す ネがんいと動原にるで意てさ。 ジ緩でる振の因なの注し下い そ他試ホダにいもじ領行てだい のの料ル、つて同要でっくさ。28 - 試室をめパチをじす 料扉閉、ン錠閉ま。 注:料とと真シルパキグゴがいいり外かっいい確し下 意試室扉の空ー用ッンにミつてた、れかてなか認てさ29- r真 系 操 」 項 参 し 鏡 内 排 し す 空の作のを照て体を気ま。 注:空気度遅場がりすこは料ら放ガがい、料扉真パキ 意真排速のい合あま。れ試かの出ス多か試室の空ッン グ繊等ゴが着てると考らま。 に維のミ付しいこがえれす -5-
  13. 13. 8. 試料装置の取り扱い方 (図 3-1 参照)3 ・1. 仕様 -試料の大きさ 最大 5m 1 10m > ・ 試 料 ホ ル ダ の 大 き さ ( 種 7 ) ( 1) 1m 5m ゆ x 1m t 5m ( 2) 3m 2φ mx 2m t 5m ( 7 m 1 5mt ) .5 > 3 6 m x2m ( 4) 1m 0m 0 ゆ x 2m t 5m 5 0m 1 m > ( 10m x1mt ) 6 2m 1 m > ( 15m xlmt ) ( 7) 1mx 5m 0φ 1mt m .試料移動範囲 1 X方 () 向 8m (ィタカンに 0m デジルウタて 65 0 -05 7 -00 () 2 O 方 () l 向 6m (ィタカンに 0m デジルウタて 65 0 -05 7 -00 7) ( R (回転) 3) (回転つまみを回して動かします〉 360 0エンドレス(ディジタルカウンタ表示にて O~gg) 36 / 1 iiin .ー dvso ( T (傾斜)傾斜つまみを回して動かします 4) ~ l00~gOo ( Z (ワーキングディスタンス)ワーキングディスタンスつまみを回して動かし 5 ) ます。 3mm~60mm ・設置されているコネクタ () 試料電流測定用コネクタ 1 1 本(同軸コネクタ) 2 試電印るコタ子 () 料圧加為ネ(は にをすのク端 5 本 0 ) オョ プン シ ・器けト 検取ポ 出付ー 4個 所: 2次検 電出 子用 1、 E DX 検取 出付 器用 l 、 2ケ備 外 は予3 ・2 . 話移 料動 の 試移囲料きよなす 料動はのさりり。 の範試大に異ま それ料ダき対 れのホのさし ぞ試ル大にて YTZ .. をにそ動をフ 変しの範グに 数て移囲ラ しまそラ参てそ動内用下。 てすのフ照必の範でしさ い。グをしず移囲使てい ・をさい 試回せ時 料転たは Rつ を ま 時 向 す ラ 管 映 ま回す計にとウ上 みし。方回ブンの 像時向転す は計にし。 反方回ま 厳試扉閉時ま位それ 守料をすはみ置れ :室開るつのをぞ X …・…・・ ・・…・ 00 0 -6-
  14. 14. Y …………… 000 T …………… 0 。 付近に移動してから試料室扉を開閉して下さい。移動しないで試料室扉を開閉 しますと試料ステージと試料室がぶつかる事があります。 ・試料の凸凹側面を観察したい時は、試料を傾斜させます。この場合は T (傾斜)つ まみを回すと試料は傾斜します。 希望の角度にしたい時はステージ前面右横の目盛に角度を合わせます。 厳守:ステージクランプつまみを CLA lIP にした状態で T (傾斜)つまみを回さ ないで下さい 0 ・大きな試料ホルダーを使用する場合、或いは低倍率で焦点、深度を深くして映像を観 察したい場合にはワーキングディスタンス (V.D.) を長くする必要があります。 この場合には z( ワーキングディスタンス)つまみを回す事により、ワーキングディ スタンスを 3.0nim から 60mm 迄変える事が出来ます。 厳守 :z つまみは 3.0mm から 60mm の範囲を越えて回さないで下さい。 Z つまみを回す時はステージクランプつまみを必ず UNCLA lV1P にしてか ら行って下さい。3-3. 話料電流の測定 -試料電流測定用コネクターは試料室扉前面の右下に設置されています。