Successfully reported this slideshow.
We use your LinkedIn profile and activity data to personalize ads and to show you more relevant ads. You can change your ad preferences anytime.
‫رضا‬ ‫محمد‬‫گواهــــــــــــی‬
‫بخار‬ ‫فاز‬ ‫از‬ ‫شیمیایی‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬
‫و‬ ‫فلزی‬ ‫های‬ ‫الیه‬ ‫رسوب‬ ‫برای‬ ‫فراگیر‬ ‫فرایندی‬
‫باشد‬ ‫می‬ ‫سرامیکی‬...
‫کاربردهای‬CVD
‫الکترونیکی‬ ‫تجهیزات‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬ ‫تولید‬
‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬ ‫قطعات‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬
‫نوری‬ ‫ف...
‫کاربرد‬ ‫های‬ ‫زمینه‬CVD
‫پلی‬ ،‫ها‬ ‫کریستال‬ ‫تک‬ ‫فابریکیشن‬ ‫میکرو‬
‫کریستالهای‬ ‫تک‬ ‫و‬ ‫آمورف‬ ‫مواد‬ ،‫ها‬ ‫کریس...
‫روشهای‬ ‫بندی‬ ‫کالس‬CVD
‫روشهای‬ ‫بندی‬ ‫طبقه‬CVD‫فشار‬ ‫اساس‬ ‫بر‬
AP-CVD:CVD‫اتمسفر‬ ‫فشار‬ ‫با‬
LP-CVD:CVD‫کم‬ ‫فشار‬ ‫با‬
UHV-CVD:CVD‫زیاد‬...
‫بندی‬ ‫طبقه‬‫روشهای‬CVD‫دما‬ ‫اساس‬ ‫بر‬
HT-CVD:‫از‬ ‫باالتر‬ ‫دماهای‬ ‫در‬ ‫دهی‬ ‫رسوب‬
900‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬
MT-CVD:‫...
‫روشهای‬CVD‫و‬ ‫فشار‬ ‫اساس‬ ‫بر‬
‫کاربرد‬ ‫دمای‬
‫های‬ ‫تکنولوژی‬ ‫انواع‬CVD
Thermal CVD:‫حرارتی‬ ‫روش‬
Plasma CVD:‫پالسما‬ ‫روش‬
Laser CVD:‫لیزر‬ ‫روش‬
Metal-Organic ...
‫فرآیندهای‬ ‫فراوانی‬ ‫درصد‬CVD‫صنعتی‬
‫های‬ ‫واکنش‬ ‫کننده‬ ‫کنترل‬ ‫عوامل‬CVD
‫واکنش‬ ‫شیمی‬
‫ترمودینامیکی‬ ‫پارامترهای‬(‫و‬ ‫جرم‬ ‫انتقال‬)...
‫دما‬
‫فشار...
‫حرارتی‬ ‫روش‬Thermal CVD
‫از‬ ‫باالتر‬ ‫دمای‬ ‫در‬ ‫واکنش‬ ‫حرارتی‬ ‫روش‬ ‫در‬
900c‫های‬ ‫روش‬ ‫جز‬ ‫و‬ ‫شود‬ ‫می‬ ‫فعال...
‫رآکتور‬ ‫شماتیک‬CVD‫حرارتی‬
‫رآکتورهای‬ ‫انواع‬CVD‫حرارتی‬
‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫رآکتور‬CVD‫حرارتی‬
CVD‫حرارتی‬
CVD‫پالسما‬
‫بین‬ ‫دماهای‬ ‫در‬ ‫روش‬ ‫این‬300‫تا‬700‫درجه‬
‫سانتیگراد‬(‫فوالدها‬ ‫یوتکتویید‬ ‫خط‬ ‫زیر‬)‫انجام‬
‫های‬ ‫ر...
