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Il lavoro di questa tesi si propone di studiare il problema delle cavità di niobio su rame, partendo dalla caratterizzazione dettagliata dei film depositati per magnetron sputtering lungo una cavità 1,5GHz per finire studiando l’influenza che l’angolo di deposizione e la porosità hanno sulla degradazione delle proprietà superconduttive. Lo studio è stato condotto in maniera sistematica, effettuando numerose deposizioni su substrati di quarzo e rame, utilizzando i parametri di processo e la procedura standard
(CERNINFN) per il ricoprimento di cavità 1,5GHz. Sono state utilizzate due diverse
configurazioni di magnetron e tutti i film ottenuti sono stati analizzati dal punto di vista delle proprietà superconduttive (temperatura critica, resistività e resistenza,), strutturali (diffrazione di raggi X) e morfologiche (microscopio a forza atomica). Lo studio ha comportato la deposizione di un numero elevato di campioni (13 serie per un totale di circa
140 substrati) e la messa a punto di tecniche di analisi.
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