通常、試料 電流の測定を行わない時は必ず試料電流接地用のコネクタープラグを差し込んで下 さい。 ・試料電流を測定する場合は、付属のプラグ (BNC - - P 55U) にコード、をつけて使 用します。コードの先端は市販のマイクロアンペア計の入力に接続して用います。3-4. 試料への電圧印加〈オプション〉 このコネクターは半導体等にバイアスを加えた状態で観察をする時に使用します。 端子は全部で 50 本あり、試料室扉前面左下に設置されます。 この端子を使用しない時はダストキャップをかぶせておいて下さい。使用する場合は、 付属のプラグ・ (DB-25S 、 2個)にコードを付けて信号を加えたり、信号を取り出し たりします。 電気的規格はつぎの通りです。 定格電流 lA 耐 圧 電 D30 C0V 絶 抵 縁 抗 50]1 以 00¥ Q 上 - - 7
  15. 15. 3・5. 話料ステージクランプの使い方 高倍率での像観察のとき、振動が問題になったら、試料ステージクランフ。つまみで CLAMP にして下さい。 操作つまみは試料室右側面にあり(ステージクランプつまみ)、時計方向に回すと UNCLAMP 、反時計方向に回すと CLAMP になります。クランプ、アンクランプ操 作はつまみを軽く最後まで回します。回転が止まったらそれ以上無理に力を加えない で下さい。又、クランプ、アンクランプされる瞬間、像が移動しますが問題はありま せん。 厳守 1 :クランプした状態で T (傾斜)つまみ、 z (ワーキングディスタンス)つ まみを回さないで下さい。 x方向移動、 Y 方向移動、 R (回転)つまみに 関しては、この限りではありません。 厳守 2 :クランプした状態で試料室扉を開閉しないで下さい。 -8-
  16. 16. 図 3-13-6. 話料室外観 真空引口 ス ー ク ン つ み テ ジ ラ プ ま 試 室 扉 料 前 パチン錠 傾 つ み 斜 ま ワーキングディスタンスつまみ X 方向移動モータ Y方 移 モ タ 向 動 ー 回転つまみ Y位 カ ン ー 置 ウ タ 回転位置カウンター 電 印 用 ネ タ オ シ ン 圧 加 コ ク ( プ ョ 〉 試 電 測 用 ネ タ 料 流 定 コ ク X 位置カウンター t 1 試 電 接 用 ネ タ 料 流 地 コ ク ストキャップ ム~ (オプション〉 - - 9
  17. 17. 3・7. 話 の 動 き 範 料 移 で る 囲 寸-←斗一一-t-+ 1 O - ( 昌 )信 一 -L- o( 0 - 0 S S 2L!11l c z ) o 2 c -← 0ヶ :,,-了寸下「 - 0 2 i ド 0 2 1 L < 〉 P 一一 O (SS)zo- 一- - 十 1 - c 。 i-i- 「 斗 十 c • - 02iLP 。 - ( 雲 ! iI ート一寸一一「一寸ー Il- i イコ~ 0 ) 0 z o -← E 一一。 0 2 【 1 〉 ζ ム寸-ト←斗 J ーイよ 1 i 1 i j I Ii 1 l 1 1 1 1 1 l 1 1 1 - 1 1 1 T 0 C 1 一 了 。 T 。 ( o の ザ の 震 N - ) .Q. > p -0 1-
  18. 18. φ3 グ CUP/¢3 グ WAFER L L i 下 十 一 十 一 「 。 め O N 一一 。 ( - 震 il-「「 c ) c Z - O ア 寸 @-1 寸-, -r H 0 2 1〉 ??っつ i-I 。 C O 。 。Cコ 。 の c - Cコ 司 め N CコにO v 的 N にD ~・4 .Q. ( .Q.( 雲 >> 雲 >> ) ) - 1 1 -
  19. 19. -2 1-
  20. 20. ー下下l-十卜十c Cコm ~ - 3 1 -
  21. 21. - 4 1 -
  22. 22. 11IT--Titi-十ll十IL--ou - 5 1 -
  23. 23. - 6 1 -
