Mis lecture microfab_softlitho

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Mis lecture microfab_softlitho

  1. 1. Slide 1Mikrosysteme – Soft Lithographie GrundlagenGrundlagen Mikro- und NanosystemeMikro- und Nanosysteme Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und MedizinMikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin Soft LithographieSoft Lithographie Dr. Marc R. DusseillerDr. Marc R. Dusseiller
  2. 2. Slide 2Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographieSoft Lithographie PDMSPDMS Replica MoldingReplica Molding MicroContactPrintingMicroContactPrinting etc.etc.
  3. 3. Slide 3Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographieSoft Lithographie • Techniken für die Mikrostrukturierung, wie Stempeln und Giessen,Techniken für die Mikrostrukturierung, wie Stempeln und Giessen, mittels einem elastomeren strukturierten Materialmittels einem elastomeren strukturierten Material • Techniken für die Strukturierung von komplexen Biomolekülen undTechniken für die Strukturierung von komplexen Biomolekülen und Biologischen Einheiten (Zellen, Gewebe etc.)Biologischen Einheiten (Zellen, Gewebe etc.) • MaterialMaterial PDMS (Polydimethylsiloxan)PDMS (Polydimethylsiloxan) Viele Anwendungen in BiologieViele Anwendungen in Biologie Einfaches PrototypingEinfaches Prototyping TransparentTransparent Weich / SoftWeich / Soft BiokompatibelBiokompatibel • Replica MoldingReplica Molding • Micro Contact Printing (μCP)Micro Contact Printing (μCP) • Micro Transfer Molding (μTP)Micro Transfer Molding (μTP) • Micro Molding in Capillaries (MIMIC)Micro Molding in Capillaries (MIMIC) • Micro Fluidic Networks (μFN)Micro Fluidic Networks (μFN)
  4. 4. Slide 4Mikrosysteme – Soft Lithographie PDMS – Chemische StrukturPDMS – Chemische Struktur
  5. 5. Slide 5Mikrosysteme – Soft Lithographie PDMS - Mechanische EigenschaftenPDMS - Mechanische Eigenschaften
  6. 6. Slide 6Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographySoft Lithography Replica MoldingReplica Molding • Herstellung der strukturierten PDMS AbgussHerstellung der strukturierten PDMS Abguss • Strukturierung des Masters (Si, klassisch)Strukturierung des Masters (Si, klassisch) • Silanisierung (anit-Haft)Silanisierung (anit-Haft) • Abguss des PDMSAbguss des PDMS • Curing (Aushärten)Curing (Aushärten) • Peel-off (abzeihen)Peel-off (abzeihen) • Erstellen eines zweiten AbgussErstellen eines zweiten Abguss • GiessenGiessen • HärtenHärten • AusformenAusformen
  7. 7. Slide 7Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographySoft Lithography Micro Contact Printing (Micro Contact Printing (μμCP)CP) • Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS • Vorbereiten der „Tinten“-LösungVorbereiten der „Tinten“-Lösung • zB. SAMs (Thiole, ODT), Proteine etc.zB. SAMs (Thiole, ODT), Proteine etc. • Benetzen des PDMS StempelsBenetzen des PDMS Stempels • EintaucheEintauche • WaschenWaschen • TrocknenTrocknen • Stempeln (Printing)Stempeln (Printing)
  8. 8. Slide 8Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographySoft Lithography Micro Transfer Molding (Micro Transfer Molding (μμTP)TP) • Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS • Einfüllen des Pre-PolymerEinfüllen des Pre-Polymer • Entfernen des ÜberschussEntfernen des Überschuss • Aufbringen des gefüllten PDMS aufAufbringen des gefüllten PDMS auf SubstratSubstrat • Aushärten des PolymersAushärten des Polymers • Entfernen des PDMS MastersEntfernen des PDMS Masters
  9. 9. Slide 9Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographySoft Lithography Micro Molding in Capillaries (MIMIC)Micro Molding in Capillaries (MIMIC) • Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS • Platzieren des PDMSPlatzieren des PDMS • Offene KanäleOffene Kanäle • Anbringen eines TropfensAnbringen eines Tropfens • Kappilare Füllung der KanäleKappilare Füllung der Kanäle • Aushärten oder Adsorbtion aus LösungAushärten oder Adsorbtion aus Lösung • (Waschen)(Waschen) • Entfernen des PDMS MastersEntfernen des PDMS Masters
  10. 10. Slide 10Mikrosysteme – Soft Lithographie Soft LithographySoft Lithography Micro Fluidic Networks (Micro Fluidic Networks (μμFN)FN)

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