‫رآکتور‬CVD‫پالسما‬
‫دستگاه‬CVD‫پالسما‬
‫دمای‬CVD‫چند‬ ‫برای‬ ‫پالسما‬ ‫و‬ ‫حرارتی‬
‫تجاری‬ ‫مهم‬ ‫پوشش‬
‫رادیویی‬ ‫فرکانس‬ ‫رآکتور‬RF-CVD
‫های‬ ‫سیستم‬ ‫بیشتر‬Plasma CVD‫از‬
‫محدوده‬ ‫در‬ ‫رادیویی‬ ‫فرکانس‬450KHz‫تا‬
113.5MHz...
‫رآکتور‬CVD‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫از‬ ‫قبل‬ ‫زیرالیه‬ ‫و‬
‫رآکتور‬CVD‫زیاد‬ ‫خال‬ ‫تحت‬ ‫حرارتی‬
(UHV-CVD)
‫در‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫مواد‬CVD
‫الکتریکها‬ ‫دی‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫خازن‬:SiN, SiO2
‫فلزات‬:W,Mo,Cu,Al,Ti,Ni,Re
‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬:E...
‫مولیبدن‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬
1-‫مولیبدن‬ ‫کلرید‬ ‫احیای‬:‫دمای‬ ‫بین‬400‫تا‬
1350‫از‬ ‫کمتر‬ ‫فشار‬ ‫در‬ ‫و‬ ‫سانتیگر...
‫نیکل‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬
‫نیکل‬ ‫کربونیل‬ ‫تجزیه‬:‫دماهای‬ ‫بین‬180c-
200c‫از‬ ‫کمتر‬ ‫فشار‬ ‫و‬760Torr
‫تنگستن‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬
‫هیدروژن‬ ‫توسط‬ ‫تنگستن‬ ‫هالید‬ ‫احیای‬:
‫بین‬ ‫دمایی‬ ‫محدوده‬300‫تا‬700c‫محدوده‬ ‫و‬
...
‫تکنولوژی‬ ‫تاریخچه‬CVD
‫خوردگی‬ ‫و‬ ‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬ ‫های‬ ‫پوشش‬ ‫مشخصات‬CVD
‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD
‫فلزات‬ ‫دهی‬ ‫شکل‬ ‫صنعت‬:
•‫سیم‬ ‫کشش‬ ‫قالبهای‬(TiC)
•‫سکه‬ ‫تولید‬ ‫ابزارهای‬(TiC)...
‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD
‫شیمیایی‬ ‫مواد‬ ‫تولید‬ ‫صنایع‬:
•‫خورنده‬ ‫مایعات‬ ‫حامل‬ ‫های‬ ‫سوپاپ‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫پم...
‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD
‫ای‬ ‫هسته‬ ‫صنایع‬:
•‫ای‬ ‫هسته‬ ‫رآکتور‬ ‫در‬ ‫نوترون‬ ‫فالکس‬ ‫کنترل‬ ‫برای‬ ‫پوشش‬...
‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬CVD‫با‬ ‫مته‬ ‫برش‬ ‫ابزار‬ ‫در‬
‫تجاری‬ ‫نام‬ ‫با‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬ ‫پوشش‬
“DiaBide”
‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫های‬ ‫مته‬ ‫انواع‬
‫روش‬ ‫به‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬ ‫با‬CVD
‫نازک‬ ‫های‬ ‫پوشش‬ ‫با‬ ‫برش‬ ‫ابزار‬ ‫انواع‬
‫سرامیکی‬(Thin Film)‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬
‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫صنعتی‬ ‫قطعات‬
‫روش‬ ‫به‬CVD
‫روش‬ ‫به‬ ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫قطعات‬CVD
‫روش‬ ‫مزایای‬CVD
.1‫دمای‬ ‫از‬ ‫کمتر‬ ‫دمایی‬ ‫در‬ ‫دیرگداز‬ ‫مواد‬
‫شوند‬ ‫می‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫زینترشان‬.
.2‫تئوری‬ ‫دان...
