1. Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek
Van spetterende fysica tot
snellere iPhone
Dr.ir. Hanneke Gelderblom - Universiteit Twente

2. Experiment
?

3. Beelden 1000x vertraagd
Hoe vervormt en wanneer spettert de druppel?

4. Spetterende druppels en je iPhone?
Uitdagende fysica:
• Licht beweegt materie
• Extreme snelheden, minuscule afmetingen
• Spetterende druppels
?

5. Computerchips
Foto: Michigan State University
lichtbron
silicium
wafer
masker
lithografie

6. Extreem Ultraviolet Lithografie: 13.5 nm
vs

7. Hoe maak je een EUV bron?
2m

8. Hoe maak je een EUV bron?
1. Druppel vloeibaar tin
2. Eerste laserpuls
3. Dunne schijf tin
4. Tweede laserpuls
5. Plasma & EUV licht
6. Lithografie met λ=13.5nm

9. Hoe maak je een EUV bron?
1. Druppel vloeibaar tin
2. Eerste laserpuls
3. Dunne schijf tin
4. Tweede laserpuls
5. Plasma & EUV licht
6. Lithografie met λ=13.5 nm
Uitdagende vloeistoffysica:
• zo dun mogelijke schijf
• druppels mogen niet spetteren

10. FOM `Industrial Partnership Program´
Spetterende druppels in EUV Lithografie
Nieuw & uniek: universitaire onderzoeksgroep op industriële locatie
Foto ANP
&

11. 2m
30 µm

12. Spetterende druppels in de EUV bron

13. Het leven van een aangeschoten druppel

14. Theoretisch druppel-model
drukverdeling stroomlijnen

15. Druppelsimulaties: optimale laserpuls

16. Samenwerking wetenschap & industrie:
Van spetterende druppels tot snellere iPhone

17. Contact
Dr.ir. Hanneke Gelderblom
h.gelderblom@utwente.nl
T: 06-38773882
Dank voor uw aandacht!