  24. 24. 4. 電芋銃カートリッジの蚕襖 「真空系の操作」の項を参照して鏡体内に空気を入れます。 ・電子銃室の左側に取り付けてある蝶番を境に割るように電子銃を左側に倒します。 (図 4-2 参照)この時、直ちにアース棒を電子銃カートリッジに接触させて下さい。 ※次の作業中は、電子銃室内、鏡筒内にゴミを落とさないように注意して下さい 0 ・電子銃カートリッジ押さえリング を反時計方向に回して外します。 次に電子銃カートリッジを電子銃 電子銃碍子 カートリッジ取付け座より引き抜 きます。(図 4-1 参照) 注意:画像観察後、直ちにこの 電子銃 作業を行いますと、電子 カートリッジ取付座 銃カートリッジは高温 (2 00 度 C 以上)になってい ますので、冷えるまで 待って下さい。 電子銃カートリッジ ・新しい電子銃カートリッジを電子 銃カートリッジ取付座へ差し込み ます。(電子銃カートリッジの向 きはどちらでもよい) 電子銃カートリッジ 次に電子銃カートリッジ押さえリ 押さえリング ングを取付座にねじ込みます。 図 4-1 ・電子銃を右側に倒します。この時 アース棒が電子銃室にぶつからない様に注意して下さい。 「真空系の操作」の項を参照して鏡体内を排気します。 注意:真空排気速度が遅い場合、電子銃室の真空パッキングに繊維等のゴミが付 着していることが考えられます。 民偽帆 -7 1-
  25. 25. 電子銃カートリッジ 押さえリング 電子銃碍子アース棒 電子銃カートリッジ 電子銃カートリッジ取付箆 アノード受孔 電子銃室電子銃ハウジング 蝶番 鏡筒 図 4-2 1 - - 8
  26. 26. 5. 画像の塑し方5・1. 操置の初期状態 装置起動後、操作部メインパネル上のスイッチは一部下記状態に初期設定されます。 スイッチ さ員さ又 丸会 定 SPECIMEN MOVEMENT ③ スピード 5 ( 盲 D) S SCAN SPEED ⑬ VI GUN ALIGNMENT AUTO ⑫ ON LED 表示パネル上の LED ( “ AL IGNMENT" ⑧ が点灯) HIGH VOLTAGE UP/DOVN ③ KV 9 ( D 表示パネル上の HIGH LE VOLTAGE) 表示⑤が“ 10 KV" を表示 HIGH VOLTAGE ⑫ OFF 〈スイッチの下半分が点灯していない〉 FOCUS AUTO ⑪ OFF 及び ( ED 表示パネル上の LED L “ F OCUS ) " SIlITR TGVAO A T U O ⑬ ( “ ST IGMATOR" ⑮ が消灯 SCAN SPEED PHOTO ⑬ OFF メインパネル上のつまみ及び左右のサブパネル内のスイッチ、ツマミ類は初期設定 されないので、画像を出す前に、次表に従って確認したほうが良い場合があります。 -9 1-
  27. 27. 番号 香月a ~ ツマミ、スイッチ 員又 疋 s P E C I M p N M O V E M p NT ス イ ツ チ ③ 押 し て い な と 長 斗 O P P な て 土 す C u u 土 み 土 み 一 一 一 一 一 一 一 & A A 一 一 品 一 i M A G E F O T R A S T Q sO 品 み 品 ⑤ 一 一 一 一 一 一メ ハ N u つ 、 み t 2 時 方 向 杯イ - M A G E F し R G H T N E p o つ 官 ⑤ i 2 向 R I u 民 み ⑦ 時 方ン - M A G E U p T I S I Z つ 土 つ l 2 向 Q O つ 一 l 時 方 M U 品 一 A G N l e T I O N 土 ③ 一 一 一 一 T A 小 9 時 向 M A G N l i e T O N M ⑨ 反 方 向 T i A ワ ム 時 計 方ノて ⑬ FOCUS FINE つまみ ⑫ 任意ネ iFOCUS MEDIUM つまみ 任意 一 6 6 非 点 収 差 の 補 正 つ て 参 昭ル /STIGMATOR X つまみ ⑬ 一 点 補 』 STIGMATOR