‫روش‬ ‫های‬ ‫محدودیت‬CVD
.1‫باال‬ ‫کاربری‬ ‫دمای‬(‫مواد‬ ‫از‬ ‫خاصی‬ ‫محدوده‬
‫بود‬ ‫خواهند‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫قابلیت‬)
.2‫ب...
‫الماس‬ ‫توسط‬ ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫مته‬
‫روش‬ ‫به‬ ‫مصنوعی‬CVD‫شرکت‬ ‫سفارش‬ ‫به‬
‫مارتین‬ ‫النکهید‬
‫روش‬ ‫به‬ ‫شده‬ ‫تولید‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬CVD
‫الیه‬ ‫چند‬ ‫های‬ ‫پوشش‬CVD
‫حافظه‬ ‫یک‬ ‫خورده‬ ‫برش‬ ‫مقطع‬
‫میکروالکتریکی‬-‫پوششهای‬CVD
‫های‬ ‫چرخدنده‬ ‫ریز‬ ‫سیلیکونی‬ ‫پوشش‬
‫شده‬ ‫کاری‬ ‫میکروماشین‬
‫ایندیوم‬ ‫های‬ ‫دات‬ ‫کوانتوم‬-‫داده‬ ‫رسوب‬ ‫آرسناید‬
‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬ ‫در‬ ‫آرسناید‬ ‫گالیم‬ ‫روی‬ ‫شده‬
‫رآکتور‬UHV-CVD
‫منابع‬ ‫و‬ ‫مراجع‬
 ASM Handbook Vol 5, Surface
Engineering
 Wikipedia.com
 Wikipg.org
 diamondtc.com
 endmill.com
...
‫شما‬ ‫توجه‬ ‫از‬ ‫تشکر‬ ‫با‬
Upcoming SlideShare
Loading in …5
×

CVD-Chemical Vapor Deposition by Mr.Govahi

Language: Perian/Farsi
Title: CVD, Chemical Vapor Deposition
Farsi Title: رسوب دهی از فاز بخار
Editor: Mohamadreza Govahi
Mentor: Eng. Parviz Mirakhourli
Faculty of Engineering & Technology, Islamic Azad University Karaj Branch (KIAU), 2014.

  • Be the first to comment

CVD-Chemical Vapor Deposition by Mr.Govahi

  1. 1. ‫رضا‬ ‫محمد‬‫گواهــــــــــــی‬
  2. 2. ‫بخار‬ ‫فاز‬ ‫از‬ ‫شیمیایی‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫و‬ ‫فلزی‬ ‫های‬ ‫الیه‬ ‫رسوب‬ ‫برای‬ ‫فراگیر‬ ‫فرایندی‬ ‫باشد‬ ‫می‬ ‫سرامیکی‬. ‫واکنش‬ ‫از‬ ‫جامد‬ ‫ماده‬ ‫یک‬ ‫فرایند‬ ‫این‬ ‫طی‬ ‫آید‬ ‫می‬ ‫بوجود‬ ‫بخار‬ ‫فاز‬ ‫در‬ ‫شیمیایی‬. ‫داغ‬ ‫زیرالیه‬ ‫یک‬ ‫روی‬ ‫بر‬ ‫شیمیایی‬ ‫واکنش‬ ‫این‬ ‫افتد‬ ‫می‬ ‫اتفاق‬ ‫سرد‬ ‫یا‬ ‫و‬.
