9. Structuur van de module Inleiding Supramoleculaire nanostructuren en/of Kwantumdots Kijken naar nano Katalyse en/of ALD Keuzeonderwerpen
10. De wet van Moore uit Hoofdstuk Precisie op de nanometer 1950 1970 2005 2010
11.
12.
13.
14. Voorbeeld: Al 2 O 3 uit Hoofdstuk Precisie op de nanometer Al (CH 3 ) 3 + OH* (s) AlOAl(CH 3 ) 2 * (s) + CH 4 Al(CH 3 )* (s) + 3 H 2 O (g) Al 2 O 3 (s) + 6 CH 2
16. Conformaliteit uit Hoofdstuk Precisie op de nanometer TiN electrode Al 2 O 3 isolator TiN electrode Hoogeland et al. , ECS Transactions 25, 389 (2009)
Maken Hoe worden nanomaterialen met de gewenste eigenschappen gemaakt? Onderzoeken Hoe worden de eigenschappen van nanomaterialen onderzocht? Gebruiken Hoe worden nanomaterialen gebruikt?
1 monolaag per cyclus Al (CH3)3 + OH* (s) AlOAl(CH3)2* (s) + CH4 Al(CH3)* (s) + 3 H2O (g) Al2O3 (s) + 6 CH4