Y ⑬ 6 1 一 6 非 一 一 収 差 の 合 正 わ に つ て 一 参 … 昭 つまみ 一 一 ) ま 一 1 0 O 回 転 の 中 点 り ン ト せ 合 わ 恥 … IMAGE SHIFT X つまみ ⑬ O 回 転 の 一 中 点 ピ 一 一 一 一 一 一 ­ IMAGE SHIFT Y つまみ 一 一 一 向 ⑪ 時 〈 2 さ 方 よ 1 DYNAMIC FOCUS つまみ 一 試 料 高 画 に の す の左 IFOCUS COARSE つまみ ⑫ 「 一 像 一 せ 6 一 l 参 一 一 一 を 一 一 ⑫ “ 一 一 P i C ⑧ O Nサ iA SN C MODE スイッチ ⑧~⑧ F F p H i SIGNAL CH1/CH2 スイッチ ⑧ し " を 選 択 〉 0 F F Q I G 唱 " を 選 択ブ ISIGNAL SIG1/XRAYl スイッチ ⑩ U i " を 選 択 0 F F i G g i Q η SIGNAL SIG2/XRAY2 スイッチ U ι DET H V スイッチ 0 Nノて 0 SCAN MODE POSITION X つまみ ⑧ 12 時方向ネ l POSITION Y つまみ ⑧ 12 時方向 一 SPOT SIZE FREE つまみ ⑧ 12 時方向ル iCH2 BRIGHTNESS つまみ ⑧ 1 H寺方向 2 ECP スイッチ ( I OFF ECP FOCUS つまみ ⑧ 1 B寺方向 2 PHOTO SPEED スイッチ ( I OFF (NORMAL) PHOTO ACB ON/OFF スイッチ 安 I ON PHOTO ACB ADJ スイッチ 安 I OFF PHOTO右 IPHOTO ACB BRT ACB CONT トリマ トリマ 遺 } r -3ACB による露出の設定」参照 I 7 PHOTO DATA OFFサ IPHOTO FILM No PRESET. PHOTO FILM No 設定 スイッチ スイッチ スイッチ gl r 5 データプリントについて」参照 ⑬ 押していないときは OFF になっています。 7-フ U G U N A T-μ・ G N M E N T S H TA F T X つつ ふ みパ G U N A TL G N M E N T S H Ti F T Y つつ ま ・ リ ⑫ 標 準 仕 様 あ れ、 4 7 に は ま せ ん不 G U N A T- G N M E N T T i TU T X ま 土 ふ A 1 ⑬ 時 方 向 杯 ビ ソ ム の 出 7 一 G U N A U G N M E N T T i Tμ T Y 中 ま 4 1 ⑩ 1 2 時 方 向 子 あ れ 土 ふ せ ん 1 2 N A T の @ 一 一 一 は ソJレ G - G N M E N T 一 方 向 電 E M S S U - O N 一 一 T ま み ⑪ 時 計 一 向 E M S S - - G N つ リ マ 「 時 に E M S S - U i O N R A ト ま ⑫ 5 仕 2 ! ) 方 参 つ み 2 F M A G E υ Q U ス イ ツ @ 1 方 。 チ @ 標 準 様 注 左 右 の サ ブ パ ネ ル 、 L ED 表 一 パ ル の 上 段 に あ オ プ ト に オ プ ヨ ン 用 ヨ ン ユ ネ ヲ シ ス ロ ツ 、 T が 装 備 さ れ て い る 合 ト 匂 / に リ h ユ ボ ツ の パ ネ ル 上 の ス イ を 、 ン て 下 さ ノ ッ チ a ( た だ し 、 ス キ ヤ 場 口 L各 テ 一 ニ ヨ シ ン / チ ル ト コ レ ハ U N ヨ O F F ツ ユ ニ ト の 場 合 0 F F 。 I ν ン 々 シ ン を 除 く 、 ノ ノ -0 2-