  3. 3. ‫کاربردهای‬CVD ‫الکترونیکی‬ ‫تجهیزات‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬ ‫تولید‬ ‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬ ‫قطعات‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫نوری‬ ‫فیبرهای‬ ‫مانند‬ ‫ُپتیکی‬‫ا‬ ‫مواد‬ ‫خوردگی‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬ ‫مواد‬ ‫باال‬ ‫استحکام‬ ‫فیبرهای‬ ‫نانو‬ ‫های‬ ‫پوشش‬ ‫نازک‬ ‫های‬ ‫پوشش‬(Thin Films)
  4. 4. ‫کاربرد‬ ‫های‬ ‫زمینه‬CVD ‫پلی‬ ،‫ها‬ ‫کریستال‬ ‫تک‬ ‫فابریکیشن‬ ‫میکرو‬ ‫کریستالهای‬ ‫تک‬ ‫و‬ ‫آمورف‬ ‫مواد‬ ،‫ها‬ ‫کریستال‬ ‫محور‬ ‫هم‬(Epitaxial) ،‫کربنی‬ ‫فیبرهای‬ ‫نانو‬ ،‫کربنی‬ ‫فیبر‬ ،‫سیلیکون‬ ‫ها‬ ‫خازن‬ ،‫کربنی‬ ‫های‬ ‫لوله‬ ‫نانو‬ ،‫ها‬ ‫فالمنت‬ W, SiO2, SiC, SiN, TiN,Si-Ge ‫مصنوعی‬ ‫های‬ ‫الماس‬ ‫تولید‬(Synthetic Diamonds)
  5. 5. ‫روشهای‬ ‫بندی‬ ‫کالس‬CVD
  6. 6. ‫روشهای‬ ‫بندی‬ ‫طبقه‬CVD‫فشار‬ ‫اساس‬ ‫بر‬ AP-CVD:CVD‫اتمسفر‬ ‫فشار‬ ‫با‬ LP-CVD:CVD‫کم‬ ‫فشار‬ ‫با‬ UHV-CVD:CVD‫زیاد‬ ‫بسیار‬ ‫خالء‬ ‫تحت‬ (0.000001 atm)
  7. 7. ‫بندی‬ ‫طبقه‬‫روشهای‬CVD‫دما‬ ‫اساس‬ ‫بر‬ HT-CVD:‫از‬ ‫باالتر‬ ‫دماهای‬ ‫در‬ ‫دهی‬ ‫رسوب‬ 900‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬ MT-CVD:‫دماهای‬ ‫بین‬ ‫دهی‬ ‫رسوب‬600‫تا‬ 900‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬ LT-CVD:‫زیر‬ ‫دماهای‬ ‫برای‬ ‫دهی‬ ‫رسوب‬ 600‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬
  8. 8. ‫روشهای‬CVD‫و‬ ‫فشار‬ ‫اساس‬ ‫بر‬ ‫کاربرد‬ ‫دمای‬
  9. 9. ‫های‬ ‫تکنولوژی‬ ‫انواع‬CVD Thermal CVD:‫حرارتی‬ ‫روش‬ Plasma CVD:‫پالسما‬ ‫روش‬ Laser CVD:‫لیزر‬ ‫روش‬ Metal-Organic CVD:‫های‬ ‫کانی‬ ‫روش‬ ‫فلزی‬ ‫و‬....
  10. 10. ‫فرآیندهای‬ ‫فراوانی‬ ‫درصد‬CVD‫صنعتی‬
  11. 11. ‫های‬ ‫واکنش‬ ‫کننده‬ ‫کنترل‬ ‫عوامل‬CVD ‫واکنش‬ ‫شیمی‬ ‫ترمودینامیکی‬ ‫پارامترهای‬(‫و‬ ‫جرم‬ ‫انتقال‬)... ‫دما‬ ‫فشار‬ ‫فرآیند‬ ‫شیمیایی‬ ‫اکتیویته‬
  12. 12. ‫حرارتی‬ ‫روش‬Thermal CVD ‫از‬ ‫باالتر‬ ‫دمای‬ ‫در‬ ‫واکنش‬ ‫حرارتی‬ ‫روش‬ ‫در‬ 900c‫های‬ ‫روش‬ ‫جز‬ ‫و‬ ‫شود‬ ‫می‬ ‫فعال‬HT- CVD‫باشد‬ ‫می‬. ‫رآکتور‬ ‫گاز؛‬ ‫تزریق‬ ‫واحد‬ ‫به‬ ‫مجهز‬ ‫دستگاه‬ (‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫محفظه‬)‫گاز‬ ‫خروج‬ ‫سیستم‬ ‫و‬ ‫باشد‬ ‫می‬.
  13. 13. ‫رآکتور‬ ‫شماتیک‬CVD‫حرارتی‬
  14. 14. ‫رآکتورهای‬ ‫انواع‬CVD‫حرارتی‬
  15. 15. ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫رآکتور‬CVD‫حرارتی‬
  16. 16. CVD‫حرارتی‬
  17. 17. CVD‫پالسما‬ ‫بین‬ ‫دماهای‬ ‫در‬ ‫روش‬ ‫این‬300‫تا‬700‫درجه‬ ‫سانتیگراد‬(‫فوالدها‬ ‫یوتکتویید‬ ‫خط‬ ‫زیر‬)‫انجام‬ ‫های‬ ‫روش‬ ‫جز‬ ‫و‬ ‫شود‬ ‫می‬MT-CVD‫است‬. ‫روش‬ ‫این‬ ‫در‬ ‫حرارتی‬ ‫پسماند‬ ‫تنشهای‬ ‫کیفیت‬ ‫و‬ ‫بوده‬ ‫کمتر‬ ‫حرارتی‬ ‫روش‬ ‫به‬ ‫نسبت‬ ‫است‬ ‫بهتر‬. ‫ذوب‬ ‫نقطه‬ ‫با‬ ‫فلزات‬ ‫توان‬ ‫می‬ ‫دماها‬ ‫این‬ ‫در‬ ‫نمود‬ ‫دهی‬ ‫رسوب‬ ‫نیز‬ ‫را‬ ‫پلیمرها‬ ‫و‬ ‫پایین‬.
  18. 18. ‫رآکتور‬CVD‫پالسما‬
  19. 19. ‫دستگاه‬CVD‫پالسما‬
  20. 20. ‫دمای‬CVD‫چند‬ ‫برای‬ ‫پالسما‬ ‫و‬ ‫حرارتی‬ ‫تجاری‬ ‫مهم‬ ‫پوشش‬
  21. 21. ‫رادیویی‬ ‫فرکانس‬ ‫رآکتور‬RF-CVD ‫های‬ ‫سیستم‬ ‫بیشتر‬Plasma CVD‫از‬ ‫محدوده‬ ‫در‬ ‫رادیویی‬ ‫فرکانس‬450KHz‫تا‬ 113.5MHz‫کنند‬ ‫می‬ ‫استفاده‬.
  22. 22. ‫رآکتور‬CVD‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫از‬ ‫قبل‬ ‫زیرالیه‬ ‫و‬
  23. 23. ‫رآکتور‬CVD‫زیاد‬ ‫خال‬ ‫تحت‬ ‫حرارتی‬ (UHV-CVD)
  24. 24. ‫در‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫مواد‬CVD ‫الکتریکها‬ ‫دی‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫خازن‬:SiN, SiO2 ‫فلزات‬:W,Mo,Cu,Al,Ti,Ni,Re ‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬:Epitaxial Silicon, Germanium Arsenide, Poly Silicon,…
  25. 25. ‫مولیبدن‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬ 1-‫مولیبدن‬ ‫کلرید‬ ‫احیای‬:‫دمای‬ ‫بین‬400‫تا‬ 1350‫از‬ ‫کمتر‬ ‫فشار‬ ‫در‬ ‫و‬ ‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬ 20Torr 2-‫مولیبدن‬ ‫کربونیل‬ ‫تجزیه‬:‫دمای‬ ‫در‬300‫تا‬ 700‫بین‬ ‫فشاری‬ ‫و‬ ‫سانتیگراد‬ ‫درجه‬1-700 Torr‫هیدروژنی‬ ‫اتمسفر‬ ‫در‬
  26. 26. ‫نیکل‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬ ‫نیکل‬ ‫کربونیل‬ ‫تجزیه‬:‫دماهای‬ ‫بین‬180c- 200c‫از‬ ‫کمتر‬ ‫فشار‬ ‫و‬760Torr
  27. 27. ‫تنگستن‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫واکنش‬ ‫هیدروژن‬ ‫توسط‬ ‫تنگستن‬ ‫هالید‬ ‫احیای‬: ‫بین‬ ‫دمایی‬ ‫محدوده‬300‫تا‬700c‫محدوده‬ ‫و‬ ‫بین‬ ‫فشاری‬10-760Torr ‫هیدروژن‬ ‫توسط‬ ‫تنگستن‬ ‫کلراید‬ ‫احیای‬: ‫بین‬ ‫دمایی‬ ‫محدوده‬900-1300c‫محدوده‬ ‫و‬ ‫بین‬ ‫فشاری‬15-20Torr