  28. 28. 5-2. 電子ビームの出し方 -通常の操作でビームを出すとき 装置始動後、鏡体の排気が終り、 HV スイッチ⑧の上半分が緑色に点灯してから、 同スイッチを押して、下半分をオレンジ色に点灯させると電子ビームが出ます。画 像観察、試料交換をくりかえし行う場合には、 HV スイッチ⑫には手を触れずに、 AIR スイッチ②を操作するだけで、排気が完了すると、自動的に電子ビームが出 ます。 装置から離れるときは、 HV スイッチ⑫を押して電子ビームを切って下さい。 (注) HV スイッチ⑫の上半分と下半分が両方点灯しているときのみ電子ビームが 出るようになっています。 ・ビームが出ても画像が見えないとき フィラメントを交換し、カートリッジを電子銃に装着した後、最初に電子ビーム を出す時には、電子銃光軸がずれて、電子ビームが出ているのに画像が見えない場 合があります。このような場合には、つぎの手順で電子銃の光軸を機械的に合わせ 直さなくてはなりません。(通常の操作で同じように画像が出る時は必要有りませ んo ) ( 一旦 HV スイッチ⑫を切ります。(同スイッチの下半分が消えます。) 1) ( 2) GUNA I N I N A T ス ッ ⑫ 押 ま 。 L GlE T UO ¥ I イチをしす (E 表 パ ル LD 示 ネ の AIN LG lt l N ET ③消ま。 がえす) 3 再 H1 () び スチ押す同ッ上と分に イ③し。スチ半下が点 ッをま(イの分半共灯 し。 ま) す ( 4) GUNA I N¥ E TT L X 、 Y つ み ど ら LGl N IT I l まをちも 12 時 向 合 せ す 方にわま。 ( フン時動併換で、を 5 ィトに絞せしあ絞ビ ) ラ交、りてたれりー メ換可も交のば穴 ムし合の動一に がながで絞番ヲ 通い多、り手 過場い可を前 iし1た 位 置 (E F) R E にいいし して。く て下(は おさ詳 1 6 -8 可動絞りの使い方」参照)。可動絞り を動かさなかったら、そのままにしておいて下さい。固定絞りを使用している 場合は、考慮する必要はありません。 6 EvISO () rlSIN つ⑧期通時向のにお まを設り計一位しき み初定、方杯置て、 BS IA つ⑧ まを み 1 時にすの、 2 方し。と 向まこき L ED メー ー③ タは 10 付 0 近を 示す し。 ま ( 7 ) 鏡の 筒上 部 2 個銃せを、明最 の軸つ回画る大 電合まし面さに 子わみてのがな る調す よ整。 うし にま ( 注 1 )明最っをる 画る大た確に 面さにこ認は のがなとす、 S C AN S E D P E ス ッ ⑬ イ チ の VF ltl を し 、 面 現 る 形 高 を ま 。 押 て 画 に れ 波 の さ 見 す (注 2 ) 面 暗 ぎ 時 又 画 が 過 る ( は vVF lVl の 形 振 が さ ぎ 時 は 波 の 幅 小 過 る ) 、 C N R S O T A T つ み か ま ⑤ 、 SPOT SIZE つ み を 計 向 ま し ま ⑦ 時 方 に わ ま 。 面 明 過 る き 逆 反 計 向 ま し す す 画 が る ぎ と は に 時 方 に わ ま 。 (注 3) E lVIISSION の ま ⑧ び リ ② 特 な 由 な 限 、 さ つ み 及 ト マ は 別 理 が い り 回 な で さ 。 に リ ② 工 出 時 、 ィ メ ト 流 最 い 下 い 特 ト マ は 場 荷 に フ ラ ン に す 大 流 設 し い す で こ を 計 向 ま し ぎ と フ 電 を 定 て ま の 、 れ 時 方 に わ 過 る 、 ィ -1 2-
  29. 29. ラメントの寿命を縮めたり、溶断してしまう事があります。8 () に て 動 を に 抜 位 し た は 通 ッ() 5 お、絞手引い置て場、り い可り前きたにい合元セ ト節す しし 調ま c (く 詳は し r - 稼りい参 6 8 動の方照 絞使」) -2 2-

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