  28. 28. ‫تکنولوژی‬ ‫تاریخچه‬CVD
  29. 29. ‫خوردگی‬ ‫و‬ ‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬ ‫های‬ ‫پوشش‬ ‫مشخصات‬CVD
  30. 30. ‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD ‫فلزات‬ ‫دهی‬ ‫شکل‬ ‫صنعت‬: •‫سیم‬ ‫کشش‬ ‫قالبهای‬(TiC) •‫سکه‬ ‫تولید‬ ‫ابزارهای‬(TiC) •‫عمیق‬ ‫کشش‬ ‫های‬ ‫قالب‬(TiC) •‫آسیاب‬ ‫های‬ ‫چرخ‬ ‫پوشش‬(B4C) ‫سرامیک‬ ‫و‬ ‫پالستیک‬ ‫تولید‬ ‫صنایع‬: •‫اکستروژن‬ ‫های‬ ‫قالب‬(TiC)
  31. 31. ‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD ‫شیمیایی‬ ‫مواد‬ ‫تولید‬ ‫صنایع‬: •‫خورنده‬ ‫مایعات‬ ‫حامل‬ ‫های‬ ‫سوپاپ‬ ‫و‬ ‫ها‬ ‫پمپ‬(SiC) •‫ساینده‬ ‫مایعات‬ ‫حامل‬ ‫های‬ ‫لوله‬(TiB2) •‫ساینده‬ ‫مواد‬ ‫انتقال‬ ‫های‬ ‫لوله‬(WC) •‫کاغذ‬ ‫تولید‬ ‫های‬ ‫شافت‬ ‫و‬ ‫غلطک‬(TiC) •‫سندبالست‬ ‫های‬ ‫نازل‬(TiC,TiB2,B4C)
  32. 32. ‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬ ‫ترین‬ ‫مهم‬CVD ‫ای‬ ‫هسته‬ ‫صنایع‬: •‫ای‬ ‫هسته‬ ‫رآکتور‬ ‫در‬ ‫نوترون‬ ‫فالکس‬ ‫کنترل‬ ‫برای‬ ‫پوشش‬ (B4C) •‫نوترونی‬ ‫های‬ ‫اشعه‬ ‫دربرابر‬ ‫محافظ‬ ‫ورقهای‬ ‫پوشش‬ (B4C) •‫ای‬ ‫هسته‬ ‫شکاف‬ ‫رآکتور‬ ‫پوشش‬(SiC) •‫اتمی‬ ‫زباله‬ ‫حمل‬ ‫کانتینرهای‬ ‫پوشش‬(SiC) •‫تشعشعی‬ ‫سنسورهای‬(SiC)
  33. 33. ‫پوششهای‬ ‫کاربرد‬CVD‫با‬ ‫مته‬ ‫برش‬ ‫ابزار‬ ‫در‬ ‫تجاری‬ ‫نام‬ ‫با‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬ ‫پوشش‬ “DiaBide”
  34. 34. ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫های‬ ‫مته‬ ‫انواع‬ ‫روش‬ ‫به‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬ ‫با‬CVD
  35. 35. ‫نازک‬ ‫های‬ ‫پوشش‬ ‫با‬ ‫برش‬ ‫ابزار‬ ‫انواع‬ ‫سرامیکی‬(Thin Film)‫سایش‬ ‫به‬ ‫مقاوم‬
  36. 36. ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫صنعتی‬ ‫قطعات‬ ‫روش‬ ‫به‬CVD
  37. 37. ‫روش‬ ‫به‬ ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫قطعات‬CVD
  38. 38. ‫روش‬ ‫مزایای‬CVD .1‫دمای‬ ‫از‬ ‫کمتر‬ ‫دمایی‬ ‫در‬ ‫دیرگداز‬ ‫مواد‬ ‫شوند‬ ‫می‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫زینترشان‬. .2‫تئوری‬ ‫دانسیته‬ ‫به‬ ‫نزدیک‬ ‫پوشش‬ ‫دانسیته‬ ‫است‬ ‫آن‬. .3‫و‬ ‫پوشش‬ ‫های‬ ‫دانه‬ ‫گیری‬ ‫جهت‬ ‫کنترل‬‫اندازه‬ ‫آنها‬ .4‫جو‬ ‫فشار‬ ‫در‬ ‫فرآیند‬ ‫انجام‬ ‫امکان‬. .5‫است‬ ‫مناسب‬ ‫بسیار‬ ‫پوشش‬ ‫و‬ ‫زیرالیه‬ ‫پیوند‬.
  39. 39. ‫روش‬ ‫های‬ ‫محدودیت‬CVD .1‫باال‬ ‫کاربری‬ ‫دمای‬(‫مواد‬ ‫از‬ ‫خاصی‬ ‫محدوده‬ ‫بود‬ ‫خواهند‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫قابلیت‬) .2‫بکار‬ ‫شیمیایی‬ ‫مواد‬ ‫بودن‬ ‫سمی‬ ‫و‬ ‫خطرناک‬ ‫شده‬ ‫برده‬ .3‫که‬ ‫پوشش‬ ‫الیه‬ ‫از‬ ‫غیر‬ ‫محصوالتی‬ ‫ایجاد‬ ‫اند‬ ‫خورنده‬ ‫یا‬ ‫سمی‬ ‫بسیار‬ .4‫باال‬ ‫دما‬ ‫گذاری‬ ‫رسوب‬ ‫برای‬ ‫باال‬ ‫بسیار‬ ‫هزینه‬
  40. 40. ‫الماس‬ ‫توسط‬ ‫شده‬ ‫دهی‬ ‫پوشش‬ ‫مته‬ ‫روش‬ ‫به‬ ‫مصنوعی‬CVD‫شرکت‬ ‫سفارش‬ ‫به‬ ‫مارتین‬ ‫النکهید‬
  41. 41. ‫روش‬ ‫به‬ ‫شده‬ ‫تولید‬ ‫مصنوعی‬ ‫الماس‬CVD
  42. 42. ‫الیه‬ ‫چند‬ ‫های‬ ‫پوشش‬CVD
  43. 43. ‫حافظه‬ ‫یک‬ ‫خورده‬ ‫برش‬ ‫مقطع‬ ‫میکروالکتریکی‬-‫پوششهای‬CVD
  44. 44. ‫های‬ ‫چرخدنده‬ ‫ریز‬ ‫سیلیکونی‬ ‫پوشش‬ ‫شده‬ ‫کاری‬ ‫میکروماشین‬
  45. 45. ‫ایندیوم‬ ‫های‬ ‫دات‬ ‫کوانتوم‬-‫داده‬ ‫رسوب‬ ‫آرسناید‬ ‫ها‬ ‫هادی‬ ‫نیمه‬ ‫در‬ ‫آرسناید‬ ‫گالیم‬ ‫روی‬ ‫شده‬
  46. 46. ‫رآکتور‬UHV-CVD
  47. 47. ‫منابع‬ ‫و‬ ‫مراجع‬  ASM Handbook Vol 5, Surface Engineering  Wikipedia.com  Wikipg.org  diamondtc.com  endmill.com  sp3diamondtech.com  Raskhoon.com
  48. 48. ‫شما‬ ‫توجه‬ ‫از‬ ‫تشکر‬ ‫با‬

×